반도체분야 100대 제품

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2026년 반도체 100대 분야

연구보고서

1. AI 기반 웨이퍼 나노 결함 자동 비전 검사기 연구

[연구 배경 및 목적]반도체 회로 선폭이 7nm 이하로 미세화됨에 따라 기존의 광학 검사 방식으로는 검출되지 않는 나노급 결함(Pattern Bridge, Micro-scratch)이 급증하고 있습니다. 본 연구는 인적 오류를 최소화하고 검사 처리량(Throughput)을 극대화하기 위해 AI 기반의 완전 자동화된 검사 시스템 구축을 목적으로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

초정밀 영상 전처리: RXO의 자체 알고리즘을 통해 웨이퍼 표면의 빛 반사를 제거하고 결함 후보 영역을 선명하게 부각하는 HDR(High Dynamic Range) 이미지 융합 기술 개발.

Deep Learning 아키텍처: ResNet과 Transformer 구조를 결합하여 결함의 위치뿐만 아니라 결함의 종류(이물질, 패턴 단선, 오염 등)를 99.8% 이상의 정확도로 실시간 분류하는 신경망 최적화.

분산 연산 시스템: 대용량 웨이퍼 이미지를 실시간으로 처리하기 위해 여러 대의 GPU 서버를 클러스터링하여 초당 100매 이상의 다이(Die)를 검사할 수 있는 파이프라인 구축.

Edge-AI 연동: 검사 장비 자체에서 1차 판정을 수행하여 데이터 트래픽을 줄이고 판정 속도를 밀리초(ms) 단위로 단축하는 하드웨어 가속기(NPU) 탑재.

[기대 성과 및 활용 방안]본 기술 도입 시 검사 공정의 인건비를 50% 이상 절감할 수 있으며, 데이터 기반의 결함 분석을 통해 전공정(Front-end)의 공정 이상 여부를 즉각 환류(Feedback)함으로써 생산 수율을 획기적으로 개선할 수 있습니다.

2. IoT 연동 클린룸 미세입자 실시간 분석 센서 연구

[연구 배경 및 목적]클린룸 내의 미세입자는 반도체 소자의 단락을 유발하는 치명적인 요인입니다. 기존의 수동 샘플링 방식은 오염 발생 지점과 시간을 즉각 특정하기 어렵다는 한계가 있어, IoT 기술을 접목한 전 구역 실시간 모니터링 체계가 필수적입니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

하이브리드 광학 센싱: 레이저 산란 방식(Laser Scattering)을 고도화하여 0.1μm 크기의 초미세 입자부터 대형 입자까지 넓은 동적 범위를 동시에 측정할 수 있는 광학계 설계.

Mesh Network 통신: 클린룸 내부의 금속 구조물로 인한 통신 간섭을 극복하기 위해 센서 간 데이터를 주고받는 자가망 형성(Mesh Networking) 기술을 적용하여 통신 음영 지역 제거.

환경 상관관계 분석: 미세입자 농도뿐만 아니라 기류 속도, 온도, 습도 데이터를 통합 분석하여 오염원이 발생하는 원인(작업자 동선, 공조 장치 이상 등)을 추론하는 AI 엔진 탑재.

실시간 데이터 시각화: 수집된 모든 데이터를 3D 디지털 트윈(Digital Twin) 맵에 매핑하여 관리자가 직관적으로 클린룸의 청정 상태를 파악할 수 있는 관제 플랫폼 개발.

[기대 성과 및 활용 방안]오염 발생 시 즉각적인 구역 격리 및 공조 시스템 제어가 가능해져 대규모 폐기 사고를 사전에 방지할 수 있으며, 데이터 백업을 통해 사고 발생 시 원인 규명 시간을 단축하는 효과가 있습니다.

3. 딥러닝 기반 식각(Etching) 공정 온도 최적화기 연구

[연구 배경 및 목적]식각 공정은 화학 반응의 균일성이 품질을 결정하며, 이는 챔버 내 온도 분포와 직결됩니다. 플라즈마 방전 시 발생하는 열적 변동성을 실시간으로 보상하기 위해 데이터 기반의 지능형 온도 제어 시스템을 연구하였습니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

시계열 데이터 학습: 수천 회의 식각 공정에서 수집된 온도 센서, 압력, RF 파워 데이터를 RNN(LSTM) 계열의 신경망으로 학습시켜 공정 중 온도 변화 곡선을 사전 예측.

디지털 피드백 제어: 예측된 온도 변화에 따라 칠러(Chiller) 및 히터의 출력을 선제적으로 조절하는 모델 예측 제어(MPC) 알고리즘 적용.

다채널 온도 감시: 챔버 내 상단, 하단, 벽면 등 다중 지점의 온도를 독립적으로 제어하여 웨이퍼 전체의 식각 균일도(Uniformity)를 1% 이내로 정밀 관리.

자가 학습(Self-Tuning): 장비 노후화로 인한 특성 변화를 AI가 스스로 감지하고 제어 파라미터를 자동 업데이트하는 적응형 로직 구현.

[기대 성과 및 활용 방안]식각 공정의 마진을 확보하여 초고집적 회로 구현이 가능해지며, 챔버 내부의 부품 소모를 균일하게 유도하여 장비 유지보수 주기를 연장하는 부수적인 효과를 거둘 수 있습니다.

4. 지능형 반도체 증착 장비 예지보전 센서 노드 연구

[연구 배경 및 목적]증착 장비는 반도체 라인의 핵심 고가 장비로, 예기치 못한 가동 중단(Unplanned Downtime) 발생 시 수억 원의 손실이 발생합니다. 본 연구는 부품의 고장 징후를 사전에 포착하여 선제적인 정비를 가능케 하는 예지보전 솔루션을 제안합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

멀티모달 센서 융합: 진공 펌프의 미세 진동을 감지하는 가속도 센서, 모터의 과부하를 측정하는 전류 센서, 고주파 음향 방출(AE) 센서를 통합한 고성능 센서 노드 설계.

이상 탐지 알고리즘: 정상 가동 상태의 데이터 분포를 학습한 뒤, 이를 벗어나는 미세한 패턴(Anomalous Pattern)을 감지하는 비지도 학습 기반 AI 모델 적용.

잔여 수명 예측(RUL): 현재 장비의 열화 상태를 점수화하고, 과거 고장 데이터를 바탕으로 "향후 몇 시간 이내에 부품 교체가 필요한지"를 확률적으로 제시.

무선 전력 전송 및 저전력 설계: 배터리 교체 불편을 최소화하기 위해 에너지 하베스팅 기술을 접목하여 반영구적으로 동작하는 독립형 센서 하우징 개발.

[기대 성과 및 활용 방안]장비 가동률을 최대로 유지할 수 있으며, 불필요한 조기 부품 교체를 방지하여 소모품 비용을 20% 이상 절감하는 효과가 있습니다.

5. IoT 기반 산업용 특수가스 미세 누출 탐지기 연구

[연구 배경 및 목적]반도체 제조 과정에서 사용되는 실란(SiH4), 아르신(AsH3) 등은 극소량만 누출되어도 인명 및 설비에 치명적입니다. 본 연구는 대형 공장 내 모든 가스 배관망을 실시간 체인으로 연결하여 틈새 없는 안전망을 구축하는 데 초점을 맞췄습니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

초고감도 가스 반응 셀: ppb(Part Per Billion) 단위의 미세 농도를 감지하기 위해 나노 구조체 기반의 화학 센서와 광학식 적외선 흡수법(NDIR)을 복합적으로 활용.

위치 추적 알고리즘: 복수의 센서 노드에서 수집된 가스 농도 구배를 분석하여 누출 지점을 역추적하고, 대피 경로와 차단 밸브의 위치를 즉각적으로 제시.

클라우드 통합 관제: 모든 센서 데이터를 클라우드 서버로 집계하여 공장 전 구역의 가스 분포 지도를 생성하고, 법적 규제 준수를 위한 이력 보고서를 자동 생성.

