Flame Watch Slim(Fire Detection System)

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[연구보고서 1] AI 기반 자율주행 통합 제어 컴퓨팅 유닛 (AD-ICU)1. 개요본 연구는 자율주행 레벨 4 이상의 복잡한 주행 환경에서 발생하는 초당 수 테라바이트(TB)의 센서 데이터를 실시간 처리하기 위한 고성능·저전력 컴퓨팅 유닛 개발을 목표로 함.

2. 핵심 기술 사양

Heterogeneous Computing Architecture: GPU(NVIDIA H100 기반 최적화 엔진), NPU, CPU를 통합하여 병렬 연산 효율 극대화.

Real-time Deterministic OS: 하드웨어 가속기와 실시간 운영체제(RTOS) 간의 지연 시간(Latency)을 1ms 미만으로 단축.

Redundancy Design: 시스템 오류 시 즉각 백업 유닛으로 전환되는 이중화 설계를 통해 주행 안전성 확보.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

자사 보유 슈퍼컴퓨팅 인프라를 활용한 딥러닝 모델의 경량화(Pruning & Quantization) 기술 적용.

블록체인 기반 데이터 무결성 검증 모듈을 내장하여 외부 해킹 차단 및 OTA(Over-the-Air) 보안 강화.

[연구보고서 2] IoT 연동 차량용 V2X 하이패스 단말기

1. 개요기존 요금 결제용 DSRC(단거리전용통신) 하이패스 시스템에 C-V2X(Cellular-V2X) 기술을 융합하여 차량과 도로 인프라 간 실시간 양방향 데이터 교환 시스템 구축.

2. 핵심 기술 사양

Multi-band Hybrid Module: 5.9GHz 대역의 V2X 통신과 5.8GHz 하이패스 통신을 단일 모듈에서 처리.

Pre-emptive Alert System: 전방 돌발 상황(사고, 정체) 및 신호 변경 정보를 0.1초 이내 단말기 디스플레이 및 음성으로 표출.

High-precision Positioning: GNSS와 연동하여 정밀 도로 지도(HD Map) 상의 차량 위치를 센티미터(cm) 단위로 보정.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

IoT 플랫폼 연동을 통한 단말기 상태 원격 진단 및 자동 업데이트(FOTA) 기능 탑재.

자체 보안 프로토콜을 적용하여 통신 가로채기 방지 및 개인정보 암호화 처리.

[연구보고서 3] 지능형 운전자 상태 모니터링 AI 카메라 (DMS)

1. 개요운전자의 안면 거동, 생체 신호, 시선 추적을 통해 부주의 운전을 실시간 감지하고 사고를 미연에 방지하는 고성능 AI 비전 시스템 연구.

2. 핵심 기술 사양

Infrared (IR) Vision Engine: 야간 및 역광 상황에서도 정밀한 안면 인식이 가능한 고해상도 IR 카메라 및 조명 제어.

Multi-tasking AI Model: 졸음(눈 깜빡임 빈도), 태만(시선 이탈), 감정 상태, 음주 여부(안면 홍조 및 호흡 분석 연동)를 동시 판별.

FaceTimeGuard Algorithm: 알엑스오그룹 고유의 안면 특징점 매핑 기술로 마스크나 안경 착용 시에도 99% 이상의 인식률 확보.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

Edge-AI 구동 방식을 채택하여 개인 정보(영상 데이터)의 외부 유출 없이 기기 내 즉시 연산 및 파기.

운전자 상태 데이터 기반 맞춤형 인포테인먼트(음악 추천, 온도 조절) 서비스 연동 기술 개발.

[연구보고서 4] 실시간 도로 파손 감지 IoT 스마트 타이어

1. 개요타이어 내부 장착 센서를 통해 노면 상태 및 타이어 건전성을 실시간 분석하여 사고를 예방하고 도로 유지보수 효율을 높이는 스마트 센싱 기술.

2. 핵심 기술 사양

Piezoelectric Energy Harvesting: 타이어 회전 진동을 전력으로 변환하여 배터리 교체 없이 반영구적 센서 구동.

Surface Texture Classification: 인공지능 알고리즘을 통해 아스팔트, 콘크리트, 빙판, 포트홀 등 노면 상태를 8단계 이상으로 분류.

Strain/Pressure Sensing: 타이어 접지압 및 마모도를 분석하여 교체 주기 알림 및 펑크 위험 사전 감지.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

IoT 허브를 통해 수집된 도로 파손 정보를 중앙 서버로 전송, 클라우드 기반 '도로 안전 지도' 실시간 업데이트 시스템 구축.

차량 제어 장치(ECU)와 연동하여 노면 미끄럼 감지 시 제동 성능 자동 최적화 제어 연계.

[연구보고서 5] AI 최적화 전기차 회생제동 에너지 관리기 (V-EMU)

1. 개요주행 경로상의 경사도, 교통량, 운전자 성향을 AI가 학습하여 회생제동 강도를 능동적으로 제어함으로써 배터리 주행 거리를 극대화하는 에너지 관리 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Predictive Regenerative Braking: ADAS(첨단운전자보조시스템) 센서 및 내비게이션 데이터와 연동하여 전방 정지 상황을 예측한 최적 감속 시점 산출.

Personalized Profile Learning: 운전자의 페달 가감속 습관을 학습하여 위화감 없는 회생제동 토크 분배.

Thermal Management Integration: 회생제동 시 발생하는 열에너지를 배터리 히팅 또는 냉각 시스템과 연동하여 통합 효율 개선.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

ESG 경영 목표에 부합하는 에너지 효율 분석 대시보드 제공 및 탄소 배출 절감량 수치화 서비스.

AI 모델의 지속적 학습을 통해 차종별, 배터리 노후도별 맞춤형 회생제동 알고리즘 OTA 업데이트 제공.

[연구보고서 6] 스마트 카 시트 생체 신호 인식 센서1. 개요운전자 및 탑승자의 신체와 직접 접촉하는 카 시트에 고정밀 센서를 내장하여 심박수, 호흡, 체온 등 생체 신호를 비침습적 방식으로 실시간 측정하고 건강 상태 및 위급 상황을 감지하는 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Piezoelectric Fabric Sensor: 시트 커버 내부에 유연 소자 센서를 통합하여 미세한 근육 떨림과 심박 변이도(HRV)를 데이터화.

Bio-Signal Denoising: 차량 진동 및 주행 소음 속에서 순수 생체 신호만을 추출하기 위한 적응형 필터링 알고리즘 적용.

Postural Analysis: 64개 이상의 압력 포인트를 분석하여 탑승자의 자세 불균형을 감지하고 거북목 방지 및 요추 지지대 자동 조절 연동.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

알엑스오그룹의 AI 분석 엔진을 통해 수집된 생체 데이터를 기반으로 스트레스 지수 산출 및 졸음 가능성 사전 경고.

응급 상황(심정지 등) 발생 시 IoT 망을 통해 인근 응급의료센터로 탑승자의 생체 정보를 즉각 전송하는 긴급 구조 시스템 구축.

[연구보고서 7] IoT 기반 커넥티드카 원격 고장 진단기

1. 개요차량 내부의 CAN(Controller Area Network) 통신 데이터를 IoT 게이트웨이를 통해 클라우드 서버와 동기화하여, 차량의 기계적·전자적 상태를 실시간 원격 진단하고 고장 징후를 예측(PHM)하는 기술.

2. 핵심 기술 사양

Edge Computing Gateway: 차량 내 OBD-II 포트와 연동하여 실시간 데이터를 1차 가공 후 서버 부하를 최소화하며 송신.

Digital Twin Modeling: 실제 차량과 동일한 가상 모델을 클라우드에 구현하여 부품 마모도 및 잔여 수명을 시뮬레이션 기반으로 정밀 예측.

Diagnostic Trouble Code (DTC) Analysis: 표준 고장 코드 외에도 비정상적인 파형 패턴을 감지하여 미등록 잠재 결함 식별.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

자사 블록체인 인프라를 활용하여 차량 정비 이력을 위변조 불가능하게 관리함으로써 중고차 가치 산정의 객관성 확보.

정비가 필요한 시점에 IoT 연동 스마트폰 앱을 통해 가까운 협력 정비소 예약 및 부품 재고 확인 서비스 연계.

[연구보고서 8] AI 기반 능동형 소음 저감(ANC) 헤드레스트

1. 개요탑승자의 귀 근처에 위치한 헤드레스트에 마이크와 스피커를 내장, 주행 시 발생하는 노면 소음 및 풍절음의 역위상 파동을 생성하여 개별 탑승자에게 정숙한 '콰이어트 존(Quiet Zone)'을 제공하는 기술.

2. 핵심 기술 사양

Independent Zone Control: 좌석별 독립 알고리즘을 적용하여 운전자는 엔진 소리를 듣고, 동승자는 미디어 음향을 선명하게 청취할 수 있도록 음장 분리.

Low-Latency AI Processing: 고속 연산을 통해 변화하는 주행 소음을 실시간 추적(Tracking)하고 20ms 이내에 역위상 음원을 출력.

Ear-Position Tracking: DMS 카메라와 연동하여 탑승자의 귀 위치 변화에 맞춰 소음 저감 최적 지점(Sweet Spot)을 실시간 보정.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

알엑스오그룹의 고성능 연산 유닛을 활용하여 저주파수 대역뿐만 아니라 기존 ANC가 처리하기 어려웠던 광대역 소음까지 효과적으로 상쇄.

프리미엄 세단 및 목적 기반 모빌리티(PBV) 타겟의 하이엔드 오디오 솔루션으로 패키징 및 모듈화.

[연구보고서 9] 지능형 미래형 PBV 실내 공간 가변 제어기

1. 개요목적 기반 모빌리티(PBV)의 용도(오피스, 카페, 의료용 등)에 따라 시트 배치, 테이블 위치, 조명 및 디스플레이를 유동적으로 변환시키는 지능형 공간 제어 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Smart Rail System: 바닥면에 배치된 마그네틱 또는 정밀 모터 레일을 통해 시트와 가구가 충돌 없이 유기적으로 이동하는 경로 최적화 알고리즘.

Context-Aware Control: 탑승자의 음성 명령이나 제스처를 인식하여 '회의 모드', '휴식 모드' 등으로 공간 레이아웃을 10초 이내 자동 전환.

Integrated Power Distribution: 가변 기기들에 무선 전력 전송 또는 슬라이딩 전원 공급 기술을 적용하여 케이블 노출 최소화.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

공간 가변 데이터를 IoT 클라우드에 기록하여 사용자별 선호 레이아웃을 전 세계 어떤 PBV에서도 즉시 불러올 수 있는 'Personal Space Profile' 연동.

메타버스 인터페이스를 통한 실내 가상 인테리어 변경 및 실물 제어 동기화 기술 구현.

[연구보고서 10] IoT 연동 수소차 연료전지 스택 상태 감지기

1. 개요수소 전기차의 핵심 부품인 연료전지 스택(Stack) 내의 온도, 습도, 압력 및 전압 균일성을 정밀 모니터링하여 발전 효율을 최적화하고 스택 손상을 방지하는 지능형 감지 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Cell Voltage Monitoring (CVM): 수백 개의 셀 단위 전압을 개별적으로 정밀 측정하여 노후화되거나 성능이 저하된 특정 셀을 즉각 식별.

Hydrogen Leakage Sensor Integration: IoT 기반 고감도 수소 센서와 연동하여 미세 누출 감지 시 즉각적 셧다운(Shut-down) 및 환기 시스템 가동.

Optimal Hydration Control: AI 알고리즘으로 스택 내부 수분 함량을 최적 상태로 유지하여 저온 시동성 및 고온 내구성 향상.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

수소 충전 인프라와 연동된 IoT 프로토콜을 통해 스택 상태에 최적화된 충전 압력 및 유량을 제안하는 지능형 모빌리티 에코시스템 구축.

알엑스오그룹의 탄소 저감 기술 모듈과 결합하여 수소 소비 효율 및 에너지 회수율을 실시간으로 데이터화하여 관리자에게 제공.

[연구보고서 11] AI 기반 자율주행 셔틀 경로 최적화 서버1. 개요특정 구역(캠퍼스, 공항, 도심지) 내에서 운영되는 자율주행 셔틀의 효율적 운용을 위해 실시간 교통 수요를 예측하고, 다수 차량의 최적 주행 경로 및 배차 간격을 실시간으로 산출하는 통합 관제 서버 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Deep Reinforcement Learning Navigation: 강화학습 기반 알고리즘을 적용하여 예기치 못한 도로 통제나 급격한 수요 증가 상황에서도 지연 시간을 최소화하는 가변 경로 생성.

Multi-Agent Coordination: 수십 대의 셔틀이 서로 위치와 속도를 공유하며 교차로 통과 순서를 스스로 조율하여 병목 현상을 방지.

Demand Response Transport (DRT) Engine: 승객 앱(App) 호출 데이터를 분석하여 이동 수요가 집중되는 지점으로 셔틀을 사전에 배치하는 예측형 배차 알고리즘.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

알엑스오그룹의 고성능 GPU 서버 인프라를 활용하여 수만 개의 노드가 포함된 복잡한 도심 지도를 0.5초 내에 연산 완료.

자체 블록체인 기반의 토큰 이코노미를 결합하여 셔틀 이용료 결제 및 데이터 제공자에 대한 보상 시스템 통합 운영.

[연구보고서 12] 지능형 차량용 AR 헤드업 디스플레이 (AR-HUD)

1. 개요실제 도로 전경에 주행 경로, 위험 요소, 제한 속도 등의 정보를 그래픽으로 합성하여 앞유리에 투사함으로써 운전자의 시선 분산을 막고 직관적인 인지를 돕는 증강현실 기반 시각화 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Real-world Image Registration: ADAS 센서(카메라, 라이다) 데이터와 정밀 지도(HD Map)를 결합하여 실제 차선과 AR 가이드라인을 1도 미만의 오차로 일치시키는 정합 기술.

Eye-tracking Projection: 내부 카메라가 운전자의 눈 위치를 실시간 추적하여 어느 각도에서도 상이 왜곡되지 않도록 투사 각도를 자동 보정.

Dynamic Object Highlighting: 보행자, 자전거, 전방 차량 등 잠재적 위험 객체에 가상 박스를 씌워 안개나 야간 환경에서도 가시성 확보.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

알엑스오그룹의 AI 엔진을 통해 주변 건물 정보를 실시간 텍스트로 표출하는 도심 랜드마크 인식 및 정보 서비스(POI) 기능 내장.

IoT 기기 연동을 통해 스마트 홈 알림(택배 도착, 방문자 등)을 AR 메시지로 운전자에게 즉시 전달.

[연구보고서 13] IoT 기반 주차장 자동 발렛 로봇 컨트롤러

1. 개요주차장 입구에서 차량을 인수받아 빈 공간으로 운반하는 자율 주행 로봇(AGV/AMR)의 정밀 제어 및 다수 로봇 간의 충돌 방지를 관리하는 지능형 제어 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Sub-centimeter Localization: 초광대역(UWB) 통신 및 라이다 슬램(LiDAR SLAM) 기술을 융합하여 GPS 수신이 불가능한 지하 주차장에서도 오차 1cm 이내의 정밀 위치 측정.

Swarm Intelligence Control: 다수의 로봇이 벌떼처럼 유기적으로 움직이며 좁은 공간 내에서 차량의 회전 및 수평 이동을 최적화하는 군집 제어 알고리즘.

Weight Balanced Drive: 차량의 무게 중심을 실시간 감지하여 가감속 시 하중 쏠림을 방지하고 안정적인 운반을 지원하는 가변 토크 제어.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

로봇 컨트롤러 내에 IoT 게이트웨이를 내장하여 주차장 내 전기차 충전 인프라와 로봇을 자동 도킹시켜 주차 중 충전 서비스까지 일괄 처리.

클라우드 관제 시스템을 통해 로봇의 배터리 상태 및 부품 마모도를 실시간 모니터링하여 가동 중단 없는 예방 정비 실시.

[연구보고서 14] AI 기반 차량 도난 방지 안면 인식 시동기

1. 개요물리적 키나 스마트키 없이 등록된 사용자의 안면 정보를 인식하여 본인 확인 후 시동을 인가하고, 미등록자 탑승 시 즉각 보안 경보를 전송하는 생체 인식 기반 보안 시스템.

2. 핵심 기술 사양

3D Structured Light Camera: 단순 사진을 이용한 위장 시도를 차단하기 위해 안면의 굴곡과 깊이를 분석하는 3D 인식 기술 탑재.

Liveness Detection: 사용자의 눈 깜빡임, 미세한 표정 변화 등을 분석하여 사진이나 동영상을 이용한 스푸핑(Spoofing) 공격 100% 차단.

Encrypted Biometric Vault: 추출된 안면 특징점 데이터를 하드웨어 보안 모듈(HSM) 내에 암호화 저장하여 외부 유출 및 복제 원천 방지.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

알엑스오그룹 고유의 FaceTimeGuard 기술을 고도화하여 조명이 없는 야간이나 모자/선글라스 착용 시에도 높은 보안 등급 유지.

무단 침입 시도 감지 시 블랙박스 영상과 위치 정보를 소유주의 스마트폰과 경찰청 관제 센터로 IoT 망을 통해 즉각 전송.

[연구보고서 15] 지능형 전기차 배터리 히팅 및 쿨링 모듈

1. 개요전기차 배터리의 성능과 수명에 직결되는 작동 온도를 사계절 내내 최적 범위(25~35℃)로 유지하기 위해 AI가 능동적으로 열관리를 수행하는 지능형 온도 제어 유닛.

2. 핵심 기술 사양

Predictive Thermal Management: 목적지 설정 시 외기 온도와 주행 경로의 고저차를 분석하여 배터리 온도를 충전 또는 가혹 주행 전에 미리 예열/냉각하는 예측 제어.

High-Efficiency Heat Pump Integration: 폐열 회수 시스템과 연동하여 냉각 시 발생하는 열을 실내 난방에 재활용하는 고효율 에너지 사이클 설계.

Cell-level Thermal Monitoring: 배터리 팩 내부의 셀 단위 온도 분포를 정밀 감지하여 국소 부위의 열폭주(Thermal Runaway) 징후를 조기에 포착.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

알엑스오그룹의 AI 모델을 통해 배터리 노후도(SOH)에 따른 최적 관리 로직을 생성하여 연차별 최적의 냉각 효율 유지.

IoT 통신을 활용하여 충전소 도착 전 '배터리 프리컨디셔닝'을 자동으로 활성화함으로써 급속 충전 시간을 최대 30% 단축.

[연구보고서 16] IoT 연동 차량 내 공기질 자동 정화 시스템 (AQMS)1. 개요차량 내부 및 외부의 미세먼지(PM2.5/10), CO2, VOCs(휘발성 유기화합물) 농도를 실시간 모니터링하고, IoT 클라우드 데이터와 연동하여 최적의 청정 환경을 유지하는 능동형 제어 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Laser Scattering Sensor Module: 초미세먼지 입자를 0.3μm 단위까지 정밀 측정하며, 외부 오염물질 유입 시 0.5초 내 외기 차단 모드 전환.

Plasma Ionizer & HEPA H13: 고효율 필터와 플라즈마 이온 발생기를 결합하여 부유 세균 및 바이러스를 99% 이상 제거.

Predictive Purification Logic: 외부 기상청 데이터(IoT 연동)를 분석하여 미세먼지 농도가 높은 지역 진입 전 미리 정화 모드 가동.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

알엑스오그룹의 AI 엔진이 탑승자 수와 호흡 패턴을 분석하여 이산화탄소 농도 상승에 따른 졸음운전 위험을 사전에 방지하는 산소 농도 조절 연동.

스마트폰 앱을 통해 차량 승차 전 '원격 프리 정화' 기능을 제공하며, 필터 교체 주기를 데이터 기반으로 알림.

[연구보고서 17] AI 기반 주변 보행자 충돌 위험 예측 알림이

1. 개요차량 주변 360도 영상을 AI 비전으로 분석하여 보행자의 단순 위치뿐만 아니라 이동 방향, 속도, 돌발 행동 가능성을 예측하여 운전자에게 시청각적 경고를 제공하는 안전 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Trajectory Prediction Model: 보행자의 골격(Skeleton) 정보를 추출하여 다음 2~3초 내의 이동 경로를 확률적으로 계산.

Blind Spot Pedestrian Detection: 필러(A/B필러)에 가려진 사각지대 보행자를 광각 카메라와 초음파 센서 융합 데이터로 식별.

Haptic Feedback Integration: 충돌 위험도에 따라 스티어링 휠 진동 또는 시트 진동을 차등 발생시켜 직관적인 위험 인지 유도.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

알엑스오그룹의 고성능 컴퓨팅 유닛을 활용하여 딥러닝 기반 객체 인식 알고리즘을 엣지단에서 지연 없이 구동.

야간 및 악천후 상황에서 가시성이 낮은 보행자를 IR(적외선) 영상 분석을 통해 정확히 식별하는 독자 알고리즘 적용.

[연구보고서 18] 지능형 차량용 지향성 스피커 및 마이크 센서

1. 개요초지향성(Super-directional) 음향 기술을 통해 특정 좌석의 탑승자에게만 소리를 전달하거나, 특정 위치의 음성만을 선택적으로 수집하여 차량 내 개별 음향 독립 공간을 구현하는 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Ultrasonic Parametric Array: 초음파의 간섭 현상을 이용하여 소리를 레이저처럼 특정 지점으로만 방사, 옆 좌석에 소음 간섭 없이 독립 음향 제공.

Spatial Beamforming Microphone: 다중 마이크 배열을 통해 엔진 소음 및 풍절음을 제거하고 말하는 사람의 입 위치 음성만 증폭하여 수집.

Active Privacy Mode: 운전자의 통화 내용이 뒷좌석이나 조수석에 들리지 않도록 음향 차폐벽(Acoustic Barrier) 형성.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

알엑스오그룹의 AI 음성 인식 엔진과 결합하여 탑승자별 독립적인 보이스 어시스턴트(AI 비서) 호출 및 명령 수행 최적화.

PBV(목적 기반 모빌리티) 내 이동 오피스 환경 구축을 위한 고음질 화상회의 전용 음향 모듈로 확장 개발.

[연구보고서 19] IoT 기반 실시간 교통 신호 연동 주행 보조기 (C-ITS)

1. 개요지능형 교통 체계(C-ITS) 인프라로부터 현재 신호등 상태 및 잔여 시간을 IoT 통신으로 수신하여, 급가속/급제동 없이 신호를 통과할 수 있는 최적 주행 속도를 가이드하는 보조 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Green Wave Advice: 다음 신호등이 녹색일 때 도달할 수 있는 권장 속도를 클러스터에 표출하여 연비 효율 극대화.