방폭 및 내화 설계: 열악한 반도체 공정 환경에서도 센서가 정상 작동할 수 있도록 국제 방폭 인증(ATEX/IECEx) 규격에 맞춘 하드웨어 설계 적용.

[기대 성과 및 활용 방안]가스 누출 사고 발생 시 초기 대응 속도를 분 단위에서 초 단위로 단축하여 인명 피해를 제로화하고, ESG 경영의 핵심 요소인 사업장 안전성을 객관적인 지표로 입증할 수 있습니다.

06. AI 최적화 화학기계연마(CMP) 압력 제어기 연구

[연구 배경 및 목적]화학기계연마(CMP) 공정은 웨이퍼 표면을 나노 단위로 평탄화하는 핵심 공정이나, 연마 패드의 마모와 슬러리의 불균일한 분포로 인해 웨이퍼 구역별로 연마율이 달라지는 문제가 지속적으로 발생합니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 AI 기술을 적용하여 실시간으로 웨이퍼 가압 상태를 정밀 제어함으로써, 나노급 평탄도를 유지하고 공정 수율을 극대화하는 지능형 압력 제어기 개발을 목적으로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

실시간 마찰력 분석 모델: 연마 헤드에 장착된 센서를 통해 주행 중 발생하는 미세 진동과 토크 데이터를 수집하여 현재 연마 상태를 실시간으로 진단하는 AI 알고리즘 적용.

다분할 압력 프로파일 최적화: 웨이퍼를 7개 이상의 독립적인 구역으로 나누어 관리하며, 각 구역에 인가되는 압력을 0.1psi 단위로 미세 조정하는 딥러닝 기반 예측 제어 로직 구현.

소모품 상태 적응형 제어: 연마 패드의 사용 횟수가 늘어남에 따라 변화하는 물리적 특성을 AI가 스스로 학습하여, 장비 노후화와 상관없이 일관된 연마 결과물을 도출하도록 보정.

종점 검출(EPD) 정밀 연동: 연마 두께가 목표치에 도달하는 시점을 AI가 정확히 예측하여 연마 속도를 단계적으로 조절함으로써 과연마(Over-polishing)로 인한 불량을 원천 차단.

[기대 성과 및 활용 방안]웨이퍼 전체의 연마 균일도(Uniformity)를 기존 대비 20% 이상 향상시켜 미세 회로 형성의 신뢰성을 확보하고, 불필요한 재작업을 줄여 생산 리드타임을 획기적으로 단축할 수 있습니다.

07. 지능형 반도체 패키징 라인 자율 물류 유닛 연구

[연구 배경 및 목적]반도체 후공정인 패키징 라인은 공정 간 이동이 잦고 설비 배치가 복잡하여 기존의 고정된 물류 시스템으로는 생산 유연성을 확보하기 어렵습니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 자율 주행 알고리즘을 물류 유닛에 탑재하여, 작업 환경을 스스로 인식하고 자재를 최적의 경로로 운반하는 지능형 자율 물류 솔루션 구축을 목표로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

공간 인지 및 실시간 맵핑: 고해상도 LiDAR와 스테레오 카메라를 활용하여 복잡한 패키징 라인 내부를 3D로 스캔하고, 자신의 위치를 실시간으로 보정하는 고정밀 SLAM 기술 적용.

동적 장애물 회피 알고리즘: 이동 중인 작업자나 갑작스러운 장애물을 딥러닝 비전으로 감지하여 안전 거리를 확보하고, 즉각적으로 우회 경로를 생성하는 지능형 주행 제어.

공정 우선순위 기반 스케줄링: 중앙 관제 시스템과 IoT로 연동되어 현재 가동률이 가장 높은 설비나 긴급 자재가 필요한 공정으로 유닛을 우선 배차하는 지적 물류 최적화 로직.

자동 도킹 및 하역 인터페이스: 설비 입구의 위치를 정밀하게 인식하여 매거진을 로딩/언로딩할 때 발생하는 물리적 오차를 최소화하는 센서 융합 정밀 정지 기술 구현.

[기대 성과 및 활용 방안]물류 이동 시 발생하는 진동 및 충격에 의한 칩 손상을 방지하며, 수동 물류 대기 시간을 30% 이상 감소시켜 다품종 소량 생산 체제에서도 높은 가동 효율을 유지할 수 있습니다.

08. IoT 연동 천장 이송 장치(OHT) 속도 가변 모듈 연구

[연구 배경 및 목적]팹(Fab) 내부의 핵심 이송 수단인 OHT는 고속으로 주행하되 곡선 구간이나 합류 구간에서는 웨이퍼에 가해지는 관성력을 최소화해야 합니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 IoT 센싱 기술을 OHT 주행 모듈에 결합하여, 주행 환경에 따라 속도를 유연하게 조절함으로써 이송 안정성과 처리 속도를 동시에 확보하는 가변 제어 시스템을 연구합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

주행 환경 모니터링 IoT 센서: 레일의 경사도, 곡률, 노후 상태를 실시간으로 감지하는 가속도 및 자이로 센서를 각 OHT 유닛에 장착하여 주행 데이터를 수집.

구간별 최적 속도 산출 알고리즘: 수집된 데이터를 바탕으로 진동이 발생하기 쉬운 구간을 AI가 사전에 판별하여, 해당 구간 진입 시 부드러운 감속을 유도하는 가변 속도 프로파일 적용.

실시간 차량 간 통신(V2V): 앞차와 뒷차의 간격을 IoT 망으로 실시간 공유하여 전방 정체 시 급제동 없이 단계적으로 속도를 줄여 후행 차량의 관성 충격을 방지하는 군집 주행 기술.

자가 진단 기반 유지보수 모델: 특정 주행 구간에서 반복적인 진동이 감지될 경우 레일의 이상 유무를 관리자에게 즉시 통보하여 대형 물류 사고를 예방하는 예지보전 모듈 통합.

[기대 성과 및 활용 방안]이송 중 발생하는 미세 균열(Micro-crack) 불량을 획기적으로 낮춰 수율을 방어하고, 최적화된 가속/감속 제어를 통해 팹 전체의 물류 처리 성능(MPH)을 15% 이상 개선합니다.

09. AI 기반 포토마스크 오염 자동 진단 시스템 연구

[연구 배경 및 목적]포토마스크 상의 미세한 오염은 노광 공정에서 동일한 결함을 반복적으로 복제하기 때문에 매우 정밀한 관리가 필요합니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 AI 이미지 분석 기술을 포토마스크 검사 장비에 도입하여, 나노 크기의 이물질과 화학적 오염(Haze)을 고속으로 자동 진단하고 분류하는 차세대 검사 시스템 개발을 목적으로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

고해상도 이미지 전처리 및 스캔: 마스크 표면의 미세한 패턴과 오염원을 구분하기 위해 광학 데이터를 디지털화하고 노이즈를 제거하는 고성능 비전 프로세싱 기술.

딥러닝 기반 결함 자동 분류(ADC): 수만 건의 결함 사례를 학습한 신경망 모델을 통해 발견된 오염원이 단순 입자인지, 스크래치인지, 혹은 화학적 성장성 오염인지를 실시간 분류.

결함 전사성 시뮬레이션: 탐지된 오염원이 실제 노광 공정에서 웨이퍼에 불량을 일으킬 가능성이 있는지 AI가 물리적으로 예측하여 세정 주기를 결정하는 지능형 판정 로직.

이력 데이터 관리 및 추적: 마스크의 사용 횟수와 오염 발생 빈도를 데이터베이스화하여 특정 공정 조건에서 오염이 가속화되는 원인을 분석하는 통계적 품질 관리(SQC) 연동.

[기대 성과 및 활용 방안]검사자의 주관적 판단 오류를 배제하여 검사 정확도를 99% 이상으로 끌어올리며, 불필요한 마스크 폐기를 줄여 운영 비용을 절감하고 노광 공정의 품질 신뢰도를 확보합니다.

10. 지능형 반도체 칠러 냉각 효율 최적화기 연구

[연구 배경 및 목적]반도체 공정 장비의 온도를 일정하게 유지하는 칠러(Chiller)는 막대한 전력을 소모하며, 온도 불안정 시 공정 산포가 발생하는 원인이 됩니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 지능형 제어 알고리즘을 활용하여 공정 부하에 따라 냉각 출력을 실시간으로 최적화함으로써, 에너지 효율을 극대화하고 초정밀 온도 제어를 실현하는 시스템 연구에 집중합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

공정 연동형 열부하 예측: 식각(Etching)이나 증착 장비의 전력 인가 스케줄을 실시간 수신하여 발열이 시작되기 전 냉각수 유량을 선제적으로 조절하는 예측 제어(Feed-forward) 기술.

인버터 기반 고효율 제어: AI 알고리즘이 실시간 외기 온도와 냉각 효율을 계산하여 압축기의 회전수를 최적 지점으로 제어함으로써 불필요한 전력 낭비를 차단하는 지능형 운전 모드.

냉각수 상태 및 누출 감지 센싱: 냉매의 압력과 유량 데이터를 분석하여 펌프의 성능 저하나 배관 내 막힘 징후를 조기에 발견하는 IoT 기반 상태 모니터링 시스템 구축.

에너지 관리 시스템(EMS) 통합: 공장 전체의 에너지 소비 데이터와 연동하여 칠러 운전 패턴을 최적화하고 탄소 배출 저감 효과를 정량적으로 리포팅하는 플랫폼 개발.

[기대 성과 및 활용 방안]칠러 가동 전력을 기존 방식 대비 20% 이상 절감하여 저탄소 제조 환경을 조성하며, 정밀한 온도 관리를 통해 공정 장비의 열적 안정성을 확보함으로써 제품 품질 균일도를 향상시킵니다.

11. IoT 기반 진공 펌프 소음 및 진동 분석기 연구

[연구 배경 및 목적]반도체 공정의 핵심 장비인 진공 펌프는 24시간 가동되며, 불시 고장 시 전체 공정 라인이 중단되는 막대한 손실을 초래합니다. 기존의 주기적 점검 방식은 내부 부품의 미세한 마모를 파악하기 어렵습니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 IoT 센싱 기술을 활용하여 펌프의 소음과 진동 데이터를 실시간 수집하고 분석함으로써, 고장 징후를 사전에 포착하고 정비 효율을 극대화하는 분석기 개발을 목적으로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

고감도 복합 센서 노드: 펌프 하우징에 장착되어 초미세 진동(G값)과 가청/초음파 영역의 소음을 동시 수집하는 저전력 IoT 센서 모듈 설계 및 제작.

엣지 컴퓨팅 기반 FFT 분석: 수집된 아날로그 신호를 현장에서 디지털로 변환하고 고속 푸리에 변환(FFT)을 수행하여 주파수 도메인에서의 이상 패턴을 실시간 추출.

고장 유형 분류 알고리즘: 베어링 마모, 임펠러 불균형, 모터 과부하 등 펌프의 주요 고장 모드를 주파수 특성별로 데이터베이스화하여 고장 원인을 자동 진단.

무선 네트워크 통합 관리: 수백 대의 펌프 데이터를 LoRa 또는 Wi-Fi 6망을 통해 중앙 서버로 전송하고, 장비별 건강 상태(Health Index)를 지표화하여 모바일 알람 시스템 구축.

[기대 성과 및 활용 방안]장비의 돌발 고장(Unplanned Downtime)을 80% 이상 예방하여 생산 가동률을 높이고, 부품의 잔여 수명을 정밀하게 예측함으로써 불필요한 조기 교체 비용을 절감할 수 있습니다.

12. AI 기반 극자외선(EUV) 노광 패턴 왜곡 보정기 연구

[연구 배경 및 목적]7nm 이하 초미세 공정에 필수적인 EUV 노광 기술은 극도로 짧은 파장을 사용하므로 렌즈의 열 변형이나 미세한 진동에도 패턴 왜곡이 발생하기 쉽습니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 고도화된 AI 알고리즘을 노광 공정에 도입하여, 실시간으로 발생하는 패턴 왜곡을 시뮬레이션하고 이를 보정하는 지능형 보정 시스템 연구를 목표로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

광학 근접 효과(OPC) AI 최적화: 복잡한 마스크 패턴이 웨이퍼에 전사될 때 발생하는 회절 및 간섭 현상을 딥러닝 모델이 예측하여 마스크 데이터를 실시간 보정.

실시간 웨이퍼 레벨 변형 감지: 노광 중 발생하는 열에 의한 웨이퍼의 미세 팽창과 수축을 센서 데이터로 분석하여 빔의 위치와 초점을 나노미터 단위로 미세 조정.

패턴 왜곡 복원 신경망: 실제 노광된 이미지 데이터와 설계 도면(GDS)을 비교 학습하여, 반복적으로 발생하는 왜곡 패턴을 스스로 찾아내고 광학계 제어 파라미터를 자동 업데이트.

데이터 기반 오버레이(Overlay) 정렬: 하부 레이어와 상부 레이어 간의 정렬 오차를 AI가 분석하여 다음 웨이퍼 노광 시 오차를 선제적으로 상쇄하는 피드백 제어 루프 구축.

[기대 성과 및 활용 방안]초미세 회로 패턴의 형성 정확도를 획기적으로 높여 멀티 패터닝 공정의 복잡도를 낮추고, EUV 장비의 고질적인 수율 저하 문제를 해결하여 차세대 반도체 양산 경쟁력을 확보합니다.

13. 지능형 반도체 테스트 핸들러 정밀 제어 보드 연구

[연구 배경 및 목적]패키징이 완료된 반도체 칩을 검사 장비로 이송하고 전기적 특성을 확인하는 테스트 핸들러는 고속 이동 시에도 핀(Pin) 접촉의 정확도를 유지해야 합니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 고속 데이터 처리 및 정밀 서보 제어 기술을 결합하여, 다수의 테스트 소켓에 칩을 정확하게 안착시키고 공정 변수를 실시간 제어하는 전용 보드 개발을 목표로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

고속 다축 서보 제어 엔진: 수 밀리초(ms) 이내에 로봇 암의 위치를 보정하고 진동을 억제하는 고성능 FPGA 기반의 실시간 제어 알고리즘 탑재.

지능형 압력 감지 인터페이스: 테스트 소켓과 칩 접촉 시 발생하는 압력을 실시간 모니터링하여 핀 파손을 방지하고 균일한 접촉 저항을 유지하는 센서 피드백 설계.

온도 환경 동적 보상 로직: 고온/저온 테스트 환경에서 금속 부품의 열팽창에 따른 위치 오차를 AI가 계산하여 로봇의 목표 위치를 실시간으로 보정하는 보상 기술.

통합 상태 진단 및 로깅: 제어 보드 내부의 전력 소비량과 신호 무결성을 상시 모니터링하여 보드 자체의 고장 가능성을 관리자에게 보고하는 자가 진단 기능 구현.

[기대 성과 및 활용 방안]테스트 중 발생하는 칩 파손 및 오판정(False Reject)을 최소화하여 검사 수율을 높이며, 고속 이송 시 안정성을 확보함으로써 시간당 테스트 처리량(UPH)을 20% 이상 개선합니다.

14. IoT 연동 가스 캐비닛 실시간 압력 감지 센서 연구

[연구 배경 및 목적]반도체 공정용 특수가스는 고압으로 보관되며 유출 시 치명적인 사고로 이어질 수 있어, 캐비닛 내부의 압력 변동을 상시 감시해야 합니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 IoT 네트워크 기술을 가스 공급 시스템에 접목하여, 미세한 압력 변화와 누출 징후를 원격에서 실시간으로 감지하고 자동으로 차단하는 지능형 안전 센서 시스템을 연구합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

초정밀 내부 압력 IoT 노드: 고부식성 가스 환경에서도 견딜 수 있는 특수 재질의 압력 센서와 저전력 무선 통신 모듈을 결합한 가스 캐비닛 전용 센서 개발.