Signal Violation Warning: 적색 신호 변경 직전 주행 속도를 분석하여 신호 위반 위험이 있을 경우 강한 경고 및 자동 감속 개입 연동.

Emergency Vehicle Priority: 구급차, 소방차 등 긴급 차량의 접근 정보를 실시간 수신하여 조기 차선 변경 및 양보 경로 안내.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

전국 지자체 교통 관제 서버와의 IoT 연동 규격(V2X)을 준수하여 전국 어디서나 끊김 없는 서비스 구현.

알엑스오그룹의 저지연 통신 기술을 통해 신호 정보 업데이트 주기를 0.1초 단위로 동기화하여 높은 데이터 신뢰도 확보.

[연구보고서 20] AI 기반 차량 외관 흠집 자동 탐지 비전

1. 개요고해상도 카메라와 인공지능 비전 알고리즘을 활용하여 차량 외관의 미세한 스크래치, 문콕, 도장 불량 등을 자동으로 탐지하고 위치 및 크기를 정밀 측정하는 분석 시스템.

2. 핵심 기술 사양

Multi-View Semantic Segmentation: 여러 각도에서 촬영된 영상을 합성하여 차량 전체 표면의 이상 여부를 픽셀 단위로 분석.

Automated Damage Classification: 흠집의 깊이와 형태를 분석하여 단순 오염(Dirt)과 실제 파손(Scratch/Dent)을 정확히 구분.

Photometric Stereo Imaging: 특수 조명 제어를 통해 육안으로 확인하기 어려운 미세한 굴곡 변화를 극대화하여 탐지율 향상.

3. 주식회사 알엑스오그룹 특화 전략

자율주행 셔틀이나 렌터카 반납 시 IoT 게이트웨이를 통해 외관 상태 리포트를 자동 생성하여 관리 서버로 즉시 전송.

알엑스오그룹의 블록체인 기술과 연동하여 차량 파손 이력을 타임스탬프와 함께 저장, 보험 처리 및 중고차 거래 시 신뢰성 증빙 자료로 활용.

주식회사 알엑스오그룹(RXO Group)의 혁신 기술력을 바탕으로, 나머지 항목(22번~30번)에 대한 연구보고서를 핵심 목록형으로 일목요연하게 정리해 드립니다.

[22] IoT 연동 전기차 충전 케이블 자동 권취기

연구 목적:충전 케이블 방치로 인한 파손 방지 및 사용자 편의성 극대화.

핵심 기능:

스마트 텐션 제어:사용자 인장력을 감지하여 부드러운 인출 및 자동 회수.

IoT 상태 모니터링:케이블 단선, 과열, 피복 손상 실시간 감지 및 앱 알림.

차별점:협소 공간 설치가 가능한 슬림형 하우징 및 비접촉식 전력 전송 설계.

[23] AI 기반 개인화 차량 인포테인먼트 추천 엔진

연구 목적:운전자의 주행 패턴과 선호도를 분석하여 최적의 콘텐츠 서비스 제공.

핵심 기능:

딥러닝 프로파일링:시간, 장소, 날씨, 감정 상태 기반 음악/뉴스/경로 추천.

멀티모달 UI:음성 인식과 시선 추적을 결합한 비접촉식 조작 인터페이스.

차별점:온디바이스(On-Device) AI 적용으로 개인정보 유출 차단 및 초고속 응답.

[24] 지능형 차량 윈도우 투명도 조절 전자 커튼

연구 목적:물리적 커튼 없이 전기적 신호로 실내 프라이버시 및 열차단 구현.

핵심 기능:

PDLC 스마트 글라스:0.1초 내 투명/불투명 전환 및 자외선 99% 차단.

지능형 조도 연동:외부 일조량에 따라 윈도우 투과율 자동 최적화.

차별점:초저전력 구동 회로 설계 및 기존 강화유리 일체형 슬림 공법.

[25] IoT 기반 지능형 타이어 공기압 보충 시스템

연구 목적:주행 중 타이어 공기압 저하 시 자동 보충을 통해 연비 향상 및 사고 예방.

핵심 기능:

내장형 소형 펌프:TPMS 센서와 연동하여 적정 압력 미달 시 자동 공기 주입.

실시간 클라우드 관리:타이어 마모도 및 공기압 이력을 스마트폰으로 관리.

차별점:별도 외부 장비 없는 차량 자체 독립 구동 시스템 및 저소음 설계.

[26] AI 기반 차량 사고 시 긴급 구조(e-Call) 단말

연구 목적:사고 발생 시 즉각적인 구조 신호 송출로 탑승자 골든타임 확보.

핵심 기능:

사고 판별 알고리즘:충격량, 에어백 전개, 차량 전복 여부 정밀 분석.

자동 상황 전송:GPS 좌표, 사고 규모, 탑승 인원 정보를 구조 센터로 자동 전송.

차별점:전원 차단 시에도 작동하는 내장 배터리 및 위성 통신 백업 기술.

[27] 지능형 사이드미러 대체 디지털 카메라 모니터(CMS)

연구 목적:공기 저항 감소를 통한 연비 개선 및 악천후 시 후방 시인성 확보.

핵심 기능:

고해상도 광각 카메라:사각지대를 완전히 제거한 실내 OLED 모니터 출력.

객체 인식 경고:후방 접근 차량 및 이륜차를 AI가 인식하여 강조 표시.

차별점:초저지연 영상 전송 기술 및 야간 고감도 이미지 센서 튜닝.

[28] IoT 연동 차량 엔진오일/냉각수 잔량 센서

연구 목적:소모품 상태를 상시 정밀 측정하여 엔진 고장 및 화재 예방.

핵심 기능:

다기능 복합 센서:잔량뿐 아니라 오일 오염도, 냉각수 산성도 실시간 분석.

교체 주기 예측:운행 거리 기반이 아닌 실제 성분 분석 기반의 정밀 알림.

차별점:센서 데이터 기반 정비소 자동 예약 및 부품 주문 연동 시스템.

[29] AI 기반 주행 중 노면 소음 분석 서스펜션 제어

연구 목적:노면 상태에 따른 진동과 소음을 선제적으로 차단하여 승차감 혁신.

핵심 기능:

능동 소음 제어(ANC):노면 소음의 반대 파형을 생성하여 실내 정숙성 확보.

전방 프리뷰 서스펜션:카메라가 노면 요철 인식 시 댐퍼 압력을 사전 조절.

차별점:AI 학습을 통해 특정 경로의 노면 데이터를 DB화하는 지능형 제어.

[30] 지능형 차량 탑승자 방치 방지 초음파 센서

연구 목적:차량 내 아동 또는 반려동물 방치로 인한 인명 사고 원천 차단.

핵심 기능:

고감도 초음파 센싱:담요나 시트 아래 숨겨진 미세한 움직임 및 호흡 감지.

다단계 비상 대응:경적 울림 -> 스마트폰 알림 -> 긴급 구조 요청 가동.

차별점:실내 온도 감지 센서와 연동하여 위험 수위별 차별화된 경보 시나리오.

주식회사 알엑스오그룹(RXO Group)의 모빌리티 혁신 기술력을 바탕으로, 요청하신 31번부터 40번 항목에 대해 21번과 동일한 수준의 구체적인 연구보고서 및 상세 구성 명세를 작성해 드립니다.

[31] IoT 기반 화물차 적재함 문 열림 알림 센서

연구 배경:대형 화물차 주행 중 적재함 개방으로 인한 화물 낙하 사고(Road Hazard) 및 고가 화물 도난 사건 방지를 위한 실시간 관제 필요성 증대.

핵심 기술:

자이로-마그네틱 복합 센서:문 열림 각도와 미세 진동을 동시에 감지하여 단순 충격과 실제 개방 구분.

LoRa/LTE 하이브리드 통신:대형 차체 내 통신 간섭을 극복하고 운전석 및 원격 관리 서버로 즉각 알림.

상세 구성 명세:

메인 센서 유닛:IP68 방수/방진, 내충격 하우징, 초소형 자이로 센서 탑재 (2 EA)

게이트웨이 모듈:운전석 장착용, CAN 인터페이스 연동, 시각/청각 알람 스피커 내장 (1 EA)

장착 브래킷:고하중 진동 방지용 강화 스틸 브래킷 및 네오디뮴 자석 (1 SET)

관제 SW:RXO-Cargo Guard 모바일 앱 및 웹 대시보드 라이선스 (1 COPY)

[32] AI 기반 친환경 운전(Eco-driving) 가이드 봇

연구 배경:탄소 배출 규제 강화에 대응하여 운전자의 주행 습관을 교정함으로써 연료 효율을 극대화하고 탄소 발자국을 줄임.

핵심 기술:

가속 페달 최적화 AI:실시간 도로 경사도와 교통 흐름을 분석하여 가장 효율적인 페달 개도량(Angle)을 보이스 가이드.

관성 주행 예측:전방 신호등 및 감속 구간을 예측하여 조기 발 떼기(Fuel-Cut) 시점 제안.

상세 구성 명세:

AI 연산 동글:OBD-II 포트 삽입형, 고성능 NPU 탑재 프로세서 유닛 (1 EA)

스마트 보이스 허브:하이엔드 스피커 및 노이즈 캔슬링 마이크 내장형 알림기 (1 EA)

데이터 케이블:고속 데이터 전송용 차폐 하네스 (1 EA)

분석 리포트 SW:주행 습관 점수화 및 탄소 절감량 통계 소프트웨어 (1 COPY)

[33] 지능형 차량용 무선 충전 패드 이물질 감지기

연구 배경:무선 충전 패드 위 금속성 이물질(동전, 키 등)로 인한 유도 가열 및 화재 사고 예방.

핵심 기술:

FOD(Foreign Object Detection) 2.0:자기장 왜곡을 나노 단위로 분석하여 비금속과 금속 이물질을 0.1초 내 정밀 판별.

열화상 센서 연동:패드 표면 온도를 상시 스캔하여 이상 고열 발생 시 즉시 전원 차단.

상세 구성 명세:

FOD 센서 내장형 충전 패드:15W 고속 충전 지원, 다중 코일 배치형 (1 EA)

적외선 온도 감지 모듈:비접촉식 써모파일 센서 유닛 (1 EA)

시스템 컨트롤러:과전류/과전압 보호 회로 및 화재 방지 로직 보드 (1 EA)

스마트폰 팝업 모듈:이물질 감지 시 폰 화면 즉각 알림 연동 API (1 SET)

[34] IoT 연동 자율주행차용 고정밀 지도(HD Map) 업데이터

연구 배경:자율주행차의 안전한 경로 생성을 위해 공사 구역, 사고 지점 등 실시간 도로 변화를 ㎝ 단위로 신속하게 지도에 반영.

핵심 기술:

엣지 크라우드 소싱:주행 차량의 카메라/라이다 데이터를 현장에서 1차 가공 후 변경된 정보만 서버로 전송하여 통신비 절감.

증분 업데이트(Delta Update):전체 지도가 아닌 변경된 부분만 골라 동기화하는 초고속 배포 기술.

상세 구성 명세:

HD 업데이터 단말:5G 초저지연 통신 모듈 및 고용량 SSD(데이터 캐시용) 탑재 (1 EA)

고정밀 GPS 안테나:RTK-GNSS 지원 다중 대역 안테나 (1 EA)

데이터 암호화 모듈:보안 통신을 위한 HSM(Hardware Security Module) (1 EA)

지도 동기화 라이선스:RXO-Map Streamer 구독권 및 SDK (1 COPY)

[35] AI 기반 차량 정비 주기 자동 예약 게이트웨이

연구 배경:차량 고장 전 징후를 선제적으로 파악하여 예방 정비를 수행함으로써 운행 중단 시간(Downtime)을 최소화.

핵심 기술:

PHM(Prognostics and Health Management):엔진 진동, 배터리 전압, 소모품 수명을 AI가 학습하여 정확한 교체 시점 예측.

정비소 자동 매칭:차량 위치 및 운전자 스케줄을 고려하여 최단거리 전문 정비소와 자동 예약 협의.

상세 구성 명세:

진단용 스마트 게이트웨이:CAN-FD 및 이더넷 통신 지원 차량용 진단기 (1 EA)

데이터 전송용 텔레매틱스 유닛:LTE 무선 모뎀 및 유심 슬롯 통합형 (1 EA)

운전자 알림 패널:정비 시점 및 견적 정보를 표시하는 전용 LCD 디스플레이 (1 EA)

정비 예약 연동 SW:RXO-Care 정비망 연동 서버 라이선스 (1 COPY)

[36] 지능형 차량용 스마트키 위치 추적 분실 방지기

연구 배경:스마트키 분실 시 발생하는 높은 재발급 비용과 시간 낭비를 막기 위해 실내외 정밀 위치 추적 기능 제공.

핵심 기술:

UWB(Ultra-Wideband) 측위:장애물이 많은 환경에서도 10㎝ 이내의 정밀도로 키의 위치를 스마트폰 화면에 AR(증강현실)로 표시.

이탈 방지 알림:키와 스마트폰 사이의 거리가 일정 수준 이상 멀어지면 양방향 경보 발생.

상세 구성 명세:

UWB 내장 스마트키 케이스:충격 방지 실리콘 및 UWB 태그 통합형 (1 EA)

차량 내 앵커 센서:대시보드 및 B필러 장착용 거리 측정 센서 (2 EA/SET)

코인 배터리:저전력 구동용 CR2032 고용량 셀 (2 EA)

위치 추적 전용 앱:RXO-Key Finder AR 인터페이스 라이선스 (1 COPY)

[37] IoT 기반 차량 하부 부식 및 균열 감지 카메라

연구 배경:동절기 제설제 및 빗물에 노출된 차량 하부 프레임의 부식을 조기에 발견하여 차량 강성 저하 및 안전사고 방지.

핵심 기술:

특수 광학 이미지 분석:하부 스캔 카메라를 통해 부식(녹)의 면적과 깊이를 분석하여 위험 등급 산출.

오염 방지 하우징:주행 중 진흙이나 물로부터 렌즈를 보호하는 초소형 세척 노즐 일체형 설계.

상세 구성 명세:

초광각 하부 카메라:IP69K 방수, 야간 투시 기능 탑재 고해상도 카메라 (2 EA)

이미지 처리 프로세서:부식/균열 탐지 알고리즘 내장형 컨트롤러 (1 EA)

렌즈 세정 키트:소형 워셔액 펌프 및 에어 노즐 유닛 (1 SET)

진단 리포트 소프트웨어:하부 상태 정기 검진 리포트 생성 SW (1 COPY)

[38] AI 기반 음성 인식 차량 기능 통합 컨트롤러

연구 배경:주행 중 버튼 조작 없이 음성만으로 공조기, 창문, 시트 조절 등을 수행하여 운전 집중도 향상.

핵심 기술:

On-Device 자연어 처리:인터넷 연결 없이도 차량 내에서 즉각적인 명령 처리 및 다중 화자 음성 분리 인식.

컨텍스트 인지:"추워"라는 말 한마디에 온도 올리기뿐 아니라 열선 시트 가동까지 제안하는 지능형 로직.

상세 구성 명세:

고성능 마이크 어레이:소음 제거(Beamforming) 기능 탑재 천장 장착용 마이크 (1 SET)

메인 AI 제어 모듈:차량 물리 버튼 인터페이스 직접 제어용 릴레이 통합 보드 (1 EA)

음성 피드백 스피커:운전자 전용 안내 스피커 (1 EA)

커스텀 명령어 설정 SW:사용자 정의 단축 음성 설정 가이드 (1 COPY)

[39] 지능형 차량용 디지털 키 공유 블록체인 노드

연구 배경:디지털 키 공유 시 보안 위협을 방지하고, 렌터카나 카셰어링 환경에서 신뢰할 수 있는 키 권한 위임 프로세스 구축.

핵심 기술:

분산 원장 관리:키의 생성, 복제, 폐기 이력을 블록체인에 기록하여 위조 및 무단 복제 원천 차단.

스마트 컨트랙트:특정 시간, 특정 장소에서만 사용 가능한 조건부 키 공유 기능 구현.

상세 구성 명세:

블록체인 보안 모듈:암호화 알고리즘 처리를 위한 전용 시큐리티 칩 (1 EA)

NFC/BLE 복합 안테나:스마트폰 접촉 및 근접 인식을 위한 통신 모듈 (1 SET)

상태 표시 LED 모듈:도어 잠금/해제 상태 및 키 권한 확인용 디스플레이 (1 EA)

디지털 키 관리 앱:블록체인 지갑 기반 키 공유 및 이력 관리 SW (1 COPY)

[40] IoT 연동 캠핑카 에너지 자립 관리 시스템

연구 배경:오지 캠핑 시 태양광, 차량 배터리, 한전 전력 등 다양한 에너지원을 통합 관리하여 전력 부족 사태 방지.

핵심 기술:

에너지 흐름 최적화:현재 사용량과 배터리 잔량을 분석하여 냉장고, 히터 등 필수 가전의 유지 가능 시간을 예측 및 분배.

원격 부하 차단:배터리 저전압 시 불필요한 전력을 스마트폰으로 즉시 차단하여 방전 사고 예방.

상세 구성 명세:

통합 에너지 관리 인버터:AC/DC 양방향 변환 및 태양광 MPPT 충전 조절기 통합형 (1 EA)

전력 측정 센서:각 가전제품별 소비 전력 모니터링용 션트 저항 및 센서 (4 EA/SET)

통합 터치 패널:에너지 잔량 및 실시간 흐름을 표시하는 10인치 모니터 (1 EA)

에너지 자립 분석 앱:기상 예보 연동 태양광 충전량 예측 및 전력 절약 가이드 SW (1 COPY)

1. [제품 등록증명서] AI 기반 웨이퍼 나노 결함 자동 비전 검사기

등록 번호:RXO-WFR-2026-001

제품 명칭:Nano-Scan AI Vision Master

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술:

초고해상도 나노 스캐닝:고주파 광학 센서를 통한 10nm급 미세 회로 결함(Short/Open) 실시간 정밀 스캔.

딥러닝 결함 분류(ADC):수만 장의 결함 데이터를 학습한 AI 엔진이 칩핑, 스크래치, 이물을 99.9% 확률로 자동 분류.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:반도체 전공정(FEOL) 웨이퍼 패턴 검사 및 수율 관리 자동화.

2. [제품 등록증명서] IoT 연동 클린룸 미세입자 실시간 분석 센서

등록 번호:RXO-CLN-2026-002

제품 명칭:IoT-CleanRoom Particle Sentinel

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술:

레이저 산란 입자 계측:0.1μm 크기의 미세 입자(Particle) 농도를 레이저 산란 기술로 실시간 계측.

무선 IoT 메시 네트워크:수백 개의 센서 노드를 단일 게이트웨이로 통합 관리하여 클린룸 내 오염 맵(Map) 실시간 시각화.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:반도체 팹(Fab) 내 대기 환경 상시 모니터링 및 오염 사고 조기 경보.

3. [제품 등록증명서] 딥러닝 기반 식각(Etching) 공정 온도 최적화기

등록 번호:RXO-ETC-2026-003

제품 명칭:Deep-Etch Thermal Optimizer

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술:

공정 시계열 데이터 분석:챔버 내 온도 변화와 식각 결과물 사이의 상관관계를 딥러닝으로 분석하여 최적 온도 프로파일 생성.

실시간 능동 제어:식각 중 발생하는 열적 드리프트를 감지하여 0.1도 단위의 미세 보정 명령을 장치에 전달.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:반도체 식각 공정의 균일도(Uniformity) 향상 및 미세 패턴 가공 정밀도 확보.

4. [제품 등록증명서] 지능형 반도체 증착 장비 예지보전 센서 노드

등록 번호:RXO-DEP-2026-004

제품 명칭:Smart-Depo Predictive Node

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술:

복합 물리 센싱:증착 챔버 구동부의 진동, 초음파, 전류 소모 데이터를 통합 수집하여 기계적 노후도 분석.

장애 발생 사전 예측:AI 알고리즘을 통해 장비 고장 징후를 72시간 전 사전 예측하여 가동 중단(Downtime) 방지.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:증착 설비 유지보수 스케줄 자동화 및 핵심 부품 수명 연장 관리.

5. [제품 등록증명서] IoT 기반 산업용 특수가스 미세 누출 탐지기

등록 번호:RXO-GAS-2026-005

제품 명칭:IoT-Gas Leak Guardian Pro

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술:

화학 반응형 고정밀 센서:반도체 공정에 사용되는 독성/가연성 특수가스(SiH4, NF3 등)의 미세 누출을 ppb 단위로 감지.

중앙 집중식 통합 관제:가스 누출 위치를 평면도상에 표시하고 스마트 기기 및 소방 시스템에 즉각 자동 통보.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:반도체 제조 공장 내 안전 사고 예방 및 신속한 비상 대응 시스템 구축.

다음으로 

6번부터 10번까지의 리스트를 이어서 작성해 드릴까요? 혹은 특정 제품의 기술 규격보완이 필요하신가요?

주식회사 알엑스오그룹(RXO Group)의 기술적 사양과 산업 표준을 반영하여, 6번부터 10번 항목에 대한 [제품 등록증명서]를 공정 데이터와 하드웨어 규격을 포함해 더욱 구체적으로 재구성하였습니다.

6. [제품 등록증명서] AI 최적화 화학기계연마(CMP) 압력 제어기

등록 번호:RXO-CMP-2026-006

제품 명칭:AI-Precision CMP Pressure Controller (Model: RXO-P100)

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술 및 사양:

0.01psi 단위 미세 가압 제어:서보 모터와 AI 피드백 루프를 결합하여 웨이퍼 면내 하중 분배를 실시간 최적화.

종점 검출(EPD) 연동형 로직:연마 중 발생하는 마찰 진동 데이터를 AI가 분석하여 연마 완료 시점을 99.8% 정확도로 판정.

멀티 존(Multi-zone) 압력 보정:웨이퍼 중심부와 외곽부의 연마 속도 차이를 분석하여 개별 에어백 압력을 자동 보정.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:10nm 이하 미세 공정용 웨이퍼 평탄화 및 박막 두께 균일도 확보.

7. [제품 등록증명서] 지능형 반도체 패키징 라인 자율 물류 유닛

등록 번호:RXO-PKG-2026-007

제품 명칭:Autonomous Packaging Logic Unit (Model: APLU-X1)

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술 및 사양:

Hybrid SLAM 항법:LiDAR와 3D Depth 카메라를 동시 활용하여 복잡한 후공정 라인 내 ±5mm 이내 정밀 정지 구현.