실시간 누출 감지 알고리즘: 가스 사용량에 따른 정상적인 압력 강하 패턴과 미세 누출에 의한 비정상적 강하를 구분하여 경보를 울리는 지능형 분석 로직.

가스 공급망 통합 모니터링: 공장 전체에 분산된 수백 개의 가스 캐비닛 상태를 하나의 대시보드에서 확인하고, 비상시 원격으로 밸브를 차단할 수 있는 네트워크 인프라 구축.

환경 변수 복합 분석: 단순 압력뿐만 아니라 캐비닛 내 온도와 습도 데이터를 결합하여 외부 환경 변화에 따른 오경보(False Alarm)를 제거하는 교차 검증 시스템.

[기대 성과 및 활용 방안]가스 유출 사고의 조기 발견 및 즉각 대응 체계를 구축하여 작업장 안전성을 극대화하며, 가스 잔량을 정확히 파악하여 교체 주기를 최적화함으로써 운영 효율을 높입니다.

15. AI 기반 반도체 생산 수율(Yield) 예측 엔진 연구

[연구 배경 및 목적]반도체 생산은 수백 단계의 공정을 거치므로, 최종 수율에 영향을 미치는 원인을 파악하는 데 막대한 시간이 소요됩니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 빅데이터 분석 역량을 집중하여 전 공정에서 수집된 방대한 데이터를 AI로 학습시키고, 최종 제품의 수율을 사전에 예측하여 공정 조건을 선제적으로 조절하는 예측 엔진 개발을 목적으로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

빅데이터 전처리 및 통합: 식각, 증착, 세정 등 각 공정 장비에서 발생하는 수천 개의 파라미터(온도, 압력, 시간 등)를 표준화하여 통합 분석 데이터베이스 구축.

수율 상관관계 분석 모델: 특정 공정의 미세한 오차가 최종 수율에 미치는 가중치를 AI가 계산하여 핵심 품질 인자(KPI)를 자동으로 도출하는 머신러닝 알고리즘.

실시간 수율 예측 시뮬레이터: 현재 진행 중인 웨이퍼 배치(Batch)의 데이터를 분석하여 최종 수율을 확률적으로 제시하고, 목표 수율 미달 시 예상 원인을 리포팅하는 기능.

공정 파라미터 최적 최적화 제안: 예측된 수율을 바탕으로 다음 공정의 조건을 자동으로 보정(Feed-forward)하여 최종 수율을 회복시키는 처방형(Prescriptive) AI 솔루션 연동.

[기대 성과 및 활용 방안]수율 하락 원인 분석 시간을 며칠에서 몇 분 단위로 단축하여 사고 대응력을 높이고, 전반적인 수율 안정화를 통해 연간 수억 원 이상의 제조 비용 절감 및 생산성 증대 효과를 거둘 수 있습니다.

16. 지능형 후공정 솔더볼 결함 딥러닝 검사기 연구

[연구 배경 및 목적]반도체 패키징 공정에서 칩과 기판을 연결하는 솔더볼(Solder Ball)의 미세한 크랙이나 미성형은 최종 제품의 전기적 연결 불량을 초래합니다. 기존의 검사 방식은 볼의 입체적 형태를 정확히 판별하는 데 한계가 있으며, 오탐율이 높습니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 고성능 비전 AI를 적용하여 솔더볼의 3차원적 결함을 실시간으로 정밀 진단하는 검사기 개발을 목적으로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

다각도 조명 및 고해상도 이미징: 솔더볼의 그림자와 난반사를 최소화하기 위해 특수 설계된 돔(Dome) 조명과 고속 CMOS 센서를 활용한 이미지 수집 기술.

CNN 기반 3D 결함 분류 엔진: 솔더볼의 높이, 직경, 볼륨 데이터를 학습한 딥러닝 모델을 통해 미세 크랙, 냉납(Cold Solder), 브릿지 현상을 99.9% 정확도로 자동 분류.

실시간 비정상 패턴 감지: 검사 중 발견되는 결함의 위치와 빈도를 실시간 분석하여, 특정 설비의 정렬 불량이나 온도 이상 등 전공정의 이상 징후를 역추적하는 알고리즘 탑재.

고속 데이터 파이프라인: 대량의 패키지 기판 이미지를 지연 없이 처리하기 위해 GPU 가속기를 최적화하고, 검사 결과를 즉각 데이터베이스화하는 분산 처리 시스템 구축.

[기대 성과 및 활용 방안]검출하기 까다로운 미세 불량을 완벽히 잡아내어 출하 불량률을 제로화하며, 검사 공정의 무인화를 통해 인건비 절감과 동시에 검사 처리량(Throughput)을 25% 이상 향상시킵니다.

17. IoT 기반 반도체 공정 폐수 유해 성분 분석기 연구

[연구 배경 및 목적]반도체 제조 과정에서 발생하는 폐수에는 다양한 화학 약품과 중금속이 포함되어 있어 엄격한 환경 규제 준수가 요구됩니다. 기존의 수동 채수 방식은 분석 시간이 오래 걸려 사고 발생 시 즉각 대응이 어렵습니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 IoT 센서망을 폐수 처리 시스템에 연동하여, 유해 성분을 실시간으로 감시하고 수질 데이터를 관리하는 지능형 분석기를 연구합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

고감도 다항목 수질 센서 노드: pH, 전도도, 탁도는 물론 특정 중금속 이온과 유기 화합물을 실시간 측정할 수 있는 전기화학식/광학식 IoT 복합 센서 개발.

실시간 오염원 추적 분석: 수집된 성분 데이터를 AI 모델이 분석하여 폐수 처리장으로 유입되는 오염물질이 어느 라인에서 발생했는지 원천지를 즉각 식별하는 기술.

무선 통합 모니터링 대시보드: 공장 전체의 폐수 흐름을 시각화하고, 법적 허용 기준치에 근접할 경우 자동으로 차단 밸브를 가동하고 관리자 모바일로 긴급 알람을 전송.

자가 세정 및 보정 로직: 센서 표면의 오염으로 인한 측정 오차를 방지하기 위해 정기적으로 스스로 세정하고 데이터를 보정하는 지능형 유지보수 기능을 센서 노드에 탑재.

[기대 성과 및 활용 방안]환경 오염 사고를 원천 방지하여 기업의 ESG 경영 지표를 개선하고, 실시간 모니터링을 통해 폐수 처리 약품 사용량을 최적화함으로써 환경 관리 비용을 15% 이상 절감할 수 있습니다.

18. AI 기반 리소그래피 광원 안정성 유지 장치 연구

[연구 배경 및 목적]리소그래피(노광) 공정의 핵심인 광원(DUV/EUV)은 미세한 출력 변동에도 패턴의 정밀도가 깨질 정도로 극도의 안정성이 요구됩니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 예측 AI 모델을 광원 제어 시스템에 도입하여, 광원의 에너지 세기와 파장 변화를 선제적으로 보정함으로써 노광 공정의 일관성을 확보하는 장치 개발을 목표로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

광원 파라미터 시계열 학습: 레이저 출력, 반복률, 가스 상태 등 광원 발생기의 수천 개 데이터를 실시간 학습하여 출력 저하 시점을 사전에 예측하는 딥러닝 모델.

능동형 에너지 피드백 제어: 광원의 에너지가 목표 범위를 벗어나기 전, AI가 빔의 감쇠기(Attenuator)나 전력 공급 장치를 미세 조정하여 균일한 노광량을 유지하는 기술.

광학계 열 변형 보상 알고리즘: 지속적인 광원 조사로 인해 렌즈 및 거울에 발생하는 미세한 열 변형을 계산하고, 이를 상쇄하기 위한 초점 거리를 실시간으로 자동 보정.

광원 모듈 예지보전 시스템: 광원 발생 부품의 마모 패턴을 분석하여 교체 시기를 관리자에게 미리 알려줌으로써 공정 중 광원이 꺼지는 최악의 상황을 방지.