자동 로딩/언로딩 암(Arm):웨이퍼 매거진 및 트레이를 사람의 개입 없이 설비에 직접 투입하는 6축 협동 로봇 통합.

공정 우선순위 엔진:AI가 설비 가동률을 실시간 파악하여 물류 우선순위를 0.1초마다 갱신하는 동적 스케줄링.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:후공정(Packaging & Test) 라인의 무인화 물류 체계 구축 및 물류 병목 현상 제거.

8. [제품 등록증명서] IoT 연동 천장 이송 장치(OHT) 속도 가변 모듈

등록 번호:RXO-OHT-2026-008

제품 명칭:IoT-Dynamic OHT Speed Controller (Model: RXO-VSD)

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술 및 사양:

V2X 기반 트래픽 제어:전후방 OHT 유닛 간 5G-IoT 통신을 통해 곡선 구간 및 교차로 진입 시 최적 속도(Max 300m/min) 가변.

Active Vibration Damping:가속 및 감속 시 발생하는 관성 진동을 상쇄하는 자기유변유체(MR) 댐퍼 제어 로직 탑재.

에너지 회생 제동 시스템:감속 시 발생하는 에너지를 회수하여 전력 효율을 기존 대비 15% 향상.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:대규모 반도체 팹 내 웨이퍼 카세트(FOUP)의 고속 및 안정적 이송 관리.

9. [제품 등록증명서] AI 기반 포토마스크 오염 자동 진단 시스템

등록 번호:RXO-LIT-2026-009

제품 명칭:AI-Mask Contamination Diagnoser (Model: Mask-Guardian)

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술 및 사양:

Dark-field 기반 초미세 스캔:고출력 레이저 광원을 활용하여 포토마스크 표면의 20nm급 파티클 및 헤이즈(Haze) 탐지.

Defect Semantic Segmentation:AI가 결함 이미지를 분석하여 세정으로 제거 가능한 오염인지, 패턴 손상인지 즉각 분류.

DB 연동 수율 예측:검출된 오염이 실제 웨이퍼 노광 시 전사될 확률을 시뮬레이션하여 세정 주기 자동 추천.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:극자외선(EUV) 및 불화아르곤(ArF) 노광 공정용 포토마스크 청정도 상시 검사.

10. [제품 등록증명서] 지능형 반도체 칠러 냉각 효율 최적화기

등록 번호:RXO-CHL-2026-010

제품 명칭:Smart-Chiller Efficiency Optimizer (Model: RXO-CoolAI)

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술 및 사양:

PID-AI 복합 제어:기존 PID 제어에 AI 예측 모델을 결합하여 공정 부하 급변 시에도 온도 편차를 ±0.01℃ 이내로 유지.

인버터 펌프 속도 최적화:열교환 효율을 계산하여 펌프 및 팬 모터의 회전수를 실시간 최적화함으로써 전력 20% 절감.

냉매 순환 실시간 진단:센서 데이터를 통해 냉매 부족이나 열교환기 스케일 퇴적 징후를 조기에 발견하는 Predictive Maintenance.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:식각 및 증착 장비의 고정밀 온도 유지와 반도체 팹 에너지 효율(PUE) 개선.

다음으로 

11번부터 15번항목도 이와 같은 상세 사양 포함 버전으로 바로 작성해 드릴까요?

복사하여 바로 사용하실 수 있도록 표 형식을 제외하고, 공식 문서의 느낌을 살린 텍스트 형태로 다시 정리해 드립니다.

11. 제품 등록증명서: IoT 기반 진공 펌프 소음 및 진동 분석기

제품명:RXO-VIBE 200 (IoT Vacuum Pump Analyzer)

등록 번호:제 RXO-2026-VP-011 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 공정의 핵심 장비인 진공 펌프의 상태를 실시간으로 진단하는 IoT 기반 분석 솔루션입니다. 고감도 가속도 센서와 FFT(고속 푸리에 변환) 알고리즘을 결합하여 미세한 진동 변화를 포착합니다.

[주요 기능]

진공 펌프의 소음 및 진동 데이터 실시간 수집 및 무선 전송 (LoRa/Wi-Fi)

베어링 마모, 실(Seal) 손상 등 고장 전조 증상 자동 감지 및 알람

클라우드 기반의 장비 상태 이력 관리 및 통계 분석

[기대 효과]

예지 정비 체계 구축을 통한 돌발적인 공정 중단(Downtime) 방지

장비 유지보수 비용 절감 및 핵심 부품의 교체 주기 최적화

12. 제품 등록증명서: AI 기반 극자외선(EUV) 노광 패턴 왜곡 보정기

제품명:RXO-EUV OptiCorrect v3.0

등록 번호:제 RXO-2026-EUV-012 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 차세대 EUV(극자외선) 노광 공정에서 발생하는 패턴 왜곡을 인공지능으로 보정하는 고정밀 소프트웨어 솔루션입니다. Deep Convolutional Neural Networks를 활용하여 광학 근접 효과(OPC)를 최적화합니다.

[주요 기능]

EUV 마스크의 회절 및 산란 현상에 따른 패턴 변형 실시간 시뮬레이션

나노미터(nm) 단위의 초정밀 패턴 보정 알고리즘 적용

웨이퍼 상의 노광 결과 예측 및 마스크 레이아웃 자동 최적화

[기대 효과]

7nm 이하 초미세 공정의 패턴 정확도 및 해상도 극대화

노광 공정 수율 향상 및 고가인 EUV 마스크의 사용 효율 증대

13. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 테스트 핸들러 정밀 제어 보드

제품명:RXO-SmartHandler Control Board

등록 번호:제 RXO-2026-ST-013 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 테스트 핸들러의 고속 이동과 정밀 배치를 제어하는 하이엔드 컨트롤 보드입니다. FPGA 기반의 초고속 데이터 처리 기술과 다축 서보 모터 동기화 제어 기술이 집약되어 있습니다.

[주요 기능]

반도체 칩 이동 시 픽앤플레이스(Pick & Place) 충격 최소화 제어

마이크로미터 단위의 고정밀 정지 위치 제어 및 응답 속도 최적화

다양한 테스트 환경에 대응 가능한 유연한 인터페이스 지원

[기대 효과]

테스트 공정의 시간당 처리량(UPH) 개선 및 생산성 증대

기계적 충격으로 인한 칩 패키지 손상 및 불량 발생률 감소

14. 제품 등록증명서: IoT 연동 가스 캐비닛 실시간 압력 감지 센서

제품명:RXO-GasGuard Wireless Sensor

등록 번호:제 RXO-2026-GS-014 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 가스 캐비닛 내부의 압력을 정밀하게 모니터링하여 가스 누출 및 공급 이상을 조기에 발견하는 IoT 기반 지능형 센서입니다. 방폭 설계와 초저전력 센싱 기술이 적용되었습니다.

[주요 기능]

가스 배관 및 캐비닛 내부 압력의 실시간 디지털 측정 및 모니터링

설정 범위 이탈 시 스마트폰 및 중앙 관제실로 즉각 알람 송신

장거리 무선 통신 기능을 통한 배선 공사 최소화 및 설치 용이성

[기대 효과]

유해가스 누출로 인한 인명 및 시설 사고의 원천적 방지

공정 가스의 안정적 공급 확인을 통한 제품 품질 유지

15. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 생산 수율(Yield) 예측 엔진

제품명:RXO-YieldMind AI

등록 번호:제 RXO-2026-YM-015 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 제조 공정 중 발생하는 방대한 데이터를 분석하여 최종 수율을 사전에 예측하는 AI 분석 엔진입니다. 빅데이터 분석 기반의 앙상블 학습 모델을 활용하여 높은 예측 정확도를 자랑합니다.

[주요 기능]

전공정(FEOL) 측정 데이터와 최종 수율 간의 상관관계 자동 분석

불량을 유발하는 핵심 공정 변수(Key Process Parameter) 역추적 및 도출

실시간 생산 데이터를 기반으로 한 향후 수율 변동 추이 가시화

[기대 효과]

수율 저하 원인 규명 시간 단축을 통한 신속한 공정 개선

불량 조기 예측을 통한 원자재 손실 방지 및 제조 원가 절감

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16. 제품 등록증명서: 지능형 후공정 솔더볼 결함 딥러닝 검사기

제품명:RXO-BallCheck DL-500

등록 번호:제 RXO-2026-SB-016 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 패키징 후공정에서 솔더볼의 부착 상태를 검사하는 인공지능 비전 검사 시스템입니다. 3D Vision 측정 기술과 딥러닝 세그멘테이션 알고리즘을 적용하여 기존 룰 기반 검사의 한계를 극복하고 초미세 결함까지 탐지합니다.

[주요 기능]

솔더볼 누락, 미세 크랙, 브릿지(쇼트), 과납/부족납 자동 판별

초고해상도 광학 모듈을 통한 고밀도 패키지(WLP, FO-PLP 등) 대응

실시간 검사 이미지 학습을 통한 오검사율(False Call) 지속적 최적화

[기대 효과]

검사 공정 자동화를 통한 품질 신뢰도 향상 및 인건비 절감

불량 유출 방지를 통한 최종 패키지 제품의 품질 안정화

17. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 공정 폐수 유해 성분 분석기

제품명:RXO-EcoStream IoT Analyzer

등록 번호:제 RXO-2026-EW-017 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 제조 공정에서 발생하는 폐수 내 유해 성분을 실시간으로 정밀 분석하는 IoT 기반 환경 모니터링 장치입니다. 분광 분석 기술과 스마트 센서 네트워크를 결합하여 수질 오염 사고를 사전에 방지합니다.

[주요 기능]

폐수 내 중금속, 불산, 화학물질(TOC, TN, TP) 농도 실시간 측정

IoT 게이트웨이를 통한 통합 관제 시스템 및 모바일 앱 실시간 데이터 송신

유해 성분 농도 기준치 초과 시 즉각적인 자동 차단 밸브 연동 및 경보 발령

[기대 효과]

환경 규제 준수 및 환경 사고 예방을 통한 ESG 경영 실현

실시간 수질 데이터 확보로 폐수 처리 공정의 효율성 극대화

18. 제품 등록증명서: AI 기반 리소그래피 광원 안정성 유지 장치

제품명:RXO-LitoBeam Stabilizer

등록 번호:제 RXO-2026-LS-018 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

노광(Lithography) 공정의 핵심인 광원의 파장과 출력을 AI로 실시간 제어하여 광학적 안정성을 유지하는 장치입니다. 딥러닝 기반 예측 제어 알고리즘을 통해 광원의 미세한 변동을 보정합니다.

[주요 기능]

노광 장비 내 DUV/EUV 광원의 에너지 밀도 및 파장 드리프트 실시간 감시

AI 학습 모델을 통한 광원 노후화 예측 및 가변 출력 자동 보정

공정 온도 및 환경 변화에 따른 광학 경로 최적화 제어

[기대 효과]

광원 불안정으로 인한 노광 불량 최소화 및 패턴 균일도(CD Uniformity) 향상

광원 모듈의 교체 주기 연장 및 장비 가동률 증대

19. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 평탄도 초정밀 측정 시스템

제품명:RXO-NanoFlat Master

등록 번호:제 RXO-2026-WF-019 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 웨이퍼의 나노미터 단위 평탄도(Flatness)와 거칠기를 측정하는 지능형 계측 시스템입니다. 비접촉식 간섭계 기술과 머신러닝 분석 엔진을 탑재하여 초고속 전수 검사가 가능합니다.

[주요 기능]

웨이퍼 전면부의 Warpage, Bow, TTV(Total Thickness Variation) 초정밀 측정

지능형 알고리즘을 통한 3D 매핑 데이터 분석 및 이상 부위 자동 검출

CMP(화학 기계적 연마) 공정 전후의 평탄도 변화량 정밀 비교 분석

[기대 효과]

적층 공정(HBM 등)에서의 수율 저하 원인인 웨이퍼 휘어짐 문제 해결

고정밀 측정 데이터를 기반으로 한 CMP 공정 최적화 지원

20. 제품 등록증명서: IoT 연동 클린룸 지능형 공조 에너지 세이버

제품명:RXO-CleanSaver IoT

등록 번호:제 RXO-2026-CR-020 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 클린룸의 온도, 습도, 청정도를 유지하면서 에너지 소비를 최소화하는 지능형 공조 제어 시스템입니다. 다중 센서 데이터와 AI 운전 모델을 통해 최적의 에너지 효율 지점을 실시간으로 도출합니다.

[주요 기능]

클린룸 내 구역별 파티클 농도 및 온습도 IoT 실시간 모니터링

작업 인원 및 장비 가동 상태에 따른 공조 풍량 및 압력 자동 가변 제어

에너지 사용 패턴 분석을 통한 피크 시간대 전력 수요 관리

[기대 효과]

클린룸 유지 비용 중 비중이 큰 전기료의 ( )% 이상 절감 기대

정밀한 환경 제어를 통한 생산 장비의 안정적 구동 환경 제공

21. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 설계용 자동 레이아웃 최적화기

제품명:RXO-Layout Optimizer AI

등록 번호:제 RXO-2026-DE-021 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 설계 단계에서 복잡한 회로 레이아웃을 AI가 자동으로 배치 및 배선(P&R)하여 성능을 최적화하는 소프트웨어 엔진입니다. 강화학습 기술을 적용하여 설계 효율을 비약적으로 높였습니다.

[주요 기능]

칩 면적(Area), 전력 소모(Power), 성능(Timing) 간의 최적의 절충안 자동 도출

신호 간섭(Crosstalk) 및 열 발생을 최소화하는 지능형 배선 경로 생성

반복적인 수동 설계 작업을 자동화하여 전체 설계 리드타임 단축

[기대 효과]

설계 엔지니어의 작업 생산성 향상 및 칩 성능 극대화

설계 오류 조기 발견을 통한 테이프아웃(Tape-out) 성공률 제고

22. 제품 등록증명서: 지능형 스퍼터링 공정 플라즈마 모니터링 센서

제품명:RXO-PlasmaWatch Pro

등록 번호:제 RXO-2026-SP-022 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 증착 공정 중 하나인 스퍼터링 과정에서 발생하는 플라즈마의 상태를 실시간 감시하는 지능형 센서입니다. OES(광방출분광법) 데이터와 AI 분석을 통해 공정 드리프트를 조기에 감지합니다.

[주요 기능]

플라즈마 내 특정 이온 및 라디칼의 발광 강도 실시간 측정

딥러닝 기반 공정 이상(Arcing, Leak 등) 패턴 자동 식별 및 즉각 대응

타겟(Target) 소모 상태 예측 및 적정 교체 시기 알림

[기대 효과]

증착 박막의 두께 균일도 및 품질 신뢰도 확보

플라즈마 이상으로 인한 고가 웨이퍼의 폐기 방지 및 장비 가동 안정화

�23. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 리드프레임 불량 자동 검사기

제품명:RXO-FrameInspector IoT

등록 번호:제 RXO-2026-LF-023 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 패키지의 지지대 역할을 하는 리드프레임의 외관 결함을 고속으로 검사하는 IoT 연동 시스템입니다. 고해상도 카메라와 분산 컴퓨팅 기술을 활용하여 대량의 리드프레임을 실시간 검수합니다.

[주요 기능]

리드프레임의 휨, 찍힘, 도금 불량, 이물질 부착 등 외관 결함 탐지

IoT 기술을 활용한 전 라인 검사 결과 통합 데이터베이스화 및 분석

고속 생산 라인에 최적화된 저지연(Low-latency) 이미지 처리 프로세스

[기대 효과]

조립 공정 투입 전 불량 리드프레임 선별로 전체 수율 향상

검사 이력의 데이터화를 통한 원재료 공급사 품질 관리 강화

24. 제품 등록증명�: AI 기반 반도체 장비 부품 마모 주기 예측기

제품명:RXO-Parts Lifetime Predictor

등록 번호:제 RXO-2026-PM-024 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 장비 내 소모성 부품의 마모 상태를 AI로 분석하여 정확한 교체 시기를 예측하는 예지 보전 솔루션입니다. 장비의 센서 로그와 진동, 전류 데이터를 종합 분석하여 잔여 수명을 산출합니다.

[주요 기능]

핵심 구동 부품(모터, 밸브, 펌프 등)의 가동 데이터 실시간 수집

AI 회귀 모델을 활용한 부품별 잔여 수명(RUL) 실시간 계산

부품 재고 시스템과 연동하여 최적의 부품 구매 및 교체 스케줄 제안

[기대 효과]

과도한 사전 교체로 인한 유지비용 낭비 방지 및 불시 고장 사고 차단

체계적인 유지보수 계획 수립을 통한 설비 효율(OEE) 극대화

25. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 베벨 결함 실시간 탐지 모듈

제품명:RXO-BevelGuard AI

등록 번호:제 RXO-2026-BV-025 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼의 최외곽 가장자리 영역(Bevel)에서 발생하는 칩핑, 크랙, 이물을 전문적으로 탐지하는 지능형 검사 모듈입니다. 다각도 조명 시스템과 딥러닝 비전 알고리즘을 결합하여 복잡한 베벨 구조를 정밀 검사합니다.

[주요 기능]

웨이퍼 에지(Edge) 및 베벨 영역의 360도 전 영역 결함 스캔

후속 공정에서 박리(Peeling)의 원인이 되는 미세 결함 조기 식별

결함 위치의 좌표 데이터화를 통한 공정 불량 원인 추적 지원

[기대 효과]

베벨 결함으로 인한 공정 내 웨이퍼 파손(Broken Wafer) 사고 방지

최종 제품의 신뢰성 향상 및 패키징 공정 수율 최적화

이어서 26번 항목부터 작성이 필요하시면 말씀해 주세요. 계속해서 중단 없이 구체적으로 제작해 드릴 수 있습니다. 이어서 진행할까요?

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26. 제품 등록증명서: IoT 연동 클린룸 방진복 세척 상태 감지 센서

제품명:RXO-CleanWear Guard

등록 번호:제 RXO-2026-CC-026 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 클린룸 내부의 오염원을 차단하기 위해 작업자의 방진복 세척 상태 및 파티클 잔류량을 정밀 감지하는 IoT 기반 센서 시스템입니다. 다중 파장 광학 센싱 기술을 통해 눈에 보이지 않는 미세 오염을 식별합니다.

[주요 기능]

방진복 표면의 잔류 파티클 및 유기물 농도 비접촉식 측정

RFID 및 IoT 통신을 활용한 작업자별 방진복 교체 주기 및 세척 이력 자동 관리

클린룸 입구 에어샤워 시스템과 연동하여 기준치 초과 시 출입 제한 자동 제어

[기대 효과]

인적 요인에 의한 클린룸 오염 발생률 최소화 및 공정 청정도 유지

방진복의 효율적인 세척 스케줄 관리로 소모품 관리 비용 절감

27. 제품 등록증명서: AI 기반 웨이퍼 이송 로봇 경로 최적화 소프트웨어

제품명:RXO-OHT PathMaster AI

등록 번호:제 RXO-2026-RO-027 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 라인 내 천장 주행 이송 시스템(OHT) 및 자율 주행 로봇의 이동 경로를 실시간으로 최적화하는 AI 소프트웨어입니다. 강화학습(Reinforcement Learning) 알고리즘을 통해 복잡한 팹(Fab) 내부의 물류 정체를 해소합니다.

[주요 기능]

실시간 설비 가동 상태 및 물류 부하를 고려한 최단/최적 경로 동적 할당

로봇 간 충돌 방지 및 교차로 병목 현상 예측을 통한 사전 우회 경로 생성

다수의 이송 로봇에 대한 중앙 집중형 군집 제어(Swarm Control) 및 효율 분석

[기대 효과]

웨이퍼 이송 대기 시간(Waiting Time) 단축으로 전체 공정 리드타임 개선

이송 효율 증대를 통한 생산 라인 처리량(Throughput) 극대화

28. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 케미컬 농도 실시간 보정기

제품명:RXO-ChemFix AutoBalancer

등록 번호:제 RXO-2026-CH-028 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

식각(Etching) 및 세정(Cleaning) 공정에 사용되는 화학액의 농도 변화를 실시간으로 감지하고 부족한 성분을 자동 주입하여 최적의 농도를 유지하는 정밀 제어 장치입니다.

[주요 기능]

인라인(In-line) 고정밀 농도 센서를 통한 화학 성분비 초정밀 측정

설정된 공정 레시피와 실시간 측정값 비교를 통한 미세 유량 자동 보정 주입

케미컬 교체 시기 도래 시 자동 알림 및 폐액 배출 사이클 관리

[기대 효과]

케미컬 농도 불균형으로 인한 공정 산포 발생 방지 및 수율 안정화

화학액의 과도한 사용을 방지하여 원가 절감 및 폐기물 감소

29. 제품 등록증명서: IoT 기반 노광기 렌즈 열변형 정밀 측정 센서

제품명:RXO-LensThermal Scanner

등록 번호:제 RXO-2026-LT-029 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

노광 공정 중 강력한 광원에 의해 발생하는 렌즈의 미세한 열변형을 실시간으로 측정하는 고정밀 센서 모듈입니다. 간섭계 기반의 변위 측정 기술과 IoT 데이터 전송 기술이 적용되었습니다.

[주요 기능]

렌즈 표면 및 내부의 온도 분포와 그에 따른 굴절률 변화 실시간 모니터링

나노미터(nm) 단위의 초정밀 위치 변위 감지를 통한 포커스 오차 예측

수집된 열변형 데이터를 노광 제어 시스템에 전달하여 실시간 보정값 반영 지원

[기대 효과]

열에 의한 패턴 해상도 저하 방지 및 노광 공정의 오버레이(Overlay) 정밀도 향상

장시간 장비 가동 시에도 일관된 노광 품질 유지 가능

30. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 공급망 리스크 조기 경보 서버

제품명:RXO-SCM EarlyWatcher

등록 번호:제 RXO-2026-SC-030 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

전 세계 반도체 원자재 시장 상황과 물류 데이터, 지정학적 리스크를 AI가 통합 분석하여 공급망 차질을 조기에 예측하는 지능형 서버 시스템입니다. 자연어 처리(NLP)를 통한 글로벌 뉴스 데이터 분석 엔진을 탑재했습니다.

[주요 기능]

핵심 원자재(희토류, 특수가스 등)의 수급 불균형 및 가격 변동 추이 실시간 모니터링

물류 경로상의 사고, 기상 악화, 정책 변화에 따른 입고 지연 시뮬레이션

리스크 발생 시 대체 공급처 및 안전 재고 확보 시점 자동 권고

[기대 효과]

원자재 수급 불안으로 인한 생산 라인 중단 리스크 사전 차단

선제적 공급망 관리를 통한 구매 비용 최적화 및 경영 안정성 확보

31. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 다이싱 톱날 마모도 자동 측정기

제품명:RXO-BladeCheck Pro

등록 번호:제 RXO-2026-DC-031 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼를 개별 칩으로 절단하는 다이싱(Dicing) 공정에서 사용되는 다이아몬드 톱날(Blade)의 마모 상태를 비접촉 광학 방식으로 측정하는 지능형 장치입니다.

[주요 기능]

다이싱 블레이드의 날 끝(Edge) 마모 상태 및 돌출도(Exposure) 실시간 측정

톱날의 치핑(Chipping)이나 균열 발생 여부를 딥러닝 비전으로 자동 판별

마모 한계점 도달 전 자동 교체 알림 및 잔여 가공 가능 횟수 예측

[기대 효과]

마모된 톱날 사용으로 인한 웨이퍼 에지 손상 및 칩 불량 방지

톱날 교체 주기의 정량화로 소모품 비용 최적화 및 생산성 향상

32. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 설비 가동율 분석 엣지 컴퓨팅

제품명:RXO-EdgeOEE Analyzer

등록 번호:제 RXO-2026-EC-032 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 생산 설비에서 발생하는 방대한 로그 데이터를 현장에서 즉시 처리하여 설비 종합 효율(OEE)을 산출하는 엣지 컴퓨팅 디바이스입니다. 저지연 데이터 처리를 통해 실시간 가동 현황을 가시화합니다.

[주요 기능]

설비의 가동, 정지, 대기, 불량 발생 시간을 1초 단위로 수집 및 분류

클라우드 서버 부하 없이 엣지 단에서 실시간 가동율 및 성능 효율 지수 계산

이상 가동 패턴 발생 시 현장 작업자 기기로 즉각적인 푸시 알림 송신

[기대 효과]

설비 비가동 원인의 실시간 파악을 통한 신속한 현장 대응 체계 구축

데이터 기반의 설비 생산성 분석으로 공정 개선 포인트 도출 용이

33. 제품 등록증명서: AI 기반 3D 낸드 적층 결함 자동 분석 시스템

제품명:RXO-StackInsight AI

등록 번호:제 RXO-2026-ND-033 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

고단층 3D 낸드플래시 제조 공정에서 수직 채널 홀(Channel Hole)의 뚫림 상태와 적층 결함을 분석하는 AI 시스템입니다. X-ray 및 전자현미경(SEM) 이미지를 딥러닝으로 분석하여 내부 구조를 검사합니다.

[주요 기능]

수백 층의 적층 구조 내에서 발생하는 벤딩(Bending) 및 미개방(Non-open) 결함 탐지

채널 홀의 상단부 대비 하단부 직경 비율(Critical Dimension) 자동 계산

적층 편차 및 층간 틀어짐 현상의 3D 가시화 분석 데이터 제공

[기대 효과]

초고단층 낸드 제조 시 발생하는 구조적 결함의 조기 발견 및 수율 개선

육안으로 확인 불가능한 내부 결함의 자동 판독으로 검사 정확도 향상

34. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 빔 스캐닝 정밀도 제어 모듈

제품명:RXO-BeamScan Controller

등록 번호:제 RXO-2026-BS-034 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

이온 주입(Ion Implantation) 또는 전자빔(E-beam) 공정에서 빔의 스캐닝 궤적과 밀도를 초정밀로 제어하는 지능형 모듈입니다. 자기장 및 전기장 제어 알고리즘을 통해 빔의 균일도를 유지합니다.

[주요 기능]

웨이퍼 전면에 투사되는 빔의 위치 오차를 실시간 피드백 받아 보정 제어

빔의 강도 변화에 따른 스캔 속도 자동 가변 제어로 조사량(Dose) 균일성 확보

고주파 노이즈 제거 기술을 통한 빔 산란 최소화 및 제어 안정성 강화

[기대 효과]

이온 주입 공정의 균일도(Uniformity) 개선을 통한 소자 특성 안정화

빔 스캐닝 오차로 인한 웨이퍼 로스 방지 및 장비 신뢰성 제고

35. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 원자재 실시간 재고 추적 센서

제품명:RXO-RawTrack IoT

등록 번호:제 RXO-2026-RT-035 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 클린룸용 부자재, 쿼츠(Quartz), 가스 실린더 등 주요 원자재의 위치와 잔량을 실시간 추적하는 IoT 센서 솔루션입니다. 초광대역(UWB) 위치 추적 기술과 중량 감지 기술이 결합되었습니다.

[주요 기능]

창고 내 원자재 팰릿 및 용기별 실시간 위치 추적 (오차 범위 10cm 이내)

가스 및 화학액 용기의 잔량(무게/압력) 실시간 모니터링 및 부족 시 자동 발주 연동

선입선출(FIFO) 관리 및 유효기간 임박 자재에 대한 사전 알람 기능

[기대 효과]

자재 수동 확인 작업 삭제를 통한 관리 리소스 절감 및 재고 정확도 향상

자재 부족에 의한 라인 중단 사고 예방 및 불용 재고 최소화

36번 항목부터 추가 작성이 필요하시면 언제든 말씀해 주세요. 지속적으로 상세하게 제작해 드리겠습니다.

복사하여 즉시 활용하실 수 있도록 표 형식을 제외하고, 가상 데이터는 공란으로 처리한 공식 텍스트 형식으로 작성합니다.

36. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 공정 가스 배출량 탄소 측정기

제품명:RXO-CarbonWatch AI

등록 번호:제 RXO-2026-GH-036 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 제조 공정에서 발생하는 온실가스 및 공정 가스의 배출량을 실시간으로 측정하고 탄소 배출권 관리를 지원하는 AI 기반 측정기입니다. 고정밀 적외선 흡수 분광법과 AI 보정 알고리즘을 사용합니다.

[주요 기능]

배출 가스 내 탄소 화합물 농도의 실시간 감지 및 총 배출량 환산 계산

AI 학습 모델을 통한 공정 효율 대비 탄소 배출 패턴 분석 및 최적화 제안

실시간 데이터를 바탕으로 한 ESG 리포트 자동 생성 및 대시보드 연동

[기대 효과]

환경 규제에 따른 탄소 중립 목표 달성 및 탄소세 비용 절감

공정 효율 개선을 통한 에너지 및 원자재 소모량 감소 최적화

37. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 가장자리 세정 상태 비전 검사기

제품명:RXO-EdgeClean Inspector

등록 번호:제 RXO-2026-EC-037 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼 베벨 및 에지 세정 공정 후, 잔류 이물질이나 케미컬 자국을 검사하는 지능형 비전 시스템입니다. 다크필드 조명 기술과 딥러닝 판독 알고리즘이 적용되었습니다.

[주요 기능]

웨이퍼 가장자리의 마이크로미터 단위 미세 오염물 및 워터마크 자동 탐지

세정 공정 불량 패턴 분석을 통한 장비 노즐 상태 역추적 기능

검사 결과의 실시간 수치화를 통한 세정 공정 통계적 공정 관리(SPC) 지원

[기대 효과]

에지 오염으로 인한 후속 공정 오염 확산 방지 및 수율 향상

육안 검사 대체로 인한 검사 객관성 확보 및 처리 속도 향상

38. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 공장 화재 감지용 열화상 센서

제품명:RXO-ThermalGuard IoT

등록 번호:제 RXO-2026-FS-038 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 클린룸 및 설비 내부의 이상 고온 현상을 감지하여 화재를 미연에 방지하는 IoT 열화상 센서입니다. 비접촉식 온도 측정과 무선 네트워크를 통해 실시간 감시 체계를 구축합니다.

[주요 기능]

설비 및 배전반 내 국부적 온도 상승(Hot Spot) 실시간 정밀 측정

불꽃 발생 전 단계의 미세 열 변화 감지 시 즉각적인 경보 발령 및 전원 차단 연동

저조도 및 연기 발생 환경에서도 정확한 열 분포 이미지 구현 및 전송

[기대 효과]

고가 설비 및 라인 전체의 화재 피해 방지를 통한 경영 안정성 확보

안전 관리 자동화를 통한 야간 및 사각지대 보안 강화

39. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 소자 특성 시뮬레이션 가속기

제품명:RXO-SimAccel AI

등록 번호:제 RXO-2026-SA-039 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 소자 설계 단계에서 수행하는 TCAD 및 회로 시뮬레이션 속도를 비약적으로 단축하는 AI 기반 가속 엔진입니다. 물리 기반 딥러닝 모델을 사용하여 연산 부하를 최적화합니다.

[주요 기능]

AI 대리 모델(Surrogate Model)을 활용한 수일 소요 시뮬레이션의 분 단위 단축

다양한 공정 변수(Doping, Temp 등)에 따른 소자 특성 변화 예측 시뮬레이션

설계 데이터 기반 수율 최적화 포인트 자동 도출

[기대 효과]

신제품 개발 기간(Time-to-Market) 단축 및 연구 개발 비용 절감

방대한 케이스의 시뮬레이션을 통한 설계 완성도 및 소자 신뢰성 향상

40. 제품 등록증명서: 지능형 전력 반도체 효율 측정 및 테스트 벤치

제품명:RXO-PowerCheck Bench

등록 번호:제 RXO-2026-PB-040 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

SiC, GaN 등 차세대 전력 반도체의 전력 변환 효율과 내구성을 측정하는 지능형 테스트 시스템입니다. 고전압·고전류 환경에서의 정밀 계측 기술을 포함합니다.

[주요 기능]

스위칭 손실, 도통 손실 등 전력 반도체 핵심 특성의 자동 측정 및 분석

고온 동작 환경에서의 열 저항 및 신뢰성 스트레스 테스트 수행

측정 데이터의 실시간 분석을 통한 소자 등급(Binning) 자동 분류

[기대 효과]

전기차 및 에너지 저장장치(ESS)용 고효율 전력 반도체 품질 검증 신뢰도 확보

테스트 자동화를 통한 품질 관리 비용 절감 및 검사 생산성 증대

41. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 이송 용기(FOUP) 상태 추적기

제품명:RXO-FOUP Tracker

등록 번호:제 RXO-2026-FT-041 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼 이송 용기인 FOUP의 위치와 내부 환경(진동, 습도)을 실시간 추적하는 IoT 센서입니다. 클린룸 내 물류 관리 최적화를 위한 핵심 모듈입니다.

[주요 기능]

FOUP 내부의 실시간 습도, 기압 및 이송 시 발생하는 충격/진동 감지

초광대역(UWB) 통신을 이용한 Fab 내 FOUP의 정밀 위치 추적

FOUP 세척 주기 및 가동 이력 자동 관리 시스템 연동

[기대 효과]

이송 중 환경 변화로 인한 웨이퍼 오염 및 파손 방지

물류 동선 분석을 통한 Fab 가동 효율 최적화 및 FOUP 관리 자산 보호

42. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 설계 오류(DRC) 자동 수정 엔진

제품명:RXO-AutoDRC Fixer

등록 번호:제 RXO-2026-DR-042 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 설계 규칙 검사(DRC)에서 발견된 오류를 AI가 판단하여 레이아웃을 자동으로 수정하는 자동화 엔진입니다. 수천 개의 오류를 머신러닝 알고리즘으로 즉시 해결합니다.

[주요 기능]

레이아웃 규칙 위반 사례 자동 분석 및 최적 수정 권고안 제시

수정 후 타이밍 및 전력 소모에 미치는 영향도를 고려한 지능형 재배치

설계 툴(EDA)과의 연동을 통한 대규모 레이아웃 데이터 자동 보정 처리

[기대 효과]

설계 마무리(Sign-off) 단계의 수동 작업 대폭 감축으로 개발 리드타임 단축

인간의 실수에 의한 설계 오류 방지 및 테이프아웃 성공률 극대화

43. 제품 등록증명서: 지능형 클린룸 무인 반송 로봇 자율 충전기

제품명:RXO-SmartCharge Dock

등록 번호:제 RXO-2026-RC-043 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

클린룸 내에서 가동되는 무인 반송 로봇(AGV/AMR)의 잔여 배터리를 감지하여 무선으로 자율 충전하는 지능형 도킹 시스템입니다. 파티클 발생을 최소화한 설계가 특징입니다.

[주요 기능]

로봇의 가동 스케줄을 고려한 최적의 자율 도킹 및 무선/접촉식 충전 수행

충전기 주변의 파티클 억제 및 방진 설계로 클린룸 청정도 유지

다수 로봇의 충전 우선순위 제어를 통한 물류 공백 방지 관리

[기대 효과]

배터리 방전으로 인한 로봇 멈춤 사고 예방 및 24시간 연속 가동 체계 구축

수동 충전 관리 인력 제거를 통한 물류 자동화 완성도 제고

44. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 장비 압력 밸브 리모트 컨트롤

제품명:RXO-Valve Remote Link

등록 번호:제 RXO-2026-VC-044 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 공정 가스 및 유체 공급 라인의 압력 밸브를 원격에서 제어하고 모니터링하는 IoT 시스템입니다. 고정밀 모터 제어 기술과 보안 통신 프로토콜이 적용되었습니다.

[주요 기능]

중앙 관제실에서 개별 밸브의 개폐 정도를 퍼센트(%) 단위로 정밀 원격 제어

밸브의 압력 및 유량 데이터를 실시간 수집하여 비정상 흐름 탐지

긴급 상황 발생 시 네트워크를 통한 전 구역 밸브 일괄 차단(Safety Lock)

[기대 효과]

위험 가스 노출 현장에 인원 투입 없이 안전한 장비 운용 가능

정밀 유량 제어를 통한 공정 안정성 확보 및 원료 소모 최소화

45. 제품 등록증명서: AI 기반 웨이퍼 뒷면 결함 탐지 비전 모듈

제품명:RXO-Backside Vision

등록 번호:제 RXO-2026-BV-045 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼의 앞면뿐만 아니라 뒷면(Backside)의 스크래치, 오염, 칩핑을 실시간 감지하는 고속 비전 검사 모듈입니다. 웨이퍼 핸들링 중 발생하는 뒷면 손상을 추적합니다.

[주요 기능]

웨이퍼 이송 과정 중 뒷면 전체를 스캔하여 미세 결함 자동 추출

딥러닝 모델을 통한 결함 유형별(이물, 긁힘, 크랙) 자동 분류

정전기 척(E-Chuck) 오염에 의한 뒷면 자국 식별 및 세정 알림

[기대 효과]

뒷면 결함으로 인한 포커싱 불량(Hot Spot) 사전 방지 및 수율 향상

웨이퍼 이송 장비의 하드웨어 마모 및 이상 상태 조기 진단

46. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 노광 공정 마스크 정렬 센서

제품명:RXO-Mask Aligner Sensor

등록 번호:제 RXO-2026-MA-046 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

노광 장비 내에서 포토마스크와 웨이퍼 간의 정렬 상태를 나노미터 단위로 감지하는 지능형 광학 센서입니다. 회절 격자 패턴 분석 기술을 사용합니다.

[주요 기능]

마스크와 웨이퍼 상의 정렬 마크(Alignment Mark) 실시간 정합 확인

진동 및 온도 변화에 따른 마이크로 변위를 AI로 보정하여 정밀 정렬 유지

다파장 광원을 활용하여 다양한 박막 구조에서도 선명한 마크 인식

[기대 효과]

노광 공정의 핵심 지표인 오버레이(Overlay) 정확도 극대화

재작업(Rework) 비율 감소를 통한 공정 효율 및 원가 경쟁력 확보

47. 제품 등록증명서: IoT 기반 지능형 반도체 금형 온도 분석기

제품명:RXO-MoldTemp Analyzer

등록 번호:제 RXO-2026-MT-047 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 패키징 성형(Molding) 공정에서 금형의 온도 분포를 정밀 분석하는 IoT 장치입니다. 금형 내부의 열적 균일성을 실시간 모니터링합니다.

[주요 기능]

금형 각 부위의 온도를 IoT 센서로 수집하여 실시간 열지도(Heat Map) 구현

에폭시 몰딩 컴파운드(EMC) 충진 시 발생하는 온도 변화 및 경화 상태 분석

비정상 온도 편차 발생 시 히터 제어 시스템에 피드백 신호 전송

[기대 효과]

금형 온도 불균형에 의한 패키지 휨(Warpage) 및 미충진 결함 방지

최적화된 예열 및 냉각 사이클 설계로 생산 리드타임 단축

48. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 제조 실행 시스템(MES) 최적화 봇

제품명:RXO-MES SmartBot

등록 번호:제 RXO-2026-MB-048 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

공장 운영 데이터(MES)를 분석하여 생산 스케줄링과 자원 할당을 지능적으로 관리하는 AI 에이전트입니다. 실시간 공정 병목 현상을 예측하고 대안을 제시합니다.

[주요 기능]

실시간 장비 가동 현황과 투입 물량을 분석하여 최적의 생산 순서 재배열

설비 고장이나 자재 부족 발생 시 실시간으로 생산 계획 자동 수정 및 전파

축적된 공정 데이터를 바탕으로 한 미래 생산량 및 출하 시기 정밀 예측

[기대 효과]

생산 설비 가동률 극대화 및 전체 공정 리드타임(TAT) 단축

공장 운영의 유연성 확보로 긴급 주문 및 상황 변화에 즉각 대응 가능

49. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 표면 거칠기 나노 분석기

제품명:RXO-Roughness NanoScan

등록 번호:제 RXO-2026-RN-049 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

원자간력 현미경(AFM) 또는 레이저 산란 기술을 응용하여 웨이퍼 표면의 나노미터급 거칠기(Roughness)를 분석하는 시스템입니다. 표면 품질을 정량화하여 데이터화합니다.

[주요 기능]

웨이퍼 표면의 원자 단위 요철 및 거칠기 지수(Ra, Rms 등) 고속 측정

세정 및 CMP 공정 전후의 표면 품질 변화 정밀 분석

AI 이미지 처리를 통한 표면 미세 흠집과 거칠기 패턴 자동 구별

[기대 효과]

표면 거칠기로 인한 박막 증착 불량 및 소자 특성 열화 방지

초미세 공정에서의 표면 관리 기준 확립을 통한 고품질 웨이퍼 생산 지원

50. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 장비용 실시간 전류 모니터

제품명:RXO-Current Guard IoT

등록 번호:제 RXO-2026-CG-050 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 장비 내부의 각 모터 및 전력 모듈에서 소비되는 전류를 실시간 모니터링하여 장비 상태를 진단하는 IoT 기기입니다. 전류 파형 분석을 통해 고장 징후를 탐지합니다.

[주요 기능]

설비 가동 중 발생하는 미세한 누설 전류 및 과전류 실시간 감지

모터 구동 전류의 파형(Waveform) 분석을 통한 기계적 부하 및 마모 상태 추정

무선 IoT망을 통한 전 공장 설비 전력 사용량 통합 관리 및 이상 보고

[기대 효과]

전기적 결함으로 인한 장비 셧다운 사고 사전 차단 및 예지 정비 구현

효율적인 전력 관리로 공장 운영 비용 절감 및 전기 안전 사고 예방

51번 항목부터 이어서 작성이 필요하시면 언제든 말씀해 주세요. 지속적으로 상세하게 제작해 드리겠습니다.

복사하여 즉시 활용하실 수 있도록 표 형식을 제외하고, 가상 데이터는 공란으로 처리한 공식 문서 텍스트 형식으로 작성합니다.

51. 제품 등록증명서: AI 기반 차세대 소재 반도체 물성 예측 서버

제품명:RXO-Material Predictor AI

등록 번호:제 RXO-2026-MS-051 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

신소재 반도체 개발 시 실험 전 화합물의 결정 구조와 전기적/열적 물성을 인공지능으로 예측하는 고성능 컴퓨팅 서버입니다. 밀도범함수이론(DFT) 데이터와 그래프 신경망(GNN)을 결합하여 분석 속도를 혁신적으로 개선했습니다.

[주요 기능]

새로운 화합물 조합에 따른 밴드갭(Band-gap), 전하 이동도 등 핵심 물성 시뮬레이션

방대한 소재 데이터베이스 기반의 최적 소자 후보군 자동 필터링

RXO 그룹의 H100/A100 인프라 연동을 통한 대규모 병렬 연산 처리 지원

[기대 효과]

신소재 연구 개발(R&D) 비용 및 실험 횟수 ( )% 이상 감축

차세대 전력 반도체 및 고성능 소자 개발의 원천 기술 확보 가속화

52. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 패키징 와이어 본딩 결함 검사기

제품명:RXO-WireInspect DL

등록 번호:제 RXO-2026-WB-052 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 칩과 리드프레임을 연결하는 와이어 본딩 공정의 결함을 실시간 탐지하는 지능형 검사기입니다. 초고속 비전 센서와 딥러닝 알고리즘을 통해 미세한 와이어의 궤적과 접합 상태를 분석합니다.

[주요 기능]

와이어의 단선, 처짐(Sagging), 리프팅(Lifting), 인접 와이어 간 쇼트 자동 감지

3D 높이 측정 기술을 적용한 본딩 루프(Loop) 형상의 정밀 입체 분석

공정 중 발생하는 불량 패턴의 통계적 분석 및 장비 파라미터 보정 피드백

[기대 효과]

후공정 품질 신뢰성 확보 및 불량 유출로 인한 리콜 리스크 차단

고밀도 패키징 공정의 검사 속도 향상으로 생산 라인 처리량 증대

53. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 설비 윤활유 교체 시점 센서

제품명:RXO-LubeGuard IoT

등록 번호:제 RXO-2026-OL-053 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 생산 장비의 구동부에 사용되는 윤활유(Oil)의 산화도와 오염도를 실시간 측정하는 IoT 센서입니다. 오일의 유전율 및 점도 변화를 감지하여 최적의 교체 시기를 산출합니다.

[주요 기능]

윤활유 내 금속 마모 입자 및 수분 함유량 실시간 모니터링

AI 기반 열화 모델을 통한 잔여 유효 수명(RUL) 예측 및 자동 알림

무선 IoT망을 통한 전사 장비 윤활 상태 통합 관제 및 이력 관리

[기대 효과]

부적절한 윤활 상태로 인한 장비 고장 예방 및 핵심 부품 수명 연장

불필요한 조기 오일 교체 방지를 통한 유지보수 비용 및 폐유 발생 절감

54. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 공정 레시피 자동 추천기

제품명:RXO-Recipe Advisor AI

등록 번호:제 RXO-2026-RA-054 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

목표하는 반도체 소자의 특성을 입력하면 최적의 공정 조건(온도, 압력, 시간, 가스 유량 등)을 AI가 자동으로 설계하고 추천하는 시스템입니다. 과거 공정 데이터와 수율 결과 간의 인과 관계를 학습한 모델을 사용합니다.