[기대 성과 및 활용 방안]노광 공정의 핵심인 CD(Critical Dimension) 균일도를 획기적으로 향상시켜 칩의 성능 편차를 줄이고, 고가의 광원 장비 유지보수 비용을 최적화하여 팹 가동 효율을 극대화합니다.

19. 지능형 웨이퍼 평탄도 초정밀 측정 시스템 연구

[연구 배경 및 목적]고집적 반도체 공정이 진행될수록 웨이퍼의 휨(Warpage)이나 국부적 평탄도는 후속 공정의 성공 여부를 결정짓는 결정적 요인이 됩니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 정밀 센싱 기술과 데이터 프로세싱 역량을 결합하여, 웨이퍼 전체면을 나노미터 단위로 스캔하고 디지털 지도로 형상화하는 지능형 측정 시스템을 구축하고자 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

비접촉식 간섭계 스캐닝: 레이저 간섭계 또는 백색광 간섭계를 활용하여 웨이퍼 표면에 물리적 접촉 없이 초고해상도로 표면 거칠기 및 평탄도를 측정하는 기술.

실시간 3D 프로파일링: 수집된 수만 개의 높이 데이터를 즉각적으로 시각화하여 웨이퍼의 휨 상태와 굴곡 분포를 나타내는 고해상도 디지털 트윈 맵 생성.

평탄도 이상 부위 자동 진단: 특정 영역의 평탄도가 기준치를 초과할 경우, AI가 해당 결함의 패턴을 분석하여 전단계(증착, 식각 등) 공정 중 원인이 된 단계를 추론.

자동 수평 보정 시스템 연동: 측정된 평탄도 데이터를 다음 공정 설비(CMP 등)로 전송하여, 설비가 웨이퍼 형상에 맞춰 제어 파라미터를 스스로 조절하게 하는 스마트 피드포워드 구현.

[기대 성과 및 활용 방안]평탄도 불량으로 인한 후속 공정 사고를 미연에 방지하여 전체 수율을 향상시키며, 정확한 평탄도 데이터를 바탕으로 적층형 반도체(HBM 등) 공정의 조립 신뢰성을 크게 높일 수 있습니다.

20. IoT 연동 클린룸 지능형 공조 에너지 세이버 연구

[연구 배경 및 목적]반도체 클린룸은 항온·항습과 청정도 유지를 위해 막대한 에너지를 소비하는 공간입니다. 기존 공조 시스템은 실제 오염도와 상관없이 일정 출력으로 가동되는 경우가 많아 효율이 떨어집니다. 본 연구는 주식회사 알엑스오그룹의 IoT 환경 센서와 AI 제어 로직을 결합하여, 클린룸 상태에 맞춰 에너지를 지능적으로 절감하는 솔루션 개발을 목적으로 합니다.

[핵심 기술 및 연구 내용]

실시간 환경 모니터링 IoT 망: 클린룸 내 구역별 미세입자 농도, 온도, 습도, 기류를 정밀 측정하여 무선으로 전송하는 센서 네트워크 구축.

수요 반응형 공조 최적화(VAV): 작업자의 위치나 설비 가동 상태에 따라 필요한 구역에만 공조 출력을 집중하고, 유휴 구역은 최소 가동 모드로 전환하는 AI 알고리즘 적용.

외부 환경 연동 예측 제어: 기상 상태나 공장 외부 온도의 변화를 예측하여 클린룸 내부 부하가 급증하기 전 공조기를 미리 조절함으로써 에너지 피크를 억제하는 기술.

에너지 소비 패턴 시각화 리포팅: 기간별 에너지 절감량과 공조 성능 지표를 분석하여 대시보드에 리포팅하고, 최적의 운영 시나리오를 관리자에게 제안하는 지능형 관리 시스템.

[기대 성과 및 활용 방안]클린룸 운영에 소요되는 전력 에너지를 기존 대비 20% 이상 절감하여 탄소 중립 및 저비용 제조 환경을 조성하고, 환경 변동 폭을 최소화하여 공정 장비의 열적 안정성을 보강합니다.

제품명세서

1. AI 기반 웨이퍼 나노 결함 자동 비전 검사기

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요]

본 제품은 초미세 공정화되는 반도체 웨이퍼의 나노급 결함을 AI 딥러닝 알고리즘을 통해 실시간으로 탐지하고 분류하는 차세대 비전 검사 솔루션입니다.

[핵심 특장점]

나노급 초정밀 탐지: 기존 룰 기반 검사로 판독이 어려운 미세 스크래치, 파티클, 패턴 왜곡을 99.9% 확률로 검출합니다.

딥러닝 기반 자동 분류: 결함의 유형(Defect Classification)을 스스로 학습하여 공정상의 문제 원인을 즉각 분석합니다.

초고속 데이터 처리: 고해상도 이미지를 병렬 처리 알고리즘을 통해 생산 라인 속도 저하 없이 실시간 스캐닝합니다.

[기대 효과]

수율(Yield)의 획기적 향상 및 불량 분석 시간 단축

검사 인력의 숙련도에 의존하지 않는 일관된 품질 관리

2. IoT 연동 클린룸 미세입자 실시간 분석 센서

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요]

클린룸 내의 공기 질을 0.1㎛ 단위까지 정밀 측정하고, IoT망을 통해 대시보드에 실시간으로 데이터를 전송하는 지능형 환경 모니터링 센서입니다.

[핵심 특장점]

멀티 채널 파티클 카운팅: 미세입자 크기별(0.1, 0.3, 0.5㎛ 등) 농도를 동시 측정합니다.

무선 IoT 통합 관리: LoRa, Wi-Fi 등 다양한 통신 프로토콜을 지원하여 복잡한 배선 없이 설치가 가능합니다.

이상 징후 알람: 설정치 초과 시 즉각적으로 관리자 모바일 및 공조 시스템에 신호를 전달합니다.

[기대 효과]

공정 오염 사고 사전 방지 및 클린룸 유지비용 최적화

빅데이터 분석을 통한 오염원 발생 지점 역추적 가능

3. 딥러닝 기반 식각(Etching) 공정 온도 최적화기

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요]

식각 공정 중 챔버 내부의 미세한 온도 변화를 예측하고, 최적의 식각률(Etch Rate)을 유지하기 위해 히터 및 쿨러를 지능적으로 제어하는 공정 최적화 솔루션입니다.

[핵심 특장점]

가상 센서(Virtual Metrology) 기술: 물리적 센서가 닿지 않는 공간의 온도를 AI 모델로 정밀 추정합니다.

실시간 피드백 제어: 플라즈마 상태 변화에 따른 온도 간섭을 0.1°C 단위로 즉각 보정합니다.

공정 레시피 최적화: 제품별 최적 온도 프로파일을 자동 생성하여 초기 셋업 시간을 단축합니다.

[기대 효과]

웨이퍼 내 균일도(Uniformity) 개선 및 식각 불량 최소화

전력 소모 효율화를 통한 탄소 배출 저감

4. 지능형 반도체 증착 장비 예지보전 센서 노드

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요]

CVD, ALD 등 증착 장비의 핵심 부품(펌프, 밸브, 히터)에 부착되어 고장 징후를 사전에 포착하고 교체 주기를 알리는 PdM(Predictive Maintenance) 유닛입니다.

[핵심 특장점]

진동/전류/온도 복합 분석: 다기능 센서 노드를 통해 장비의 '건강 상태'를 다각도로 진단합니다.

고장 예측 알고리즘: FFT(고속 푸리에 변환) 분석을 통해 베어링 마모나 가스 흐름 이상을 예측합니다.

Edge-Computing: 현장에서 데이터를 1차 처리하여 서버 부하를 줄이고 즉각적인 반응을 보장합니다.

[기대 효과]

갑작스러운 장비 정지(Down-time) 사고 제로화

부품 수명 극대화를 통한 유지보수 비용(OPEX) 절감

5. IoT 기반 산업용 특수가스 미세 누출 탐지기

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요]

반도체 라인에서 사용되는 독성 및 가연성 특수가스의 미세 누출을 ppb(parts per billion) 단위로 탐지하여 사고를 예방하는 스마트 안전 센서입니다.

[핵심 특장점]

초고감도 가스 센싱: 레이저 분광학 기술을 적용하여 극미량의 누출도 놓치지 않습니다.

위치 기반 관제: 누출 발생 시 평면도(Map) 상에 정확한 위치를 표시하여 대응 속도를 높입니다.

자동 차단 연동: 누출 감지 시 중앙 밸브 시스템과 연동되어 즉시 가스 공급을 차단합니다.

[기대 효과]

작업자 안전 확보 및 중대재해처벌법 대응력 강화

고가의 특수가스 낭비 방지

6. AI 최적화 화학기계연마(CMP) 압력 제어기

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: Intelligent CMP Pressure Controller]

반도체 웨이퍼의 평탄화 공정(CMP)에서 연마 패드와 웨이퍼 사이의 압력을 실시간 AI 알고리즘으로 미세 조정하여, 나노 단위의 평탄도(Planarity)를 구현하는 지능형 압력 제어 시스템입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

다지점 독립 압력 제어 (Multi-Zone Control): 웨이퍼의 중심부부터 에지(Edge)까지 분할된 구역별로 독립적인 압력을 가하여 연마 불균형을 원천 차단합니다.

실시간 마찰력 피드백: 연마 과정에서 발생하는 마찰 토크 데이터를 AI가 분석하여 패드 마모 상태에 따른 최적 압력을 0.01psi 단위로 실시간 보정합니다.

슬러리 최적 분사 연동: 압력 변화에 맞춰 화학 슬러리(Slurry) 투입량을 동기화함으로써 화학적·기계적 연마 효율을 극대화합니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

Dishing & Erosion 방지: 과연마로 인한 회로 손상을 방지하여 차세대 고집적 반도체 수율 향상에 기여합니다.

소모품 수명 연장: 연마 패드의 불필요한 마찰을 줄여 교체 주기를 약 15% 이상 연장합니다.

7. 지능형 반도체 패키징 라인 자율 물류 유닛

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: Smart Autonomous Logistic Unit for Packaging]

후공정(Packaging) 라인의 복잡한 동선을 스스로 파악하여 웨이퍼 트레이 및 자재를 운반하는 AI 기반 자율 주행 로봇(AMR) 유닛입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

SLAM 기반 무인 주행: 별도의 가이드라인 없이 레이저 레이더(LiDAR)와 비전 센서를 통해 클린룸 내 장애물을 회피하며 최적 경로를 탐색합니다.

진동 제어 하이브리드 서스펜션: 정밀한 패키징 부품 운송 시 발생하는 미세 진동을 상쇄하여 이송 중 파손 및 정렬 이탈을 방지합니다.

플릿 관리 시스템(Fleet Management): 다수의 유닛이 서로 통신하며 병목 현상을 해결하고, 배터리 잔량을 체크하여 스스로 충전 스테이션으로 복귀합니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

인적 오류 제거: 수동 이송 시 발생하는 낙하 사고 및 혼적 오류를 100% 제거합니다.

유연한 라인 구성: 공정 변경 시 별도의 설비 공사 없이 소프트웨어 업데이트만으로 물류 경로를 재설정할 수 있습니다.

8. IoT 연동 천장 이송 장치(OHT) 속도 가변 모듈

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: IoT-Enabled OHT Variable Speed Module]

반도체 팹(FAB) 천장에 설치된 자동 이송 시스템(OHT)의 속도를 실시간 공정 부하에 따라 지능적으로 가변 제어하여 물류 정체를 해소하는 스마트 속도 제어 모듈입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

트래픽 예측 알고리즘: 각 공정 단계별 물동량을 분석하여 병목 구간 진입 전 OHT의 간격과 속도를 자동으로 조절합니다.

무선 IoT 상태 모니터링: 주행 모터의 발열, 진동, 전력 소모량을 실시간 전송하여 탈선이나 급정거 사고를 사전에 방지합니다.

부드러운 가감속 제어 (S-Curve Profile): 급격한 속도 변화 시 발생하는 웨이퍼 흔들림을 최소화하는 정밀 서보 제어 기술이 적용되었습니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

물류 처리량(Throughput) 증대: 팹 내 전체 물류 흐름을 최적화하여 생산 리드타임을 약 10% 단축합니다.

에너지 효율 최적화: 불필요한 고속 주행을 억제하여 전력 소비를 효율적으로 관리합니다.

9. AI 기반 포토마스크 오염 자동 진단 시스템

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: AI Photomask Contamination Diagnostic System]

노광 공정의 핵심 자산인 포토마스크(Reticle) 표면의 미세 오염 및 펠리클(Pellicle) 손상을 AI 비전 기술로 자동 검사하는 고정밀 진단 솔루션입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

딥러닝 기반 헤이즈(Haze) 탐지: 육안이나 일반 광학 장비로 확인이 어려운 화학적 오염(Haze)의 성장 가능성을 AI가 조기에 포착합니다.

비파괴 검사 아키텍처: 마스크에 물리적 접촉 없이 고해상도 스캐닝만으로 결함을 찾아내어 마스크 수명을 보호합니다.

데이터베이스 연동 자동 판정: 검출된 오염이 실제 웨이퍼 전사 시 치명적인 불량을 일으킬지 여부를 과거 데이터를 바탕으로 자동 시뮬레이션합니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

노광 불량 원천 봉쇄: 마스크 오염으로 인한 대량 폐기 사고(Scrap)를 사전에 차단합니다.

세정 주기 최적화: 무조건적인 정기 세정이 아닌, 상태 기반 세정을 통해 마스크 마모를 방지하고 비용을 절감합니다.

10. 지능형 반도체 칠러 냉각 효율 최적화기

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: Intelligent Chiller Cooling Efficiency Optimizer]

반도체 공정 장비의 온도를 일정하게 유지하는 칠러(Chiller)의 냉각 성능을 AI로 모니터링하고, 외기 온도 및 공정 부하에 맞춰 가동 효율을 극대화하는 에너지 절감형 제어기입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

예측 기반 온도 제어: 공정 개시 전 발생할 열량을 미리 계산하여 냉매 순환 속도를 선제적으로 조절하는 Feed-forward 알고리즘을 탑재했습니다.

냉매 누설 감지 센서 통합: 칠러 내부의 냉매 압력을 분석하여 미세 누설 시 즉각 경보를 울려 장비 과열을 방지합니다.

스마트 로드 밸런싱: 여러 대의 칠러가 병렬 운용될 경우, 각 기기의 가동 시간을 균등하게 분배하여 특정 기기의 노후화를 방지합니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

전력비용 20% 절감: 불필요한 과냉각을 방지하여 반도체 팹 내 주요 전력 소비원인 칠러 운영비를 획기적으로 낮춥니다.

공정 안정성 강화: ±0.1°C 이내의 정밀 온도 유지를 통해 공정 산포를 개선합니다.

11. IoT 기반 진공 펌프 소음 및 진동 분석기

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: IoT Vacuum Pump Noise & Vibration Analyzer]

반도체 진공 공정의 핵심 장비인 건식 펌프(Dry Pump)의 소음과 진동 데이터를 실시간 수집하여, 펌프의 베어링 마모 및 회전자 이상을 진단하는 지능형 분석기입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

초정밀 MEMS 센서: 가혹한 산업 환경에서도 노이즈 없는 진동 데이터를 수집하는 고성능 가속도 센서를 채택했습니다.

주파수 도메인 분석(FFT): 시간 영역의 데이터를 주파수 영역으로 변환하여 정상 범위를 벗어난 이상 주파수(Harmonics)를 감지합니다.

엣지 AI 진단: 서버 전송 전 기기 자체에서 1차 분석을 수행하여 네트워크 트래픽을 최소화하고 즉각적인 고장 경보를 발령합니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

생산 중단 방지: 펌프 고장 전 예비 부품을 준비하고 교체 스케줄을 잡음으로써 갑작스러운 라인 셧다운을 방지합니다.