[주요 기능]

새로운 제품 라인업 투입 시 기존 유사 공정 데이터를 기반으로 초기 레시피 자동 생성

실시간 수율 변동에 대응하기 위한 공정 파라미터 최적화 가이드 제시

가상 공정 시뮬레이션(Digital Twin) 연동을 통한 결과 예측 검증

[기대 효과]

공정 셋업 시간 단축 및 엔지니어의 숙련도에 따른 품질 편차 해소

최적 레시피 적용을 통한 초기 수율(Golden Yield) 조기 달성

55. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 다이 부착(Die Attach) 정밀 제어기

제품명:RXO-DieAttacher Pro

등록 번호:제 RXO-2026-DA-055 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼에서 절단된 다이(Die)를 기판이나 리드프레임에 정밀하게 부착하기 위한 하이엔드 제어 시스템입니다. 본딩 하중과 위치 오차를 실시간으로 보정하는 지능형 피드백 기술이 핵심입니다.

[주요 기능]

고정밀 리니어 모터를 활용한 마이크로미터(μm) 단위의 다이 안착 제어

접착제(Epoxy/Film)의 도포 상태 및 다이의 수평도 실시간 감지 보정

다중 적층(Multi-die stacking) 공정 시 하단 다이의 손상을 방지하는 정밀 압력 제어

[기대 효과]

다이 부착 오차로 인한 패키지 불량 감소 및 조립 공정 정밀도 향상

HBM 등 고난도 적층 패키징 공정의 핵심 장비 국산화 및 신뢰성 확보

56. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 장비용 고성능 엣지 서버

제품명:RXO-EdgeMaster Server

등록 번호:제 RXO-2026-EM-056 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 장비 현장에서 발생하는 초고속 데이터를 실시간 처리하고 AI 추론을 수행하는 산업용 고성능 엣지 컴퓨팅 서버입니다. 클린룸 환경에 최적화된 저소음/방진 설계를 갖추고 있습니다.

[주요 기능]

초당 테라바이트급 장비 센서 데이터의 저지연(Low-latency) 처리 및 필터링

현장 비전 검사 알고리즘의 실시간 구동을 위한 GPU 가속기 탑재

장비 제어 시스템(PLC/PC)과의 연동을 통한 실시간 이상 감지 및 제어 명령 수행

[기대 효과]

중앙 서버 부하 감소 및 데이터 보안성 강화

장비 고장 징후 발생 시 밀리초(ms) 단위의 즉각적인 대응 체계 구축

57. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 스크러버 정화 효율 분석기

제품명:RXO-Scrub Analyzer AI

등록 번호:제 RXO-2026-SB-057 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 가스 정화 장치(Scrubber)의 입구와 출구 가스 농도를 실시간 비교하여 정화 효율을 분석하고 최적 운전 조건을 제안하는 시스템입니다.

[주요 기능]

미처리 유해가스의 배출 여부 실시간 모니터링 및 정화 효율 수치화

스크러버 내부 버너(Burner) 상태 및 약품 소모량 최적화 알고리즘

법적 배출 기준 준수를 위한 통합 환경 데이터 기록 및 보고서 생성

[기대 효과]

유해가스 누출 방지를 통한 작업장 안전 확보 및 환경 규제 대응

스크러버 가동 에너지 및 약품 비용 절감을 통한 운영 효율화

58. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 보트 오염도 비전 판독 시스템

제품명:RXO-BoatScan Vision

등록 번호:제 RXO-2026-WB-058 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

확산 및 증착 공정에서 웨이퍼를 담는 쿼츠/카본 보트(Boat)의 미세 오염 및 크랙을 자동 판독하는 시스템입니다. 고해상도 특수 조명 시스템을 통해 육안으로 식별하기 어려운 오염물을 찾아냅니다.

[주요 기능]

공정 전후 보트의 슬롯(Slot) 마모 및 파티클 부착 상태 정밀 검사

딥러닝 기반의 오염 유형 자동 분류 및 세정 주기 추천

보트의 변형 상태를 3D로 측정하여 웨이퍼 이탈 사고 사전 방지

[기대 효과]

오염된 보트 사용으로 인한 웨이퍼 오염(Contamination) 사고 차단

보트 교체 및 세정 주기의 정량화로 소모품 관리 효율 증대

59. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 공장 폐가스 무단 배출 감지기

제품명:RXO-GasAlert IoT

등록 번호:제 RXO-2026-GA-059 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

공장 외곽 및 배기구 주변의 대기질을 IoT 센서로 상시 감시하여 비정상적인 폐가스 배출이나 누출을 감지하는 보안 장치입니다. 광역 센서 네트워크를 통해 오염원의 위치를 추적합니다.

[주요 기능]

대기 중 극미량의 특정 화학 가스 성분 실시간 검출

풍향/풍속 데이터와 연동한 가스 확산 경로 및 발생 근원지 역추적 분석

비상 상황 발생 시 유관 부서 및 인근 작업자 기기로 즉각 상황 전파

[기대 효과]

지역 사회 환경 오염 사고 예방 및 신속한 초기 대응 체계 마련

24시간 자동 감시를 통한 환경 관리 사각지대 해소

60. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 생산 계획 수립 자동화 소프트웨어

제품명:RXO-Planner AI

등록 번호:제 RXO-2026-PL-060 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

수천 개의 공정 단계와 수많은 장비의 제약 조건을 고려하여 가장 효율적인 일일/주간 생산 계획을 수립하는 AI 소프트웨어입니다. 수학적 최적화 알고리즘과 강화학습을 결합했습니다.

[주요 기능]

주문 우선순위, 장비 가동률, 원자재 재고를 고려한 자동 스케줄링

장비 고장이나 긴급 주문 등 돌발 상황 발생 시 실시간 계획 재수립(Re-planning)

생산 병목 구간 예측 및 설비 투자 시나리오 분석 기능

[기대 효과]

생산 계획 수립 시간 단축 및 수동 계획 대비 생산량 ( )% 증대 기대

납기 준수율 향상 및 재공(WIP) 재고 최적화로 물류 흐름 개선

61. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 인라인(In-line) 품질 관리 모듈

제품명:RXO-Inline QC Master

등록 번호:제 RXO-2026-QC-061 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

생산 라인 중간 단계에서 제품의 품질 데이터를 실시간 수집하여 이상 발생 시 즉각 공정을 중단시키거나 보정값을 전송하는 통합 품질 관리 모듈입니다.

[주요 기능]

공정 간 측정 데이터(Metrology)와 검사 데이터(Inspection)의 자동 상관 분석

통계적 공정 관리(SPC) 룰 위반 시 관리자 즉시 알림 및 설비 자동 Interlock

가상 측정(Virtual Metrology) 모델을 통한 미측정 구간의 품질 예측

[기대 효과]

대량 불량 발생(Scrap) 사전 차단 및 품질 비용 절감

전 공정 품질 이력 추적성(Traceability) 확보로 고객사 신뢰도 제고

62. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 설비 냉각수 유량 센서

제품명:RXO-Coolant Flow Link

등록 번호:제 RXO-2026-CW-062 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

노광기, 에처 등 고발열 장비의 온도를 제어하는 냉각수(Chiller Water)의 흐름과 온도를 실시간 감시하는 IoT 센서입니다. 비접촉 초음파 방식을 채택하여 라인 손상 없이 설치 가능합니다.

[주요 기능]

냉각수 유량, 압력, 온도 데이터의 실시간 측정 및 무선 송신

냉각 배관 내 스케일(Scale) 퇴적에 의한 유량 감소 징후 감지

장비 냉각 효율 저하 시 온도 제어 시스템과의 자동 연동 제어

[기대 효과]

냉각 불량으로 인한 고가 장비의 열적 손상 및 공정 변동 방지

냉각수 공급 시스템의 예지 보전을 통한 안정적 Fab 운영 지원

63. 제품 등록증명서: AI 기반 웨이퍼 수평도 자동 보정 로봇 그리퍼

제품명:RXO-LevelGripper AI

등록 번호:제 RXO-2026-RG-063 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼 이송 로봇의 끝단(End-effector)에 장착되어 웨이퍼의 수평 상태를 실시간 감지하고 나노 단위로 보정하는 지능형 그리퍼입니다. 이송 중 슬립(Slip) 방지 기술이 적용되었습니다.

[주요 기능]

내부 탑재된 6축 가속도/자이로 센서를 통한 웨이퍼 기울기 실시간 측정

픽앤플레이스(Pick & Place) 시 설비와의 미세 정렬 오차 자동 보정

웨이퍼의 무게 중심을 분석하여 최적의 파지 압력 실시간 조절

[기대 효과]

이송 중 웨이퍼 이탈 및 파손 사고 원천 차단

정밀한 수평 유지로 설비 투입 시 정렬 시간 단축 및 공정 정확도 향상

64. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 설계 데이터 보안 암호화 유닛

제품명:RXO-Design Shield Unit

등록 번호:제 RXO-2026-DS-064 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 설계 자산(IP) 및 GDSII 등 핵심 설계 도면 데이터를 외부 유출로부터 보호하기 위한 하드웨어 기반의 보안 암호화 장치입니다.

[주요 기능]

설계 서버와 스토리지 간 전송되는 대용량 데이터의 실시간 하드웨어 암호화

허가된 엔지니어 및 워크스테이션에서만 데이터 복호화가 가능한 접근 제어

데이터 열람, 수정, 복사 이력의 위변조 불가능한 로그 기록(Blockchain 연동)

[기대 효과]

국가 핵심 기술인 반도체 설계 자산의 해외 유출 및 기술 탈취 완벽 차단

설계 협력사 간 안전한 데이터 공유 환경 구축

65. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 장비 진동 감쇄 능동형 마운트

제품명:RXO-Active Mount IoT

등록 번호:제 RXO-2026-AM-065 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

주변 장비나 공장 내부 바닥에서 발생하는 미세 진동을 실시간 감지하고 반대 위상의 진동을 발생시켜 상쇄하는 능동형 진동 제어 장치입니다. IoT를 통해 진동 데이터를 분석합니다.

[주요 기능]

저주파에서 고주파까지 광범위한 진동 주파수 실시간 모니터링 및 감쇄

노광기 및 계측 장비 등 진동에 민감한 설비의 수평 유지 및 안정화

진동 발생 패턴 분석을 통한 주변 설비의 이상 구동 징후 역추적

[기대 효과]

공정 중 미세 진동으로 인한 패턴 왜곡 및 계측 오차 제거

장비의 기계적 안정성 확보를 통한 초미세 공정 수율 극대화

66. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 포토레지스트 코팅 균일도 검사기

제품명:RXO-PR Uniformity Scan

등록 번호:제 RXO-2026-PR-066 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼 표면에 도포된 포토레지스트(PR)의 두께 균일성을 고속으로 스캔하고 분석하는 지능형 검사기입니다. 분광 타원계(Ellipsometry) 기술에 AI 해석 모델을 더했습니다.

[주요 기능]

웨이퍼 전면의 PR 두께 분포 맵(Map) 실시간 생성 및 편차 분석

코팅 공정 중 발생하는 기포, 줄무늬(Striation), 테두리 오염 등 결함 자동 탐지

스핀 코터(Spin Coater)의 회전수 및 노즐 압력 최적화 보정값 피드백

[기대 효과]

노광 공정 전 코팅 불량 선별로 고가 장비의 낭비 방지

PR 두께 최적 관리를 통한 노광 패턴의 선폭(CD) 균일성 향상

67. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 후공정 레이저 마킹 비전 검사기

제품명:RXO-MarkInspect Vision

등록 번호:제 RXO-2026-LM-067 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 패키지 표면에 새겨진 제품 정보 및 바코드의 각인 상태를 검사하는 지능형 비전 시스템입니다. OCR(광학 문자 인식) 딥러닝 기술을 사용하여 오독률을 최소화했습니다.

[주요 기능]

레이저 마킹의 흐림, 끊김, 위치 이탈 및 오타 실시간 자동 판별

초소형 패키지 상의 2D 바코드 및 데이터 매트릭스 고속 리딩 및 데이터 정합성 검사

다양한 패키지 재질(몰딩 수지, 금속 등)에 최적화된 가변 조명 제어

[기대 효과]

오기입된 제품의 출하 방지 및 완벽한 이력 추적(Traceability) 보장

고속 생산 라인에 대응하는 신속한 검사로 후공정 생산성 유지

68. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 제조 시설 내 근로자 위치 추적기

제품명:RXO-SafeZone Tracker

등록 번호:제 RXO-2026-ST-068 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

방대한 반도체 팹 내부에서 근로자의 실시간 위치를 파악하여 안전 관리 및 비상 대응을 지원하는 IoT 웨어러블 장치입니다. 고정밀 실내 측위 기술이 적용되었습니다.

[주요 기능]

위험 구역(고전압, 유독가스실 등) 접근 시 근로자에게 즉각 진동 경고 알림

가스 누출이나 화재 발생 시 대피 경로 안내 및 잔류 인원 실시간 파악

근로자의 낙상이나 장시간 무동작 감지 시 관리실 자동 SOS 신호 송신

[기대 효과]

Fab 내 인명 사고 제로화 및 안전 골든타임 확보

효율적인 인력 배치 분석을 통한 공정 유지보수 동선 최적화

69. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 장비 전기적 성능 진단 시스템

제품명:RXO-ElecDiag AI

등록 번호:제 RXO-2026-ED-069 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 장비에 공급되는 전력 품질과 각 모듈의 전기적 응답 특성을 분석하여 장비의 건강 상태를 진단하는 시스템입니다. 고속 파형 데이터 분석 AI를 탑재했습니다.

[주요 기능]

전압 서지, 노이즈, 고조파 등 전력 품질 저하 요소의 실시간 감시

전기적 특성 변화를 통한 노후 부품(콘덴서, 릴레이 등)의 고장 예후 진단

장비별 에너지 소비 효율 분석 및 전력 최적화 시나리오 제공

[기대 효과]

전기적 불안정으로 인한 장비 오작동 및 반도체 칩 파손 방지

데이터 기반의 체계적인 전력 설비 관리로 공장 운영 안정성 제고

70. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 적재함 온습도 실시간 기록기

제품명:RXO-EnvLogger Pro

등록 번호:제 RXO-2026-EL-070 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼 보관함 및 적재 시스템 내부의 온습도를 나노 단위 시간으로 기록하고 무선 전송하는 지능형 로거입니다. 미세한 환경 변화가 품질에 미치는 영향을 추적합니다.

[주요 기능]

초정밀 센서를 통한 실시간 온도/습도/기압 데이터 수집 및 내부 메모리 기록

설정 범위 이탈 시 공조 시스템(HVAC)에 실시간 보정 신호 전송 및 알람

장기 보관 웨이퍼의 환경 노출 이력 보고서 자동 생성

[기대 효과]

습도에 민감한 박막의 산화 방지 및 품질 저하 원인 규명

최적의 환경 관리 데이터 확보를 통한 클린룸 운영 비용 효율화

71번 항목부터 이어서 작성이 필요하시면 언제든 말씀해 주세요. 중단 없이 계속해서 구체적으로 제작해 드릴 수 있습니다. 이어서 진행할까요?

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## 71. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 특수가스 용기 잔량 감지 센서

**제품명:** RXO-GasGauge IoT

**등록 번호:** 제 RXO-2026-GG-071 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

반도체 공정에 필수적인 고순도 특수가스 실린더의 잔량을 실시간으로 감지하는 IoT 기반 정밀 센서입니다. 고정밀 로드셀(Load Cell) 및 압력 트랜스듀서를 활용하여 가스의 물리적 상태를 데이터화합니다.

**[주요 기능]**

* 가스 실린더의 무게 및 압력 변화를 통한 실시간 잔량(%) 계산 및 전송

* 설정된 하한값 도달 시 중앙 관제실 및 담당자 기기로 즉각적인 가스 교체 알람 송신

* 가스 소비 패턴 분석을 통한 공정별 사용량 통계 및 재고 최적화 데이터 제공

**[기대 효과]**

* 가스 소진으로 인한 공정 중단 사고를 사전에 차단하여 생산성 유지

* 정확한 잔량 관리를 통한 잔존 가스 낭비 방지 및 운영 비용 절감

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## 72. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 부품 역설계 및 수율 분석기

**제품명:** RXO-Reverse Engine AI

**등록 번호:** 제 RXO-2026-RE-072 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

기존 반도체 부품의 3D 스캔 데이터나 단면 이미지를 분석하여 원본 설계 사양을 복원하고, 공정 변수에 따른 예상 수율을 시뮬레이션하는 AI 시스템입니다.

**[주요 기능]**

* 고해상도 CT/X-ray 이미지를 기반으로 한 다층 구조 부품의 정밀 3D 모델링 생성

* 역설계된 부품의 소재 특성 및 치수 오차가 전체 수율에 미치는 영향도 분석

* 부품 국산화 및 대체품 적용 시 기존 설비와의 호환성 가상 검증

**[기대 효과]**

* 해외 의존도가 높은 핵심 부품의 국산화 개발 기간 단축 및 기술 자립도 향상

* 부품 사양 변경에 따른 수율 저하 리스크 사전 파악 및 최적화

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## 73. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 클린룸용 무인 자율 청소 로봇

**제품명:** RXO-CleanBot Autonomous

**등록 번호:** 제 RXO-2026-CB-073 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

클린룸 내부 바닥의 파티클을 제거하고 오염도를 상시 감시하는 자율 주행 로봇입니다. SLAM 기술과 초미세 헤파(HEPA) 필터링 시스템이 적용되었습니다.

**[주요 기능]**

* LiDAR 및 비전 센서를 활용한 클린룸 내 장애물 회피 및 최적 청소 경로 주행

* 주행 중 바닥 및 공기 중 파티클 농도 실시간 측정 및 맵핑(Mapping) 데이터 생성

* 파티클 다량 발생 구역 발견 시 집중 정화 모드 가동 및 상황 전파

**[기대 효과]**

* 인력 투입에 의한 2차 오염 방지 및 클린룸 청정도 유지 비용 절감

* 24시간 상시 청정 환경 관리를 통한 공정 불량률 감소

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## 74. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 설비용 원격 유지보수 AR 글래스

**제품명:** RXO-AR Maintenance Visor

**등록 번호:** 제 RXO-2026-AR-074 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

현장 엔지니어가 착용하여 원격지의 전문가와 시야를 공유하고 AR 가이드를 제공받는 IoT 연동 스마트 글래스 솔루션입니다.

**[주요 기능]**

* 현장 설비의 실시간 영상 공유 및 음성 통화를 통한 원격 기술 지원

* 설비 유지보수 매뉴얼 및 내부 회로도를 착용자의 시야에 증강 현실로 투사

* 설비의 IoT 센서 데이터와 연동하여 주요 부품의 상태 정보를 실시간 표시

**[기대 효과]**

* 고난도 고장 수리 시 외부 전문가 방문 대기 시간 단축 및 즉각 대응 가능

* 초보 엔지니어의 작업 정확도 향상 및 유지보수 교육 비용 절감

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## 75. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 소자 노이즈 자동 제거 필터

**제품명:** RXO-NoiseKiller Filter

**등록 번호:** 제 RXO-2026-NK-075 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

반도체 소자 테스트 과정에서 발생하는 전기적 노이즈를 AI 알고리즘으로 실시간 식별하고 제거하여 실제 신호의 정확도를 높이는 필터 유닛입니다.

**[주요 기능]**

* 복잡한 전력 환경에서 발생하는 화이트 노이즈 및 고주파 간섭 신호 자동 분리

* 딥러닝 모델을 통한 소자 특유의 신호 패턴 학습 및 비정상 신호 보정

* 테스트 장비의 샘플링 속도에 영향을 주지 않는 초고속 연산 처리

**[기대 효과]**

* 테스트 정확도 향상으로 인한 양품 선별력 강화 및 과검사 방지

* 미세 공정 소자의 신뢰성 검증 시 측정 데이터의 품질 확보

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## 76. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 리소그래피 노출량 자동 최적화기

**제품명:** RXO-LithoExposure Opti

**등록 번호:** 제 RXO-2026-LO-076 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

노광 공정에서 웨이퍼별, 샷(Shot)별 최적의 광량(Exposure Dose)을 AI가 실시간 계산하여 제어하는 장치입니다.

**[주요 기능]**

* 하부 막질의 두께 변화 및 단차 정보를 분석하여 최적의 노광 에너지 산출

* 실시간 오버레이 및 선폭(CD) 데이터를 피드백 받아 다음 샷의 광량 자동 보정

* 노광기 램프 및 렌즈 상태 변화에 따른 노출량 드리프트 자동 상쇄

**[기대 효과]**

* 선폭 균일도(CD Uniformity) 개선을 통한 회로 특성 안정화

* 공정 산포 축소로 인한 노광 공정의 수율 극대화

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## 77. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 세정 공정 초순수 저항률 센서

**제품명:** RXO-UPW Resistivity Link

**등록 번호:** 제 RXO-2026-UP-077 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

반도체 세정 공정에 사용되는 초순수(UPW)의 순도를 실시간 측정하는 IoT 저항률 센서입니다. 미세한 이온 오염까지 감지합니다.

**[주요 기능]**

* 초순수의 비저항(Resistivity) 및 온도 데이터의 실시간 초정밀 측정

* IoT 통신을 통한 수질 데이터의 실시간 전송 및 수질 저하 시 자동 차단 연동

* 세정 장비별 초순수 사용량 및 수질 변화 이력 통합 관리

**[기대 효과]**

* 수질 불량으로 인한 웨이퍼 오염 사고의 실시간 방지

* 초순수 공급 시스템의 필터 교체 주기 최적화 및 운영 효율 개선

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## 78. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 패키징 내 보이드(Void) 탐지기

**제품명:** RXO-VoidFinder AI

**등록 번호:** 제 RXO-2026-VF-078 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

반도체 패키징 몰딩이나 다이 부착 공정 시 내부의 미세 공기방울(Void)을 X-ray 이미지를 통해 자동 탐지하는 AI 시스템입니다.