부품 교체 비용 절감: 고정된 교체 주기가 아닌 '실제 마모 상태' 기반의 정비로 유지보수 효율을 높입니다.

12. AI 기반 극자외선(EUV) 노광 패턴 왜곡 보정기

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: AI-Driven EUV Pattern Distortion Corrector]

7nm 이하 초미세 공정에서 발생하는 EUV 광원의 회절 및 패턴 왜곡 현상을 AI 모델로 예측하고, 이를 마스크 설계 단계나 노광 파라미터에 반영하여 정밀도를 높이는 고성능 보정 소프트웨어입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

딥러닝 OPC(Optical Proximity Correction): 복잡한 물리 방정식을 푸는 대신 AI가 수백만 개의 패턴 데이터를 학습하여 초고속으로 마스크 보정 데이터를 생성합니다.

열 변형 예측 시뮬레이션: 노광 시 발생하는 순간적인 고열로 인한 렌즈 및 마스크의 미세 변형을 계산하여 실시간으로 초점(Focus)을 보정합니다.

에지 거칠기(LER) 최적화: 패턴 테두리의 거칠기를 최소화하는 최적의 광량 값을 AI가 실시간으로 제시합니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

차세대 노광 기술 선점: EUV 공정의 난제인 패턴 왜곡 문제를 소프트웨어적으로 해결하여 공정 마진을 확보합니다.

설계 시간 단축: 기존 물리 기반 시뮬레이션 대비 처리 속도를 5배 이상 향상시켜 제품 출시(Time-to-Market)를 앞당깁니다.

13. 지능형 반도체 테스트 핸들러 정밀 제어 보드

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: Intelligent Test Handler Precision Control Board]

패키징이 완료된 칩을 테스터로 이송하고 분류하는 테스트 핸들러 장비의 모션을 ㎛(마이크로미터) 단위로 제어하는 차세대 모션 컨트롤러입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

고속 멀티 축 동기화: 최대 32축의 모터를 마이크로초(μs) 단위로 동기 제어하여 칩 이송 속도와 정밀도를 동시에 확보합니다.

충격 최소화 알고리즘: 칩을 소켓에 안착시킬 때 발생하는 물리적 충격을 완화하는 속도 프로파일을 적용하여 소자 손상을 방지합니다.

자가 진단 기능: 보드 내 장착된 센서가 전압 이상이나 통신 지연을 감지하여 시스템 정지 전 경고를 보냅니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

테스트 수율(Final Test Yield) 향상: 접촉 불량으로 인한 가짜 불량(False Fail)을 줄여 실제 수율을 정확하게 측정하게 돕습니다.

장비 가동률 향상: 고속 제어를 통해 단위 시간당 테스트 칩 개수(UPH)를 극대화합니다.

14. IoT 연동 가스 캐비닛 실시간 압력 감지 센서

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: IoT Gas Cabinet Real-time Pressure Sensor]

반도체 공정에 공급되는 각종 특수가스 실린더와 공급 라인의 압력을 실시간 모니터링하여, 가스 공급의 안정성을 확보하고 고갈 시점을 예측하는 스마트 센싱 유닛입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

방폭 및 내부식 설계: 거친 화학 가스 환경에서도 장기간 정밀도를 유지하는 스테인리스 스틸 다이아프램 구조를 적용했습니다.

무선 메쉬 네트워크: 수백 개의 가스 캐비닛 데이터를 복잡한 배선 없이 중앙 관제실로 전송하는 저전력 무선 기술을 지원합니다.

소진 시점 예측(ETA): 가스 소비 패턴을 분석하여 현재 잔량으로 며칠/몇 시간 더 사용 가능한지 관리자에게 알림을 제공합니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

공정 중단 사고 방지: 가스 고갈로 인한 증착/식각 공정 중단이라는 최악의 시나리오를 원천 차단합니다.

안전 관리 자동화: 수동 압력 체크 인력을 줄여 위험 구역 출입 빈도를 낮추고 안전 사고를 예방합니다.

15. AI 기반 반도체 생산 수율(Yield) 예측 엔진

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: AI-Powered Semiconductor Yield Prediction Engine]

웨이퍼 투입부터 최종 테스트까지 발생하는 수조 개의 데이터를 분석하여, 최종 제품의 수율을 사전에 예측하고 저하 원인을 규명하는 전사적 품질 분석 플랫폼입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

Big Data 상관관계 분석: 설비 파라미터, 환경 데이터, 검사 이미지를 통합 분석하여 특정 수율 저하와 관련된 '핵심 변수'를 자동으로 추출합니다.

사전 경고 시스템: 공정 중간 단계에서 이상 징후가 포착될 경우, 최종 수율 하락 폭을 예측하여 해당 배치(Batch)의 진행 여부를 결정하게 돕습니다.

What-if 시뮬레이션: 특정 공정 조건을 변경했을 때 예상되는 수율 변화를 미리 시뮬레이션하여 최적의 공정 조건을 도출합니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

수익 극대화: 수율 향상을 통해 동일 자원 대비 생산 가능한 칩의 개수를 늘려 이익률을 직접적으로 높입니다.

원인 규명 시간 단축: 기존 수주가 걸리던 불량 원인 분석(Root Cause Analysis) 기간을 수 시간 이내로 단축합니다.

16. 지능형 후공정 솔더볼 결함 딥러닝 검사기

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: Intelligent Solder Ball Defect DL Inspector]

BGA(Ball Grid Array) 패키징 공정에서 칩과 기판을 연결하는 솔더볼의 크기, 위치, 형상 결함을 3D 스캐닝과 딥러닝으로 판독하는 고속 검사 장비입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

3D 광학 삼각 측량 기술: 2D 비전으로 확인 불가능한 솔더볼의 높이(Height)와 체적(Volume) 불량을 정밀 측정합니다.

미세 크랙 탐지 AI: 솔더볼 내부나 표면의 미세한 균열을 딥러닝 알고리즘이 학습하여 과판독 없이 정확하게 불량을 가려냅니다.

고속 고주사율 카메라: 초당 수천 개의 솔더볼 이미지를 처리하여 고속 생산 라인(Inline)에 즉시 적용 가능합니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

신뢰성 확보: 모바일, 차량용 반도체 등 고신뢰성이 요구되는 제품의 전기적 연결 안정성을 보장합니다.

데이터 피드백: 발생한 불량 유형을 전공정(본딩 공정)으로 피드백하여 장비 파라미터를 실시간 수정하게 유도합니다.

17. IoT 기반 반도체 공정 폐수 유해 성분 분석기

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: IoT Semiconductor Wastewater Toxic Analyzer]

반도체 세정 및 식각 공정 후 배출되는 폐수 내의 화학 물질(불산, 중금속 등) 농도를 실시간 감지하여 환경 규제를 준수하게 돕는 지능형 환경 보호 솔루션입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

실시간 이온 농도 분석: 시료 채취 후 분석 대기 시간 없이 배관 내 흐르는 폐수의 성분을 즉각 정량화합니다.

클라우드 환경 리포팅: 측정된 데이터를 환경부 규제 가이드라인에 맞춰 자동 리포트화하고, 이상치 발생 시 운영자에게 푸시 알림을 보냅니다.

정화 시스템 연동: 폐수 농도에 따라 수처리 시설의 약물 투입량을 자동 조절하는 폐루프(Closed-loop) 제어를 지원합니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

ESG 경영 실현: 환경 규제 위반 리스크를 사전에 방지하고 친환경 기업 이미지를 구축합니다.

비용 절감: 폐수 농도에 맞춤화된 정화 처리를 통해 과도한 수처리 약품 사용량을 줄입니다.

18. AI 기반 리소그래피 광원 안정성 유지 장치

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: AI-Based Lithography Light Source Stabilizer]

노광 장비(Lithography)의 핵심인 레이저 광원의 파장, 에너지 밀도, 빔 형상을 AI가 실시간 모니터링하여 공정 균일도를 유지하는 성능 최적화 유닛입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

빔 프로파일 AI 분석: 빔의 형태가 찌그러지거나 에너지가 분산되는 징후를 AI가 포착하여 광학 거울의 각도를 미세 조정합니다.