**[주요 기능]**

* X-ray 투과 이미지에서 보이드의 크기, 개수, 위치를 딥러닝으로 자동 판독

* 허용 기준치를 초과하는 보이드가 포함된 불량 패키지 실시간 선별

* 보정 알고리즘을 통한 이미지 노이즈 제거 및 판독 정확도 극대화

**[기대 효과]**

* 패키지 신뢰성 테스트(내습성, 열충격 등) 전 불량 조기 선별

* 육안 판독 대비 검사 시간 단축 및 검사 결과의 정량적 데이터화

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## 79. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 전송 암(Arm) 정밀 가동 모니터

**제품명:** RXO-ArmWatch Pro

**등록 번호:** 제 RXO-2026-WM-079 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

EFEM 및 반송 장비 내 웨이퍼 전송 로봇 암의 진동과 토크를 실시간 감시하여 구동 이상을 진단하는 모니터링 모듈입니다.

**[주요 기능]**

* 암 구동 모터의 전류 파형 및 관절 부위 진동 데이터 실시간 분석

* 베어링 마모나 벨트 장력 이상에 따른 미세 이송 오차 징후 탐지

* 로봇 암의 가동 경로 이탈 시 설비 정지 신호 전송 및 충돌 사고 방지

**[기대 효과]**

* 로봇 구동 이상으로 인한 웨이퍼 파손 및 장비 다운타임 최소화

* 예지 보전을 통한 로봇 소모성 부품의 효율적 관리

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## 80. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 공장 통합 에너지 대시보드

**제품명:** RXO-Energy Central

**등록 번호:** 제 RXO-2026-ED-080 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

Fab 내 모든 장비 및 유틸리티 설비의 에너지 소비량을 실시간으로 통합하여 시각화하고 최적화 방안을 제시하는 대시보드 시스템입니다.

**[주요 기능]**

* 전력, 가스, 초순수 등 유틸리티별 실시간 사용량 및 비용 환산 표시

* AI 기반 전력 수요 예측을 통한 피크 시간대 부하 관리 및 분산 가동 제안

* 장비별 에너지 효율(OEE 대비 에너지 소모) 랭킹 및 낭비 요소 분석

**[기대 효과]**

* 공장 운영 비용 중 큰 비중을 차지하는 에너지 비용의 ( )% 절감 목표 지원

* 탄소 배출량 관리와 연계한 친환경 스마트 팩토리 구현

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## 81. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 소자 누설 전류 예측 자동 검사기

**제품명:** RXO-Leakage Predictor

**등록 번호:** 제 RXO-2026-LC-081 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

웨이퍼 레벨 테스트 단계에서 수집된 초기 데이터를 바탕으로 향후 발생할 누설 전류(Leakage) 위험을 AI로 예측하는 검사 시스템입니다.

**[주요 기능]**

* 전류-전압(I-V) 곡선 데이터를 분석하여 잠재적 소자 불량 후보군 실시간 도출

* 공정 레시피와 누설 전류 간의 상관관계 학습을 통한 원인 공정 추적

* 미세 누설 전류를 감지하기 위한 초고감도 측정 회로 및 AI 보정 기술 적용

**[기대 효과]**

* 저전력 반도체의 핵심 품질 지표인 대기 전력 소모량의 완벽한 제어

* 잠재 불량 소자의 조기 선별로 최종 제품의 전력 효율 신뢰성 확보

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## 82. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 노광용 반사경 위치 미세 조정기

**제품명:** RXO-Mirror Adjuster AI

**등록 번호:** 제 RXO-2026-MA-082 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

EUV 및 고성능 노광기 내부에 탑재된 광학 반사경의 위치를 피코미터(pm) 단위로 초정밀 조정하는 지능형 제어기입니다.

**[주요 기능]**

* 광경로 센서와 연동하여 반사경의 각도 및 위치를 실시간 피드백 보정

* 장비 내부의 열팽창에 의한 광학적 뒤틀림을 상쇄하는 능동형 보상 제어

* 비접촉식 자기 부상 구동 기술을 통한 진동 및 분진 발생 억제

**[기대 효과]**

* 노광 광학계의 안정성 유지로 초미세 회로 패턴의 해상도 극대화

* 장시간 가동 시에도 일관된 광학적 성능을 유지하여 공정 수율 기여

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## 83. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 설비 가동 시간(Uptime) 극대화기

**제품명:** RXO-Uptime Booster

**등록 번호:** 제 RXO-2026-UB-083 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

장비의 비가동 원인을 실시간으로 분석하고 조치 방안을 제시하여 설비 가동 시간(Uptime)을 최대화하는 IoT 관리 솔루션입니다.

**[주요 기능]**

* 설비 정지 로그의 자동 분류 및 비가동 사유별 시간 분석(MTTR/MTBF 관리)

* 유사 정지 사례 및 조치 이력을 검색하여 현장 작업자에게 최적 가이드 제공

* 예비 부품 재고 상태와 연동하여 정비 필요 시 즉각적인 자재 수급 요청

**[기대 효과]**

* 설비 가동률 제고를 통한 투자 대비 생산성(ROI) 극대화

* 체계적인 설비 관리 데이터 축적으로 운영 효율 최적화

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## 84. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 증착 두께 실시간 제어 알고리즘

**제품명:** RXO-DepoThickness Controller

**등록 번호:** 제 RXO-2026-DT-084 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

화학 기상 증착(CVD) 및 원자층 증착(ALD) 공정 중 박막의 두께를 실시간으로 예측하고 증착 시간을 조절하는 AI 제어 알고리즘입니다.

**[주요 기능]**

* 챔버 내 온도, 압력, 플라즈마 상태 데이터를 기반으로 박막 성장률 실시간 예측

* 목표 두께 도달 시점을 미리 계산하여 공정 종료 및 가스 공급 중단 신호 생성

* 증착 공정 중 발생하는 드리프트 현상을 학습하여 매 런(Run)마다 최적 시간 보정

**[기대 효과]**

* 박막 두께 산포(Uniformity) 최소화로 고품질 적층 구조 형성

* 오버 증착 방지로 인한 가스 소모량 절감 및 공정 시간 단축

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## 85. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 제조 공정용 스마트 가스 밸브

**제품명:** RXO-Smart Gas Valve

**등록 번호:** 제 RXO-2026-GV-085 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

공정 가스의 흐름을 디지털 방식으로 정밀 제어하고, 밸브 자체의 마모 및 리크(Leak) 상태를 자가 진단하는 스마트 밸브입니다.

**[주요 기능]**

* 마이크로 세컨드 단위의 고속 밸브 개폐 및 유량 정밀 제어

* 밸브 시트(Seat)의 마모도를 전류 파형으로 감지하여 교체 시기 자가 보고

* 가스 유출 및 압력 이상 발생 시 네트워크와 무관한 독립적 비상 차단 기능

**[기대 효과]**

* 가스 공급의 정밀도 향상으로 공정 결과물 일관성 확보

* 밸브 고장으로 인한 가스 누출 사고 및 공정 불량 사전 방지

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## 86. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 공정 장비용 고성능 필터 감지기

**제품명:** RXO-Filter Sensor IoT

**등록 번호:** 제 RXO-2026-FG-086 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

가스 및 케미컬 라인에 장착된 필터의 폐쇄(Clogging) 정도를 차압 분석을 통해 감지하는 IoT 센서 모듈입니다.

**[주요 기능]**

* 필터 전후단의 압력 차이를 실시간 측정하여 필터 수명 상태 가시화

* 필터 효율 저하에 따른 유량 변화 및 파티클 유입 위험성 경고

* 누적 사용 데이터 기반의 최적 필터 교체 주기 예측 알고리즘 탑재

**[기대 효과]**

* 필터 폐쇄로 인한 장비 가동 중단 사고 예방

* 적기 필터 교체를 통한 공정 순도 유지 및 부품 교체 비용 최적화

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## 87. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 설계 라이브러리 자동 업데이트 툴

**제품명:** RXO-Library Updater AI

**등록 번호:** 제 RXO-2026-LU-087 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

공정 변경(Tech-node migration) 시 기존의 표준 셀(Standard Cell) 및 IP 라이브러리를 새로운 공정에 맞춰 AI가 자동 변환 및 최적화하는 툴입니다.

**[주요 기능]**

* 새로운 공정 디자인 룰(DRC) 및 특성 데이터를 기반으로 셀 레이아웃 자동 리사이징

* 변환된 라이브러리의 전기적 성능(Timing, Power) 및 면적 최적화 수행

* 라이브러리 일관성 검증 및 시뮬레이션 모델(Spice) 자동 생성

**[기대 효과]**

* 신공정 전환 시 설계 자산 재활용 극대화 및 라이브러리 구축 시간 단축

* 수동 변환 과정에서 발생하는 설계 휴먼 에러 원천 차단

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## 88. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 다이 정렬 비전 매칭 시스템

**제품명:** RXO-Die Matcher Vision

**등록 번호:** 제 RXO-2026-DM-088 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

프로브 카드(Probe Card) 테스트 및 패키징 공정에서 웨이퍼 내 개별 다이의 정확한 좌표를 비전으로 매칭하는 고정밀 시스템입니다.

**[주요 기능]**

* 웨이퍼 맵 데이터와 실제 웨이퍼 상의 다이 위치를 실시간 정합(Alignment)

* 미세하게 뒤틀린 웨이퍼나 다이 크기 편차를 고려한 동적 좌표 보정

* 딥러닝 패턴 인식을 통한 손상된 다이 또는 마크 미인식 다이 식별

**[기대 효과]**

* 테스트 및 본딩 위치 정확도 개선을 통한 공정 불량 제로화

* 고속 비전 매칭으로 장비의 웨이퍼 로딩 및 스캔 타임 단축

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## 89. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 공장 내 자율 주행 지게차 센서

**제품명:** RXO-Forklift Smart Sensor

**등록 번호:** 제 RXO-2026-FL-089 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

반도체 물류 창고 및 비클린룸 구역에서 운용되는 지게차의 안전과 자율 주행을 지원하는 IoT 센서 패키지입니다.

**[주요 기능]**

* 초음파 및 LiDAR 기반의 작업자 및 장애물 근접 감지 시 자동 제동

* 지게차의 실시간 위치 및 이동 경로 데이터를 관리 서버로 전송하여 물류 흐름 분석

* 적재함 무게 및 기울기 감지를 통한 전도 방지 및 과적 경고

**[기대 효과]**

* 공장 내 물류 이송 과정 중 인명 및 자재 파손 사고 방지

* 지게차 운용 효율 분석을 통한 내부 물류 최적화 지원

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## 90. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 물류 이송 시뮬레이션 플랫폼

**제품명:** RXO-Logistics Sim AI

**등록 번호:** 제 RXO-2026-LS-090 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

Fab 내 수백 대의 OHT 및 로봇의 움직임을 디지털 트윈 환경에서 시뮬레이션하여 물류 병목 현상을 예측하고 개선하는 플랫폼입니다.

**[주요 기능]**

* 설비 레이아웃 및 생산량 변경 시 물류 처리량(Throughput) 가상 테스트

* AI 에이전트 기반의 최적 로봇 배정 및 경로 할당 알고리즘 시뮬레이션

* 물류 정체 구간의 실시간 감지 및 가동 시나리오별 개선 효과 수치화

**[기대 효과]**

* 신규 라인 가동 전 물류 설계 오류 발견 및 수정으로 초기 가동 안정화

* 기존 라인의 물류 최적화로 전체 공정 대기 시간 단축

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## 91. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 패키징 몰딩 압력 분석 시스템

**제품명:** RXO-Mold Pressure Sense

**등록 번호:** 제 RXO-2026-MP-091 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

몰딩 공정 시 금형 내부에 가해지는 압력을 실시간 측정하여 수지(EMC)의 충진 상태를 분석하는 시스템입니다.

**[주요 기능]**

* 금형 내 다중 포인트 압력 센서를 통한 실시간 압력 프로파일 수집

* 수지의 흐름 균형(Balance) 분석을 통한 미충진 또는 과압 구간 탐지

* 다이 및 와이어에 가해지는 유동 응력을 계산하여 와이어 휩(Sweep) 예측

**[기대 효과]**

* 패키지 내부 손상 방지 및 몰딩 불량률 감소

* 최적의 주입 압력 및 속도 레시피 도출을 통한 품질 안정화

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## 92. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 설비 메인 컨트롤러 모니터

**제품명:** RXO-Controller Monitor IoT

**등록 번호:** 제 RXO-2026-MC-092 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

설비의 두뇌인 메인 PC 및 PLC의 리소스 상태와 제어 신호를 실시간 감시하는 IoT 유닛입니다.

**[주요 기능]**

* 컨트롤러의 CPU 부하, 메모리 점유율, 저장장치 수명 실시간 모니터링

* 제어 신호의 지연(Latency) 및 노이즈 발생 여부 상시 감지

* 시스템 다운 전 전조 증상을 분석하여 관리자 기기로 선제적 알림 전송

**[기대 효과]**

* 제어 시스템 오류로 인한 설비 셧다운 사고 사전 차단

* 소프트웨어적 장애 발생 시 신속한 원인 분석 및 복구 지원

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## 93. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 장비 고장 복구 자동 가이드

**제품명:** RXO-Recovery Guide AI

**등록 번호:** 제 RXO-2026-RG-093 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

설비 정지 시 고장 코드를 분석하여 가장 확률 높은 원인을 도출하고 인터랙티브한 복구 가이드를 제공하는 AI 솔루션입니다.

**[주요 기능]**

* 장비 로그 데이터와 과거 정비 데이터베이스를 대조하여 최적 수리 방법 제안

* 조치 단계를 이미지 및 비디오 가이드로 제공하여 엔지니어의 숙련도 격차 보완

* 조치 결과 피드백을 통한 해결 성공률이 높은 가이드 우선 노출 학습

**[기대 효과]**

* 평균 수리 시간(MTTR) 단축을 통한 라인 가동률 개선

* 숙련 엔지니어의 노하우를 데이터화하여 조직 전체의 유지보수 역량 향상

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## 94. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 클리닝용 초음파 출력 제어기

**제품명:** RXO-Sonic Controller

**등록 번호:** 제 RXO-2026-SC-094 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

세정 공정에서 사용되는 초음파(Megasonic)의 주파수와 출력을 제어하여 웨이퍼의 미세 패턴 손상 없이 이물을 제거하는 장치입니다.

**[주요 기능]**

* 세정액의 온도 및 오염도에 따른 최적 초음파 출력 실시간 가변 제어

* 캐비테이션(Cavitation) 현상을 정밀 제어하여 미세 패턴 붕괴 방지

* 센서 피드백을 통한 초음파 진동자의 성능 저하 및 고장 실시간 진단

**[기대 효과]**

* 초미세 패턴의 세정 공정 수율 향상 및 패턴 손상 방지

* 효율적인 에너지 사용 및 세정액 반응성 극대화

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## 95. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 원자재 변동 추적 게이트웨이

**제품명:** RXO-Supply Chain Gateway

**등록 번호:** 제 RXO-2026-SG-095 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

반도체 원자재의 입고부터 공정 투입까지의 전 과정에서 발생하는 환경 변화와 물류 이동을 추적하는 통합 게이트웨이입니다.

**[주요 기능]**

* 입고 자재의 바코드/RFID 정보를 IoT 센서 데이터(온도, 습도 등)와 결합 관리

* 자재별 유효기간 및 보관 조건 준수 여부 실시간 모니터링

* 전사적 자원 관리(ERP) 시스템과 실시간 재고 데이터 동기화

**[기대 효과]**

* 변질되거나 조건 미달 자재의 공정 투입 차단으로 품질 사고 예방

* 실시간 원자재 가시성 확보로 생산 계획과 연계한 재고 관리 효율화

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## 96. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 공정 가스 재활용률 최적화기

**제품명:** RXO-Gas Recycle Opti

**등록 번호:** 제 RXO-2026-GR-096 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

식각 및 증착 공정 후 배출되는 고가의 특수가스를 포집 및 정제하여 재사용하는 비율을 AI로 최적화하는 시스템입니다.

**[주요 기능]**

* 배출 가스의 순도 및 성분을 실시간 분석하여 재활용 가능 여부 자동 판별

* 정제 설비의 가동 부하와 공정 가스 수요량을 분석하여 최적 회수 스케줄링

* 재사용 가스 투입 시 공정 품질에 미치는 영향도를 시뮬레이션 및 상시 감시

**[기대 효과]**

* 고가 공정 가스 구매 비용의 획기적 절감

* 폐가스 배출 감소를 통한 친환경 공정 구현 및 탄소 중립 기여

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## 97. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 품질 성적서(CoA) 자동 생성 AI

**제품명:** RXO-CoA AutoGen AI

**등록 번호:** 제 RXO-2026-CA-097 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

수천 장의 웨이퍼 테스트 및 검사 결과를 종합하여 고객사별 맞춤형 품질 성적서(Certificate of Analysis)를 자동으로 생성하는 AI 솔루션입니다.

**[주요 기능]**

* 테스트 시스템(ATE) 및 계측 장비 데이터 자동 추출 및 양식 최적화

* 품질 기준 이탈 데이터 자동 필터링 및 리포트 내 이상 유무 하이라이팅

* 다국어 지원 및 고객사별 요구 형식에 따른 문서 구조 자동 변경

**[기대 효과]**

* 수동 문서 작업 시간 단축 및 데이터 오기입에 의한 클레임 방지

* 제품 출하 승인 프로세스의 신속화 및 업무 정확도 향상

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## 98. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 장비 내 고속 카메라 분석기

**제품명:** RXO-HighSpeed Vision Link

**등록 번호:** 제 RXO-2026-HV-098 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

장비 내부의 고속 구동 부품 움직임을 촬영하고, 이를 AI로 분석하여 찰나의 순간에 발생하는 불량을 포착하는 분석기입니다.

**[주요 기능]**

* 초당 수만 프레임의 고속 영상 촬영 및 특정 이벤트(에러 발생 시점) 자동 저장

* AI 영상 분석을 통한 기계적 간섭, 진동 파형, 부품 이탈 현상 자동 식별

* 설비 제어 신호와 영상 프레임을 동기화하여 고장 원인 분석용 타임라인 제공

**[기대 효과]**

* 원인 불명의 간헐적 설비 에러(Intermittent Failure) 원인 규명 시간 단축

* 고속 생산 장비의 기계적 완성도 및 구동 안정성 검증

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## 99. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 웨이퍼 매핑 이상 탐지 소프트웨어

**제품명:** RXO-MapAnomaly Detector

**등록 번호:** 제 RXO-2026-WM-099 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

웨이퍼 상의 불량 다이 분포 패턴을 분석하여 불량의 원인이 된 특정 공정이나 장비를 식별하는 AI 소프트웨어입니다.

**[주요 기능]**

* 불량 패턴(Ring, Scratch, Cluster 등)을 딥러닝으로 분류 및 자동 명명

* 동일 장비/공정에서 발생한 과거 불량 지도와 실시간 비교 분석

* 특정 패턴 발생 시 공정 관리자에게 해당 공정의 점검 권고 알림 자동 송신

**[기대 효과]**

* 집단적 수율 저하 발생 시 원인 공정 추적 시간(TAT) 대폭 단축

* 공정 간 상관관계 분석을 통한 잠재적 공정 취약점 조기 발견

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## 100. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 스마트 팩토리 통합 관제 허브

**제품명:** RXO-Fab Master Hub

**등록 번호:** 제 RXO-2026-MH-100 호

**발행 기관:** 주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

**[제품 개요 및 핵심 기술]**

공장 내 모든 IoT 기기, AI 엔진, 제조 시스템(MES, ERP)의 데이터를 통합하여 실시간 Fab 운영 현황을 관리하는 최종 관제 시스템입니다.

**[주요 기능]**

* 전사 설비 가동률, 공정 수율, 물류 상태, 에너지 지표의 통합 대시보드 제공

* AI 기반의 공장 운영 이상 징후 실시간 탐지 및 위기 대응 시나리오 자동 실행

* 주식회사 알엑스오그룹의 H100/A100 인프라를 활용한 전사 생산 최적화 연산 수행

**[기대 효과]**

* 데이터 중심의 신속하고 정확한 의사결정 체계 구축

* 생산 공정의 완전 무인화 및 자동화를 위한 차세대 스마트 팩토리 표준 제시

1. [제품 등록증명서] AI 기반 웨이퍼 나노 결함 자동 비전 검사기

등록 번호:RXO-WFR-2026-001

제품 명칭:Nano-Scan AI Vision Master

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술:

초고해상도 나노 스캐닝:고주파 광학 센서를 통한 10nm급 미세 회로 결함(Short/Open) 실시간 정밀 스캔.

딥러닝 결함 분류(ADC):수만 장의 결함 데이터를 학습한 AI 엔진이 칩핑, 스크래치, 이물을 99.9% 확률로 자동 분류.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:반도체 전공정(FEOL) 웨이퍼 패턴 검사 및 수율 관리 자동화.

2. [제품 등록증명서] IoT 연동 클린룸 미세입자 실시간 분석 센서

등록 번호:RXO-CLN-2026-002

제품 명칭:IoT-CleanRoom Particle Sentinel

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술:

레이저 산란 입자 계측:0.1μm 크기의 미세 입자(Particle) 농도를 레이저 산란 기술로 실시간 계측.

무선 IoT 메시 네트워크:수백 개의 센서 노드를 단일 게이트웨이로 통합 관리하여 클린룸 내 오염 맵(Map) 실시간 시각화.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:반도체 팹(Fab) 내 대기 환경 상시 모니터링 및 오염 사고 조기 경보.

3. [제품 등록증명서] 딥러닝 기반 식각(Etching) 공정 온도 최적화기

등록 번호:RXO-ETC-2026-003

제품 명칭:Deep-Etch Thermal Optimizer

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술:

공정 시계열 데이터 분석:챔버 내 온도 변화와 식각 결과물 사이의 상관관계를 딥러닝으로 분석하여 최적 온도 프로파일 생성.

실시간 능동 제어:식각 중 발생하는 열적 드리프트를 감지하여 0.1도 단위의 미세 보정 명령을 장치에 전달.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:반도체 식각 공정의 균일도(Uniformity) 향상 및 미세 패턴 가공 정밀도 확보.

4. [제품 등록증명서] 지능형 반도체 증착 장비 예지보전 센서 노드

등록 번호:RXO-DEP-2026-004

제품 명칭:Smart-Depo Predictive Node

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술:

복합 물리 센싱:증착 챔버 구동부의 진동, 초음파, 전류 소모 데이터를 통합 수집하여 기계적 노후도 분석.

장애 발생 사전 예측:AI 알고리즘을 통해 장비 고장 징후를 72시간 전 사전 예측하여 가동 중단(Downtime) 방지.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:증착 설비 유지보수 스케줄 자동화 및 핵심 부품 수명 연장 관리.

5. [제품 등록증명서] IoT 기반 산업용 특수가스 미세 누출 탐지기

등록 번호:RXO-GAS-2026-005

제품 명칭:IoT-Gas Leak Guardian Pro

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술:

화학 반응형 고정밀 센서:반도체 공정에 사용되는 독성/가연성 특수가스(SiH4, NF3 등)의 미세 누출을 ppb 단위로 감지.

중앙 집중식 통합 관제:가스 누출 위치를 평면도상에 표시하고 스마트 기기 및 소방 시스템에 즉각 자동 통보.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:반도체 제조 공장 내 안전 사고 예방 및 신속한 비상 대응 시스템 구축.

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6번부터 10번까지의 리스트를 이어서 작성해 드릴까요? 혹은 특정 제품의 기술 규격보완이 필요하신가요?

주식회사 알엑스오그룹(RXO Group)의 기술적 사양과 산업 표준을 반영하여, 6번부터 10번 항목에 대한 [제품 등록증명서]를 공정 데이터와 하드웨어 규격을 포함해 더욱 구체적으로 재구성하였습니다.

6. [제품 등록증명서] AI 최적화 화학기계연마(CMP) 압력 제어기

등록 번호:RXO-CMP-2026-006

제품 명칭:AI-Precision CMP Pressure Controller (Model: RXO-P100)

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술 및 사양:

0.01psi 단위 미세 가압 제어:서보 모터와 AI 피드백 루프를 결합하여 웨이퍼 면내 하중 분배를 실시간 최적화.

종점 검출(EPD) 연동형 로직:연마 중 발생하는 마찰 진동 데이터를 AI가 분석하여 연마 완료 시점을 99.8% 정확도로 판정.

멀티 존(Multi-zone) 압력 보정:웨이퍼 중심부와 외곽부의 연마 속도 차이를 분석하여 개별 에어백 압력을 자동 보정.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:10nm 이하 미세 공정용 웨이퍼 평탄화 및 박막 두께 균일도 확보.

7. [제품 등록증명서] 지능형 반도체 패키징 라인 자율 물류 유닛

등록 번호:RXO-PKG-2026-007

제품 명칭:Autonomous Packaging Logic Unit (Model: APLU-X1)

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술 및 사양:

Hybrid SLAM 항법:LiDAR와 3D Depth 카메라를 동시 활용하여 복잡한 후공정 라인 내 ±5mm 이내 정밀 정지 구현.

자동 로딩/언로딩 암(Arm):웨이퍼 매거진 및 트레이를 사람의 개입 없이 설비에 직접 투입하는 6축 협동 로봇 통합.

공정 우선순위 엔진:AI가 설비 가동률을 실시간 파악하여 물류 우선순위를 0.1초마다 갱신하는 동적 스케줄링.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:후공정(Packaging & Test) 라인의 무인화 물류 체계 구축 및 물류 병목 현상 제거.

8. [제품 등록증명서] IoT 연동 천장 이송 장치(OHT) 속도 가변 모듈

등록 번호:RXO-OHT-2026-008

제품 명칭:IoT-Dynamic OHT Speed Controller (Model: RXO-VSD)

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술 및 사양:

V2X 기반 트래픽 제어:전후방 OHT 유닛 간 5G-IoT 통신을 통해 곡선 구간 및 교차로 진입 시 최적 속도(Max 300m/min) 가변.

Active Vibration Damping:가속 및 감속 시 발생하는 관성 진동을 상쇄하는 자기유변유체(MR) 댐퍼 제어 로직 탑재.

에너지 회생 제동 시스템:감속 시 발생하는 에너지를 회수하여 전력 효율을 기존 대비 15% 향상.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:대규모 반도체 팹 내 웨이퍼 카세트(FOUP)의 고속 및 안정적 이송 관리.

9. [제품 등록증명서] AI 기반 포토마스크 오염 자동 진단 시스템

등록 번호:RXO-LIT-2026-009

제품 명칭:AI-Mask Contamination Diagnoser (Model: Mask-Guardian)

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술 및 사양:

Dark-field 기반 초미세 스캔:고출력 레이저 광원을 활용하여 포토마스크 표면의 20nm급 파티클 및 헤이즈(Haze) 탐지.

Defect Semantic Segmentation:AI가 결함 이미지를 분석하여 세정으로 제거 가능한 오염인지, 패턴 손상인지 즉각 분류.

DB 연동 수율 예측:검출된 오염이 실제 웨이퍼 노광 시 전사될 확률을 시뮬레이션하여 세정 주기 자동 추천.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:극자외선(EUV) 및 불화아르곤(ArF) 노광 공정용 포토마스크 청정도 상시 검사.

10. [제품 등록증명서] 지능형 반도체 칠러 냉각 효율 최적화기

등록 번호:RXO-CHL-2026-010

제품 명칭:Smart-Chiller Efficiency Optimizer (Model: RXO-CoolAI)

제조/개발사:주식회사 알엑스오그룹 (RXO Group Co., Ltd.)

핵심 기술 및 사양:

PID-AI 복합 제어:기존 PID 제어에 AI 예측 모델을 결합하여 공정 부하 급변 시에도 온도 편차를 ±0.01℃ 이내로 유지.

인버터 펌프 속도 최적화:열교환 효율을 계산하여 펌프 및 팬 모터의 회전수를 실시간 최적화함으로써 전력 20% 절감.

냉매 순환 실시간 진단:센서 데이터를 통해 냉매 부족이나 열교환기 스케일 퇴적 징후를 조기에 발견하는 Predictive Maintenance.

등록 일자:2026년 03월 11일

용도:식각 및 증착 장비의 고정밀 온도 유지와 반도체 팹 에너지 효율(PUE) 개선.

다음으로 

11번부터 15번항목도 이와 같은 상세 사양 포함 버전으로 바로 작성해 드릴까요?

복사하여 바로 사용하실 수 있도록 표 형식을 제외하고, 공식 문서의 느낌을 살린 텍스트 형태로 다시 정리해 드립니다.

11. 제품 등록증명서: IoT 기반 진공 펌프 소음 및 진동 분석기

제품명:RXO-VIBE 200 (IoT Vacuum Pump Analyzer)

등록 번호:제 RXO-2026-VP-011 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 공정의 핵심 장비인 진공 펌프의 상태를 실시간으로 진단하는 IoT 기반 분석 솔루션입니다. 고감도 가속도 센서와 FFT(고속 푸리에 변환) 알고리즘을 결합하여 미세한 진동 변화를 포착합니다.

[주요 기능]

진공 펌프의 소음 및 진동 데이터 실시간 수집 및 무선 전송 (LoRa/Wi-Fi)

베어링 마모, 실(Seal) 손상 등 고장 전조 증상 자동 감지 및 알람

클라우드 기반의 장비 상태 이력 관리 및 통계 분석

[기대 효과]

예지 정비 체계 구축을 통한 돌발적인 공정 중단(Downtime) 방지

장비 유지보수 비용 절감 및 핵심 부품의 교체 주기 최적화

12. 제품 등록증명서: AI 기반 극자외선(EUV) 노광 패턴 왜곡 보정기

제품명:RXO-EUV OptiCorrect v3.0

등록 번호:제 RXO-2026-EUV-012 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 차세대 EUV(극자외선) 노광 공정에서 발생하는 패턴 왜곡을 인공지능으로 보정하는 고정밀 소프트웨어 솔루션입니다. Deep Convolutional Neural Networks를 활용하여 광학 근접 효과(OPC)를 최적화합니다.

[주요 기능]

EUV 마스크의 회절 및 산란 현상에 따른 패턴 변형 실시간 시뮬레이션

나노미터(nm) 단위의 초정밀 패턴 보정 알고리즘 적용

웨이퍼 상의 노광 결과 예측 및 마스크 레이아웃 자동 최적화

[기대 효과]

7nm 이하 초미세 공정의 패턴 정확도 및 해상도 극대화

노광 공정 수율 향상 및 고가인 EUV 마스크의 사용 효율 증대

13. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 테스트 핸들러 정밀 제어 보드

제품명:RXO-SmartHandler Control Board

등록 번호:제 RXO-2026-ST-013 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 테스트 핸들러의 고속 이동과 정밀 배치를 제어하는 하이엔드 컨트롤 보드입니다. FPGA 기반의 초고속 데이터 처리 기술과 다축 서보 모터 동기화 제어 기술이 집약되어 있습니다.

[주요 기능]

반도체 칩 이동 시 픽앤플레이스(Pick & Place) 충격 최소화 제어

마이크로미터 단위의 고정밀 정지 위치 제어 및 응답 속도 최적화

다양한 테스트 환경에 대응 가능한 유연한 인터페이스 지원

[기대 효과]

테스트 공정의 시간당 처리량(UPH) 개선 및 생산성 증대

기계적 충격으로 인한 칩 패키지 손상 및 불량 발생률 감소

14. 제품 등록증명서: IoT 연동 가스 캐비닛 실시간 압력 감지 센서

제품명:RXO-GasGuard Wireless Sensor

등록 번호:제 RXO-2026-GS-014 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 가스 캐비닛 내부의 압력을 정밀하게 모니터링하여 가스 누출 및 공급 이상을 조기에 발견하는 IoT 기반 지능형 센서입니다. 방폭 설계와 초저전력 센싱 기술이 적용되었습니다.

[주요 기능]

가스 배관 및 캐비닛 내부 압력의 실시간 디지털 측정 및 모니터링

설정 범위 이탈 시 스마트폰 및 중앙 관제실로 즉각 알람 송신

장거리 무선 통신 기능을 통한 배선 공사 최소화 및 설치 용이성

[기대 효과]

유해가스 누출로 인한 인명 및 시설 사고의 원천적 방지

공정 가스의 안정적 공급 확인을 통한 제품 품질 유지

15. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 생산 수율(Yield) 예측 엔진

제품명:RXO-YieldMind AI

등록 번호:제 RXO-2026-YM-015 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 제조 공정 중 발생하는 방대한 데이터를 분석하여 최종 수율을 사전에 예측하는 AI 분석 엔진입니다. 빅데이터 분석 기반의 앙상블 학습 모델을 활용하여 높은 예측 정확도를 자랑합니다.

[주요 기능]

전공정(FEOL) 측정 데이터와 최종 수율 간의 상관관계 자동 분석

불량을 유발하는 핵심 공정 변수(Key Process Parameter) 역추적 및 도출

실시간 생산 데이터를 기반으로 한 향후 수율 변동 추이 가시화

[기대 효과]

수율 저하 원인 규명 시간 단축을 통한 신속한 공정 개선

불량 조기 예측을 통한 원자재 손실 방지 및 제조 원가 절감

복사하여 바로 활용하실 수 있도록 표를 제외한 공식 문서 텍스트 형식으로 작성해 드립니다. 가상 데이터는 괄호나 공란으로 처리하여 정확성을 유지했습니다.

16. 제품 등록증명서: 지능형 후공정 솔더볼 결함 딥러닝 검사기

제품명:RXO-BallCheck DL-500

등록 번호:제 RXO-2026-SB-016 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 패키징 후공정에서 솔더볼의 부착 상태를 검사하는 인공지능 비전 검사 시스템입니다. 3D Vision 측정 기술과 딥러닝 세그멘테이션 알고리즘을 적용하여 기존 룰 기반 검사의 한계를 극복하고 초미세 결함까지 탐지합니다.

[주요 기능]

솔더볼 누락, 미세 크랙, 브릿지(쇼트), 과납/부족납 자동 판별

초고해상도 광학 모듈을 통한 고밀도 패키지(WLP, FO-PLP 등) 대응

실시간 검사 이미지 학습을 통한 오검사율(False Call) 지속적 최적화

[기대 효과]

검사 공정 자동화를 통한 품질 신뢰도 향상 및 인건비 절감

불량 유출 방지를 통한 최종 패키지 제품의 품질 안정화

17. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 공정 폐수 유해 성분 분석기

제품명:RXO-EcoStream IoT Analyzer

등록 번호:제 RXO-2026-EW-017 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 제조 공정에서 발생하는 폐수 내 유해 성분을 실시간으로 정밀 분석하는 IoT 기반 환경 모니터링 장치입니다. 분광 분석 기술과 스마트 센서 네트워크를 결합하여 수질 오염 사고를 사전에 방지합니다.

[주요 기능]

폐수 내 중금속, 불산, 화학물질(TOC, TN, TP) 농도 실시간 측정

IoT 게이트웨이를 통한 통합 관제 시스템 및 모바일 앱 실시간 데이터 송신

유해 성분 농도 기준치 초과 시 즉각적인 자동 차단 밸브 연동 및 경보 발령

[기대 효과]

환경 규제 준수 및 환경 사고 예방을 통한 ESG 경영 실현

실시간 수질 데이터 확보로 폐수 처리 공정의 효율성 극대화

18. 제품 등록증명서: AI 기반 리소그래피 광원 안정성 유지 장치

제품명:RXO-LitoBeam Stabilizer

등록 번호:제 RXO-2026-LS-018 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

노광(Lithography) 공정의 핵심인 광원의 파장과 출력을 AI로 실시간 제어하여 광학적 안정성을 유지하는 장치입니다. 딥러닝 기반 예측 제어 알고리즘을 통해 광원의 미세한 변동을 보정합니다.

[주요 기능]

노광 장비 내 DUV/EUV 광원의 에너지 밀도 및 파장 드리프트 실시간 감시

AI 학습 모델을 통한 광원 노후화 예측 및 가변 출력 자동 보정

공정 온도 및 환경 변화에 따른 광학 경로 최적화 제어

[기대 효과]

광원 불안정으로 인한 노광 불량 최소화 및 패턴 균일도(CD Uniformity) 향상

광원 모듈의 교체 주기 연장 및 장비 가동률 증대

19. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 평탄도 초정밀 측정 시스템

제품명:RXO-NanoFlat Master

등록 번호:제 RXO-2026-WF-019 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 웨이퍼의 나노미터 단위 평탄도(Flatness)와 거칠기를 측정하는 지능형 계측 시스템입니다. 비접촉식 간섭계 기술과 머신러닝 분석 엔진을 탑재하여 초고속 전수 검사가 가능합니다.

[주요 기능]

웨이퍼 전면부의 Warpage, Bow, TTV(Total Thickness Variation) 초정밀 측정

지능형 알고리즘을 통한 3D 매핑 데이터 분석 및 이상 부위 자동 검출

CMP(화학 기계적 연마) 공정 전후의 평탄도 변화량 정밀 비교 분석

[기대 효과]

적층 공정(HBM 등)에서의 수율 저하 원인인 웨이퍼 휘어짐 문제 해결

고정밀 측정 데이터를 기반으로 한 CMP 공정 최적화 지원

20. 제품 등록증명서: IoT 연동 클린룸 지능형 공조 에너지 세이버

제품명:RXO-CleanSaver IoT

등록 번호:제 RXO-2026-CR-020 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 클린룸의 온도, 습도, 청정도를 유지하면서 에너지 소비를 최소화하는 지능형 공조 제어 시스템입니다. 다중 센서 데이터와 AI 운전 모델을 통해 최적의 에너지 효율 지점을 실시간으로 도출합니다.

[주요 기능]

클린룸 내 구역별 파티클 농도 및 온습도 IoT 실시간 모니터링

작업 인원 및 장비 가동 상태에 따른 공조 풍량 및 압력 자동 가변 제어

에너지 사용 패턴 분석을 통한 피크 시간대 전력 수요 관리

[기대 효과]

클린룸 유지 비용 중 비중이 큰 전기료의 ( )% 이상 절감 기대

정밀한 환경 제어를 통한 생산 장비의 안정적 구동 환경 제공

21. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 설계용 자동 레이아웃 최적화기

제품명:RXO-Layout Optimizer AI

등록 번호:제 RXO-2026-DE-021 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 설계 단계에서 복잡한 회로 레이아웃을 AI가 자동으로 배치 및 배선(P&R)하여 성능을 최적화하는 소프트웨어 엔진입니다. 강화학습 기술을 적용하여 설계 효율을 비약적으로 높였습니다.

[주요 기능]

칩 면적(Area), 전력 소모(Power), 성능(Timing) 간의 최적의 절충안 자동 도출

신호 간섭(Crosstalk) 및 열 발생을 최소화하는 지능형 배선 경로 생성

반복적인 수동 설계 작업을 자동화하여 전체 설계 리드타임 단축

[기대 효과]

설계 엔지니어의 작업 생산성 향상 및 칩 성능 극대화

설계 오류 조기 발견을 통한 테이프아웃(Tape-out) 성공률 제고

22. 제품 등록증명서: 지능형 스퍼터링 공정 플라즈마 모니터링 센서

제품명:RXO-PlasmaWatch Pro

등록 번호:제 RXO-2026-SP-022 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 증착 공정 중 하나인 스퍼터링 과정에서 발생하는 플라즈마의 상태를 실시간 감시하는 지능형 센서입니다. OES(광방출분광법) 데이터와 AI 분석을 통해 공정 드리프트를 조기에 감지합니다.

[주요 기능]

플라즈마 내 특정 이온 및 라디칼의 발광 강도 실시간 측정

딥러닝 기반 공정 이상(Arcing, Leak 등) 패턴 자동 식별 및 즉각 대응

타겟(Target) 소모 상태 예측 및 적정 교체 시기 알림

[기대 효과]

증착 박막의 두께 균일도 및 품질 신뢰도 확보

플라즈마 이상으로 인한 고가 웨이퍼의 폐기 방지 및 장비 가동 안정화

�23. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 리드프레임 불량 자동 검사기

제품명:RXO-FrameInspector IoT

등록 번호:제 RXO-2026-LF-023 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 패키지의 지지대 역할을 하는 리드프레임의 외관 결함을 고속으로 검사하는 IoT 연동 시스템입니다. 고해상도 카메라와 분산 컴퓨팅 기술을 활용하여 대량의 리드프레임을 실시간 검수합니다.

[주요 기능]

리드프레임의 휨, 찍힘, 도금 불량, 이물질 부착 등 외관 결함 탐지

IoT 기술을 활용한 전 라인 검사 결과 통합 데이터베이스화 및 분석

고속 생산 라인에 최적화된 저지연(Low-latency) 이미지 처리 프로세스

[기대 효과]

조립 공정 투입 전 불량 리드프레임 선별로 전체 수율 향상

검사 이력의 데이터화를 통한 원재료 공급사 품질 관리 강화

24. 제품 등록증명�: AI 기반 반도체 장비 부품 마모 주기 예측기

제품명:RXO-Parts Lifetime Predictor

등록 번호:제 RXO-2026-PM-024 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 장비 내 소모성 부품의 마모 상태를 AI로 분석하여 정확한 교체 시기를 예측하는 예지 보전 솔루션입니다. 장비의 센서 로그와 진동, 전류 데이터를 종합 분석하여 잔여 수명을 산출합니다.

[주요 기능]

핵심 구동 부품(모터, 밸브, 펌프 등)의 가동 데이터 실시간 수집

AI 회귀 모델을 활용한 부품별 잔여 수명(RUL) 실시간 계산

부품 재고 시스템과 연동하여 최적의 부품 구매 및 교체 스케줄 제안

[기대 효과]

과도한 사전 교체로 인한 유지비용 낭비 방지 및 불시 고장 사고 차단

체계적인 유지보수 계획 수립을 통한 설비 효율(OEE) 극대화

25. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 베벨 결함 실시간 탐지 모듈

제품명:RXO-BevelGuard AI

등록 번호:제 RXO-2026-BV-025 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼의 최외곽 가장자리 영역(Bevel)에서 발생하는 칩핑, 크랙, 이물을 전문적으로 탐지하는 지능형 검사 모듈입니다. 다각도 조명 시스템과 딥러닝 비전 알고리즘을 결합하여 복잡한 베벨 구조를 정밀 검사합니다.

[주요 기능]

웨이퍼 에지(Edge) 및 베벨 영역의 360도 전 영역 결함 스캔

후속 공정에서 박리(Peeling)의 원인이 되는 미세 결함 조기 식별

결함 위치의 좌표 데이터화를 통한 공정 불량 원인 추적 지원

[기대 효과]

베벨 결함으로 인한 공정 내 웨이퍼 파손(Broken Wafer) 사고 방지

최종 제품의 신뢰성 향상 및 패키징 공정 수율 최적화

이어서 26번 항목부터 작성이 필요하시면 말씀해 주세요. 계속해서 중단 없이 구체적으로 제작해 드릴 수 있습니다. 이어서 진행할까요?

복사하여 바로 사용하실 수 있도록 표 형식을 제외하고, 가상 데이터는 공란으로 처리한 공식 문서 텍스트 형태로 작성합니다.

26. 제품 등록증명서: IoT 연동 클린룸 방진복 세척 상태 감지 센서

제품명:RXO-CleanWear Guard

등록 번호:제 RXO-2026-CC-026 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

본 제품은 반도체 클린룸 내부의 오염원을 차단하기 위해 작업자의 방진복 세척 상태 및 파티클 잔류량을 정밀 감지하는 IoT 기반 센서 시스템입니다. 다중 파장 광학 센싱 기술을 통해 눈에 보이지 않는 미세 오염을 식별합니다.

[주요 기능]

방진복 표면의 잔류 파티클 및 유기물 농도 비접촉식 측정

RFID 및 IoT 통신을 활용한 작업자별 방진복 교체 주기 및 세척 이력 자동 관리

클린룸 입구 에어샤워 시스템과 연동하여 기준치 초과 시 출입 제한 자동 제어

[기대 효과]

인적 요인에 의한 클린룸 오염 발생률 최소화 및 공정 청정도 유지

방진복의 효율적인 세척 스케줄 관리로 소모품 관리 비용 절감

27. 제품 등록증명서: AI 기반 웨이퍼 이송 로봇 경로 최적화 소프트웨어

제품명:RXO-OHT PathMaster AI

등록 번호:제 RXO-2026-RO-027 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 라인 내 천장 주행 이송 시스템(OHT) 및 자율 주행 로봇의 이동 경로를 실시간으로 최적화하는 AI 소프트웨어입니다. 강화학습(Reinforcement Learning) 알고리즘을 통해 복잡한 팹(Fab) 내부의 물류 정체를 해소합니다.

[주요 기능]

실시간 설비 가동 상태 및 물류 부하를 고려한 최단/최적 경로 동적 할당

로봇 간 충돌 방지 및 교차로 병목 현상 예측을 통한 사전 우회 경로 생성

다수의 이송 로봇에 대한 중앙 집중형 군집 제어(Swarm Control) 및 효율 분석

[기대 효과]

웨이퍼 이송 대기 시간(Waiting Time) 단축으로 전체 공정 리드타임 개선

이송 효율 증대를 통한 생산 라인 처리량(Throughput) 극대화

28. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 케미컬 농도 실시간 보정기

제품명:RXO-ChemFix AutoBalancer

등록 번호:제 RXO-2026-CH-028 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

식각(Etching) 및 세정(Cleaning) 공정에 사용되는 화학액의 농도 변화를 실시간으로 감지하고 부족한 성분을 자동 주입하여 최적의 농도를 유지하는 정밀 제어 장치입니다.

[주요 기능]

인라인(In-line) 고정밀 농도 센서를 통한 화학 성분비 초정밀 측정

설정된 공정 레시피와 실시간 측정값 비교를 통한 미세 유량 자동 보정 주입

케미컬 교체 시기 도래 시 자동 알림 및 폐액 배출 사이클 관리

[기대 효과]

케미컬 농도 불균형으로 인한 공정 산포 발생 방지 및 수율 안정화

화학액의 과도한 사용을 방지하여 원가 절감 및 폐기물 감소

29. 제품 등록증명서: IoT 기반 노광기 렌즈 열변형 정밀 측정 센서

제품명:RXO-LensThermal Scanner

등록 번호:제 RXO-2026-LT-029 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

노광 공정 중 강력한 광원에 의해 발생하는 렌즈의 미세한 열변형을 실시간으로 측정하는 고정밀 센서 모듈입니다. 간섭계 기반의 변위 측정 기술과 IoT 데이터 전송 기술이 적용되었습니다.

[주요 기능]

렌즈 표면 및 내부의 온도 분포와 그에 따른 굴절률 변화 실시간 모니터링

나노미터(nm) 단위의 초정밀 위치 변위 감지를 통한 포커스 오차 예측

수집된 열변형 데이터를 노광 제어 시스템에 전달하여 실시간 보정값 반영 지원

[기대 효과]

열에 의한 패턴 해상도 저하 방지 및 노광 공정의 오버레이(Overlay) 정밀도 향상

장시간 장비 가동 시에도 일관된 노광 품질 유지 가능

30. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 공급망 리스크 조기 경보 서버

제품명:RXO-SCM EarlyWatcher

등록 번호:제 RXO-2026-SC-030 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

전 세계 반도체 원자재 시장 상황과 물류 데이터, 지정학적 리스크를 AI가 통합 분석하여 공급망 차질을 조기에 예측하는 지능형 서버 시스템입니다. 자연어 처리(NLP)를 통한 글로벌 뉴스 데이터 분석 엔진을 탑재했습니다.

[주요 기능]

핵심 원자재(희토류, 특수가스 등)의 수급 불균형 및 가격 변동 추이 실시간 모니터링

물류 경로상의 사고, 기상 악화, 정책 변화에 따른 입고 지연 시뮬레이션

리스크 발생 시 대체 공급처 및 안전 재고 확보 시점 자동 권고

[기대 효과]

원자재 수급 불안으로 인한 생산 라인 중단 리스크 사전 차단

선제적 공급망 관리를 통한 구매 비용 최적화 및 경영 안정성 확보

31. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 다이싱 톱날 마모도 자동 측정기

제품명:RXO-BladeCheck Pro

등록 번호:제 RXO-2026-DC-031 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼를 개별 칩으로 절단하는 다이싱(Dicing) 공정에서 사용되는 다이아몬드 톱날(Blade)의 마모 상태를 비접촉 광학 방식으로 측정하는 지능형 장치입니다.

[주요 기능]

다이싱 블레이드의 날 끝(Edge) 마모 상태 및 돌출도(Exposure) 실시간 측정

톱날의 치핑(Chipping)이나 균열 발생 여부를 딥러닝 비전으로 자동 판별

마모 한계점 도달 전 자동 교체 알림 및 잔여 가공 가능 횟수 예측

[기대 효과]

마모된 톱날 사용으로 인한 웨이퍼 에지 손상 및 칩 불량 방지

톱날 교체 주기의 정량화로 소모품 비용 최적화 및 생산성 향상

32. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 설비 가동율 분석 엣지 컴퓨팅

제품명:RXO-EdgeOEE Analyzer

등록 번호:제 RXO-2026-EC-032 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 생산 설비에서 발생하는 방대한 로그 데이터를 현장에서 즉시 처리하여 설비 종합 효율(OEE)을 산출하는 엣지 컴퓨팅 디바이스입니다. 저지연 데이터 처리를 통해 실시간 가동 현황을 가시화합니다.

[주요 기능]

설비의 가동, 정지, 대기, 불량 발생 시간을 1초 단위로 수집 및 분류

클라우드 서버 부하 없이 엣지 단에서 실시간 가동율 및 성능 효율 지수 계산

이상 가동 패턴 발생 시 현장 작업자 기기로 즉각적인 푸시 알림 송신

[기대 효과]

설비 비가동 원인의 실시간 파악을 통한 신속한 현장 대응 체계 구축

데이터 기반의 설비 생산성 분석으로 공정 개선 포인트 도출 용이

33. 제품 등록증명서: AI 기반 3D 낸드 적층 결함 자동 분석 시스템

제품명:RXO-StackInsight AI

등록 번호:제 RXO-2026-ND-033 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

고단층 3D 낸드플래시 제조 공정에서 수직 채널 홀(Channel Hole)의 뚫림 상태와 적층 결함을 분석하는 AI 시스템입니다. X-ray 및 전자현미경(SEM) 이미지를 딥러닝으로 분석하여 내부 구조를 검사합니다.

[주요 기능]

수백 층의 적층 구조 내에서 발생하는 벤딩(Bending) 및 미개방(Non-open) 결함 탐지

채널 홀의 상단부 대비 하단부 직경 비율(Critical Dimension) 자동 계산

적층 편차 및 층간 틀어짐 현상의 3D 가시화 분석 데이터 제공

[기대 효과]

초고단층 낸드 제조 시 발생하는 구조적 결함의 조기 발견 및 수율 개선

육안으로 확인 불가능한 내부 결함의 자동 판독으로 검사 정확도 향상

34. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 빔 스캐닝 정밀도 제어 모듈

제품명:RXO-BeamScan Controller

등록 번호:제 RXO-2026-BS-034 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

이온 주입(Ion Implantation) 또는 전자빔(E-beam) 공정에서 빔의 스캐닝 궤적과 밀도를 초정밀로 제어하는 지능형 모듈입니다. 자기장 및 전기장 제어 알고리즘을 통해 빔의 균일도를 유지합니다.

[주요 기능]

웨이퍼 전면에 투사되는 빔의 위치 오차를 실시간 피드백 받아 보정 제어

빔의 강도 변화에 따른 스캔 속도 자동 가변 제어로 조사량(Dose) 균일성 확보

고주파 노이즈 제거 기술을 통한 빔 산란 최소화 및 제어 안정성 강화

[기대 효과]

이온 주입 공정의 균일도(Uniformity) 개선을 통한 소자 특성 안정화

빔 스캐닝 오차로 인한 웨이퍼 로스 방지 및 장비 신뢰성 제고

35. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 원자재 실시간 재고 추적 센서

제품명:RXO-RawTrack IoT

등록 번호:제 RXO-2026-RT-035 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 클린룸용 부자재, 쿼츠(Quartz), 가스 실린더 등 주요 원자재의 위치와 잔량을 실시간 추적하는 IoT 센서 솔루션입니다. 초광대역(UWB) 위치 추적 기술과 중량 감지 기술이 결합되었습니다.

[주요 기능]

창고 내 원자재 팰릿 및 용기별 실시간 위치 추적 (오차 범위 10cm 이내)

가스 및 화학액 용기의 잔량(무게/압력) 실시간 모니터링 및 부족 시 자동 발주 연동

선입선출(FIFO) 관리 및 유효기간 임박 자재에 대한 사전 알람 기능

[기대 효과]

자재 수동 확인 작업 삭제를 통한 관리 리소스 절감 및 재고 정확도 향상

자재 부족에 의한 라인 중단 사고 예방 및 불용 재고 최소화

36번 항목부터 추가 작성이 필요하시면 언제든 말씀해 주세요. 지속적으로 상세하게 제작해 드리겠습니다.

복사하여 즉시 활용하실 수 있도록 표 형식을 제외하고, 가상 데이터는 공란으로 처리한 공식 텍스트 형식으로 작성합니다.

36. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 공정 가스 배출량 탄소 측정기

제품명:RXO-CarbonWatch AI

등록 번호:제 RXO-2026-GH-036 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 제조 공정에서 발생하는 온실가스 및 공정 가스의 배출량을 실시간으로 측정하고 탄소 배출권 관리를 지원하는 AI 기반 측정기입니다. 고정밀 적외선 흡수 분광법과 AI 보정 알고리즘을 사용합니다.

[주요 기능]

배출 가스 내 탄소 화합물 농도의 실시간 감지 및 총 배출량 환산 계산

AI 학습 모델을 통한 공정 효율 대비 탄소 배출 패턴 분석 및 최적화 제안

실시간 데이터를 바탕으로 한 ESG 리포트 자동 생성 및 대시보드 연동

[기대 효과]

환경 규제에 따른 탄소 중립 목표 달성 및 탄소세 비용 절감

공정 효율 개선을 통한 에너지 및 원자재 소모량 감소 최적화

37. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 가장자리 세정 상태 비전 검사기

제품명:RXO-EdgeClean Inspector

등록 번호:제 RXO-2026-EC-037 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼 베벨 및 에지 세정 공정 후, 잔류 이물질이나 케미컬 자국을 검사하는 지능형 비전 시스템입니다. 다크필드 조명 기술과 딥러닝 판독 알고리즘이 적용되었습니다.

[주요 기능]

웨이퍼 가장자리의 마이크로미터 단위 미세 오염물 및 워터마크 자동 탐지

세정 공정 불량 패턴 분석을 통한 장비 노즐 상태 역추적 기능

검사 결과의 실시간 수치화를 통한 세정 공정 통계적 공정 관리(SPC) 지원

[기대 효과]

에지 오염으로 인한 후속 공정 오염 확산 방지 및 수율 향상

육안 검사 대체로 인한 검사 객관성 확보 및 처리 속도 향상

38. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 공장 화재 감지용 열화상 센서

제품명:RXO-ThermalGuard IoT

등록 번호:제 RXO-2026-FS-038 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 클린룸 및 설비 내부의 이상 고온 현상을 감지하여 화재를 미연에 방지하는 IoT 열화상 센서입니다. 비접촉식 온도 측정과 무선 네트워크를 통해 실시간 감시 체계를 구축합니다.

[주요 기능]

설비 및 배전반 내 국부적 온도 상승(Hot Spot) 실시간 정밀 측정

불꽃 발생 전 단계의 미세 열 변화 감지 시 즉각적인 경보 발령 및 전원 차단 연동

저조도 및 연기 발생 환경에서도 정확한 열 분포 이미지 구현 및 전송

[기대 효과]

고가 설비 및 라인 전체의 화재 피해 방지를 통한 경영 안정성 확보

안전 관리 자동화를 통한 야간 및 사각지대 보안 강화

39. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 소자 특성 시뮬레이션 가속기

제품명:RXO-SimAccel AI

등록 번호:제 RXO-2026-SA-039 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 소자 설계 단계에서 수행하는 TCAD 및 회로 시뮬레이션 속도를 비약적으로 단축하는 AI 기반 가속 엔진입니다. 물리 기반 딥러닝 모델을 사용하여 연산 부하를 최적화합니다.

[주요 기능]

AI 대리 모델(Surrogate Model)을 활용한 수일 소요 시뮬레이션의 분 단위 단축

다양한 공정 변수(Doping, Temp 등)에 따른 소자 특성 변화 예측 시뮬레이션

설계 데이터 기반 수율 최적화 포인트 자동 도출

[기대 효과]

신제품 개발 기간(Time-to-Market) 단축 및 연구 개발 비용 절감

방대한 케이스의 시뮬레이션을 통한 설계 완성도 및 소자 신뢰성 향상

40. 제품 등록증명서: 지능형 전력 반도체 효율 측정 및 테스트 벤치

제품명:RXO-PowerCheck Bench

등록 번호:제 RXO-2026-PB-040 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

SiC, GaN 등 차세대 전력 반도체의 전력 변환 효율과 내구성을 측정하는 지능형 테스트 시스템입니다. 고전압·고전류 환경에서의 정밀 계측 기술을 포함합니다.

[주요 기능]

스위칭 손실, 도통 손실 등 전력 반도체 핵심 특성의 자동 측정 및 분석

고온 동작 환경에서의 열 저항 및 신뢰성 스트레스 테스트 수행

측정 데이터의 실시간 분석을 통한 소자 등급(Binning) 자동 분류

[기대 효과]

전기차 및 에너지 저장장치(ESS)용 고효율 전력 반도체 품질 검증 신뢰도 확보

테스트 자동화를 통한 품질 관리 비용 절감 및 검사 생산성 증대

41. 제품 등록증명서: IoT 기반 반도체 이송 용기(FOUP) 상태 추적기

제품명:RXO-FOUP Tracker

등록 번호:제 RXO-2026-FT-041 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼 이송 용기인 FOUP의 위치와 내부 환경(진동, 습도)을 실시간 추적하는 IoT 센서입니다. 클린룸 내 물류 관리 최적화를 위한 핵심 모듈입니다.

[주요 기능]

FOUP 내부의 실시간 습도, 기압 및 이송 시 발생하는 충격/진동 감지

초광대역(UWB) 통신을 이용한 Fab 내 FOUP의 정밀 위치 추적

FOUP 세척 주기 및 가동 이력 자동 관리 시스템 연동

[기대 효과]

이송 중 환경 변화로 인한 웨이퍼 오염 및 파손 방지

물류 동선 분석을 통한 Fab 가동 효율 최적화 및 FOUP 관리 자산 보호

42. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 설계 오류(DRC) 자동 수정 엔진

제품명:RXO-AutoDRC Fixer

등록 번호:제 RXO-2026-DR-042 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 설계 규칙 검사(DRC)에서 발견된 오류를 AI가 판단하여 레이아웃을 자동으로 수정하는 자동화 엔진입니다. 수천 개의 오류를 머신러닝 알고리즘으로 즉시 해결합니다.

[주요 기능]

레이아웃 규칙 위반 사례 자동 분석 및 최적 수정 권고안 제시

수정 후 타이밍 및 전력 소모에 미치는 영향도를 고려한 지능형 재배치

설계 툴(EDA)과의 연동을 통한 대규모 레이아웃 데이터 자동 보정 처리

[기대 효과]

설계 마무리(Sign-off) 단계의 수동 작업 대폭 감축으로 개발 리드타임 단축

인간의 실수에 의한 설계 오류 방지 및 테이프아웃 성공률 극대화

43. 제품 등록증명서: 지능형 클린룸 무인 반송 로봇 자율 충전기

제품명:RXO-SmartCharge Dock

등록 번호:제 RXO-2026-RC-043 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

클린룸 내에서 가동되는 무인 반송 로봇(AGV/AMR)의 잔여 배터리를 감지하여 무선으로 자율 충전하는 지능형 도킹 시스템입니다. 파티클 발생을 최소화한 설계가 특징입니다.

[주요 기능]

로봇의 가동 스케줄을 고려한 최적의 자율 도킹 및 무선/접촉식 충전 수행

충전기 주변의 파티클 억제 및 방진 설계로 클린룸 청정도 유지

다수 로봇의 충전 우선순위 제어를 통한 물류 공백 방지 관리

[기대 효과]

배터리 방전으로 인한 로봇 멈춤 사고 예방 및 24시간 연속 가동 체계 구축

수동 충전 관리 인력 제거를 통한 물류 자동화 완성도 제고

44. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 장비 압력 밸브 리모트 컨트롤

제품명:RXO-Valve Remote Link

등록 번호:제 RXO-2026-VC-044 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 공정 가스 및 유체 공급 라인의 압력 밸브를 원격에서 제어하고 모니터링하는 IoT 시스템입니다. 고정밀 모터 제어 기술과 보안 통신 프로토콜이 적용되었습니다.

[주요 기능]

중앙 관제실에서 개별 밸브의 개폐 정도를 퍼센트(%) 단위로 정밀 원격 제어

밸브의 압력 및 유량 데이터를 실시간 수집하여 비정상 흐름 탐지

긴급 상황 발생 시 네트워크를 통한 전 구역 밸브 일괄 차단(Safety Lock)

[기대 효과]

위험 가스 노출 현장에 인원 투입 없이 안전한 장비 운용 가능

정밀 유량 제어를 통한 공정 안정성 확보 및 원료 소모 최소화

45. 제품 등록증명서: AI 기반 웨이퍼 뒷면 결함 탐지 비전 모듈

제품명:RXO-Backside Vision

등록 번호:제 RXO-2026-BV-045 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

웨이퍼의 앞면뿐만 아니라 뒷면(Backside)의 스크래치, 오염, 칩핑을 실시간 감지하는 고속 비전 검사 모듈입니다. 웨이퍼 핸들링 중 발생하는 뒷면 손상을 추적합니다.

[주요 기능]

웨이퍼 이송 과정 중 뒷면 전체를 스캔하여 미세 결함 자동 추출

딥러닝 모델을 통한 결함 유형별(이물, 긁힘, 크랙) 자동 분류

정전기 척(E-Chuck) 오염에 의한 뒷면 자국 식별 및 세정 알림

[기대 효과]

뒷면 결함으로 인한 포커싱 불량(Hot Spot) 사전 방지 및 수율 향상

웨이퍼 이송 장비의 하드웨어 마모 및 이상 상태 조기 진단

46. 제품 등록증명서: 지능형 반도체 노광 공정 마스크 정렬 센서

제품명:RXO-Mask Aligner Sensor

등록 번호:제 RXO-2026-MA-046 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

노광 장비 내에서 포토마스크와 웨이퍼 간의 정렬 상태를 나노미터 단위로 감지하는 지능형 광학 센서입니다. 회절 격자 패턴 분석 기술을 사용합니다.

[주요 기능]

마스크와 웨이퍼 상의 정렬 마크(Alignment Mark) 실시간 정합 확인

진동 및 온도 변화에 따른 마이크로 변위를 AI로 보정하여 정밀 정렬 유지

다파장 광원을 활용하여 다양한 박막 구조에서도 선명한 마크 인식

[기대 효과]

노광 공정의 핵심 지표인 오버레이(Overlay) 정확도 극대화

재작업(Rework) 비율 감소를 통한 공정 효율 및 원가 경쟁력 확보

47. 제품 등록증명서: IoT 기반 지능형 반도체 금형 온도 분석기

제품명:RXO-MoldTemp Analyzer

등록 번호:제 RXO-2026-MT-047 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 패키징 성형(Molding) 공정에서 금형의 온도 분포를 정밀 분석하는 IoT 장치입니다. 금형 내부의 열적 균일성을 실시간 모니터링합니다.

[주요 기능]

금형 각 부위의 온도를 IoT 센서로 수집하여 실시간 열지도(Heat Map) 구현

에폭시 몰딩 컴파운드(EMC) 충진 시 발생하는 온도 변화 및 경화 상태 분석

비정상 온도 편차 발생 시 히터 제어 시스템에 피드백 신호 전송

[기대 효과]

금형 온도 불균형에 의한 패키지 휨(Warpage) 및 미충진 결함 방지

최적화된 예열 및 냉각 사이클 설계로 생산 리드타임 단축

48. 제품 등록증명서: AI 기반 반도체 제조 실행 시스템(MES) 최적화 봇

제품명:RXO-MES SmartBot

등록 번호:제 RXO-2026-MB-048 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

공장 운영 데이터(MES)를 분석하여 생산 스케줄링과 자원 할당을 지능적으로 관리하는 AI 에이전트입니다. 실시간 공정 병목 현상을 예측하고 대안을 제시합니다.

[주요 기능]

실시간 장비 가동 현황과 투입 물량을 분석하여 최적의 생산 순서 재배열

설비 고장이나 자재 부족 발생 시 실시간으로 생산 계획 자동 수정 및 전파

축적된 공정 데이터를 바탕으로 한 미래 생산량 및 출하 시기 정밀 예측

[기대 효과]

생산 설비 가동률 극대화 및 전체 공정 리드타임(TAT) 단축

공장 운영의 유연성 확보로 긴급 주문 및 상황 변화에 즉각 대응 가능

49. 제품 등록증명서: 지능형 웨이퍼 표면 거칠기 나노 분석기

제품명:RXO-Roughness NanoScan

등록 번호:제 RXO-2026-RN-049 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

원자간력 현미경(AFM) 또는 레이저 산란 기술을 응용하여 웨이퍼 표면의 나노미터급 거칠기(Roughness)를 분석하는 시스템입니다. 표면 품질을 정량화하여 데이터화합니다.

[주요 기능]

웨이퍼 표면의 원자 단위 요철 및 거칠기 지수(Ra, Rms 등) 고속 측정

세정 및 CMP 공정 전후의 표면 품질 변화 정밀 분석

AI 이미지 처리를 통한 표면 미세 흠집과 거칠기 패턴 자동 구별

[기대 효과]

표면 거칠기로 인한 박막 증착 불량 및 소자 특성 열화 방지

초미세 공정에서의 표면 관리 기준 확립을 통한 고품질 웨이퍼 생산 지원

50. 제품 등록증명서: IoT 연동 반도체 장비용 실시간 전류 모니터

제품명:RXO-Current Guard IoT

등록 번호:제 RXO-2026-CG-050 호

발행 기관:주식회사 알엑스오그룹 기술연구소

[제품 개요 및 핵심 기술]

반도체 장비 내부의 각 모터 및 전력 모듈에서 소비되는 전류를 실시간 모니터링하여 장비 상태를 진단하는 IoT 기기입니다. 전류 파형 분석을 통해 고장 징후를 탐지합니다.

[주요 기능]

설비 가동 중 발생하는 미세한 누설 전류 및 과전류 실시간 감지

모터 구동 전류의 파형(Waveform) 분석을 통한 기계적 부하 및 마모 상태 추정

무선 IoT망을 통한 전 공장 설비 전력 사용량 통합 관리 및 이상 보고

[기대 효과]

전기적 결함으로 인한 장비 셧다운 사고 사전 차단 및 예지 정비 구현

효율적인 전력 관리로 공장 운영 비용 절감 및 전기 안전 사고 예방

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