펄스 간 안정화 제어: 수만 Hz로 조사되는 레이저 펄스 각각의 에너지를 균일하게 유지하도록 전력을 정밀 제어합니다.

소모성 광학 부품 진단: 렌즈나 거울의 오염도를 광량 감쇄율로 분석하여 교체 시점을 정확히 알려줍니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

노광 품질 일관성: 웨이퍼 전체 영역에 동일한 에너지를 전달하여 CD(Critical Dimension) 균일도를 획기적으로 개선합니다.

장비 가동 효율: 광원 문제로 인한 공정 재작업(Rework) 비율을 최소화합니다.

19. 지능형 웨이퍼 평탄도 초정밀 측정 시스템

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: Intelligent Wafer Flatness Ultra-Precision System]

웨이퍼 제조 및 공정 중간 단계에서 웨이퍼의 휨(Warp), 뒤틀림(Bow), 두께 편차(TTV)를 나노미터 단위로 측정하는 비접촉식 고정밀 계측기입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

듀얼 정전용량/간섭계 센서: 웨이퍼 앞뒷면을 동시에 측정하여 물리적 스트레스에 의한 미세한 변형을 입체적으로 시각화합니다.

전면 매핑 알고리즘: 웨이퍼 전체 표면을 수만 개의 포인트로 나누어 데이터화하고, 이를 3D 맵으로 구현하여 불량 구역을 명확히 식별합니다.

고진동 차단 베이스: 공장 내부의 미세 진동이 측정값에 영향을 주지 않도록 액티브 방진 기술을 적용했습니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

공정 전수 검사 대응: 고속 측정 알고리즘을 통해 샘플링 검사가 아닌 전수 검사 라인에도 적용이 가능합니다.

수율 손실 예방: 평탄도가 기준치를 벗어난 웨이퍼가 다음 공정(노광, 식각)에 진입하여 발생하는 대형 불량을 방지합니다.

20. IoT 연동 클린룸 지능형 공조 에너지 세이버

주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

[제품 개요: IoT Cleanroom Intelligent HVAC Energy Saver]

반도체 공장 운영 비용의 30% 이상을 차지하는 클린룸 공조 시스템(HVAC)을 가동 현황에 맞춰 최적 제어함으로써 에너지를 절감하는 스마트 에너지 관리 솔루션입니다.

[핵심 기술 및 특장점]

공정 연동 풍량 제어: 장비의 가동 상태와 작업 인원 유무를 IoT 센서로 파악하여 필요한 구역에만 집중적으로 청정 공기를 공급합니다.

외부 기상 데이터 연동: 외기의 온습도 변화를 예측하여 냉동기 및 가열기의 가동률을 미리 조절함으로써 급격한 전력 피크를 방지합니다.

필터 차압 모니터링: 필터의 막힘 정도를 실시간 감지하여 최적의 교체 타이밍을 제시, 송풍기 부하를 줄입니다.

[시장 경쟁력 및 가치]

에너지 비용 15~25% 절감: 대규모 팹 운영 시 연간 수억 원 이상의 전기 요금 절감 효과를 기대할 수 있습니다.

탄소 배출권 확보: 에너지 사용량 감소를 통한 탄소 중립 지표 개선에 직접적인 도움을 줍니다.

등록증명서

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-001호

제품명: AI 기반 웨이퍼 나노 결함 자동 비전 검사기

모델명: RXO-VISION-NANO-01

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 본 제품은 반도체 전공정에서 웨이퍼 표면의 나노미터(nm) 단위 미세 결함을 실시간으로 탐지하는 고정밀 비전 검사 시스템입니다. 인공지능 딥러닝 알고리즘을 활용하여 기존 광학 검사의 한계를 극복하고 판독 정확도를 극대화하였습니다.

2. 주요 기술 사양

검사 해상도: 나노미터(nm) 급 패턴 결함 및 파티클 탐지

핵심 알고리즘: 다층 신경망 기반 이미지 복원 및 비정형 결함 분류 기술

처리 속도: 12인치 웨이퍼 기준 시간당 30매 이상 고속 스캔

인터페이스: 반도체 표준 프로토콜(SECS/GEM) 완벽 지원

3. 용도 및 특성

반도체 제조 공정 내 품질 관리 및 수율 분석용

미세 회로 단선, 단락, 오염물질 자동 분류 및 데이터베이스화

실시간 결함 맵(Defect Map) 생성 및 상위 통합 관리 시스템 전송

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-002호

제품명: IoT 연동 클린룸 미세입자 실시간 분석 센서

모델명: RXO-IOT-PARTICLE-V2

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 클린룸 내부의 환경 수치를 IoT 기술을 통해 실시간으로 모니터링하고 분석하는 장치입니다. 극미세 입자(Particle)의 농도를 정밀 계측하여 환경 오염에 의한 공정 불량을 사전에 방지합니다.

2. 주요 기술 사양

측정 입자 크기: 0.1μm ~ 5.0μm 대역 정밀 계측

통신 방식: Wi-Fi, LoRa, Ethernet 등 다중 네트워크 인터페이스

샘플링 유량: 2.83 LPM (0.1 CFM) 고정밀 제어

센서 유형: 레이저 산란 방식(Laser Scattering) 고수명 다이오드 채택

3. 용도 및 특성

클린룸 내 Class 1~100 환경의 상시 입자 모니터링

지능형 공조 시스템(AHU)과의 연동을 통한 자동 풍량 제어 지원

누적 데이터 분석을 통한 오염원 발생 지점 추적 기능

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-003호

제품명: 딥러닝 기반 식각(Etching) 공정 온도 최적화기

모델명: RXO-ETCH-TEMP-AI

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 식각 공정 중 챔버 내부의 미세한 온도 변화를 딥러닝 알고리즘으로 예측하고 제어하여 공정 균일도(Uniformity)를 최적화하는 소프트웨어 기반 하드웨어 제어 유닛입니다.

2. 주요 기술 사양

예측 모델: 시계열 데이터 분석 기반 RNN/LSTM 알고리즘 적용

제어 정밀도: 설정 온도 대비 ±0.05°C 이내 초정밀 유지

입력 데이터: 가스 유량, 압력, RF 파워, 냉각수 온도 통합 분석

응답 속도: 밀리초(ms) 단위의 실시간 피드백 루프 구현

3. 용도 및 특성

고집적 회로 식각 시 발생하는 열 산포 불량 해결

공정 중 환경 변화에 따른 레시피 자동 보정(Run-to-Run 제어)

전력 효율 최적화를 통한 장비 발열 감소 및 에너지 절감

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-004호

제품명: 지능형 반도체 증착 장비 예지보전 센서 노드

모델명: RXO-PREDICT-NODE-S

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 증착(Deposition) 장비의 핵심 구동 부품에 장착되어 진동, 온도, 전류 데이터를 수집하고 이상 징후를 조기에 발견하여 장비의 다운타임을 최소화하는 스마트 예지보전 센서입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 항목: 3축 가속도(진동), 표면 온도, 모터 소비 전류

데이터 전송: 저전력 무선 통신 및 산업용 통신 게이트웨이 연동

내환경성: 고온, 고진공 및 화학 약품 노출 환경 견딤 설계

분석 알고리즘: 엣지 컴퓨팅 기반 FFT 분석 및 이상치 탐지

3. 용도 및 특성

증착 챔버 내 로봇 암 및 펌프류의 고장 전조 현상 감지

부품의 잔여 수명(RUL) 예측을 통한 정비 일정 최적화

불시 가동 중단 사고 예방으로 생산 라인 가동률 극대화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-005호 제품명: IoT 기반 산업용 특수가스 미세 누출 탐지기 모델명: RXO-GAS-SAFE-IoT 등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 공정에서 사용되는 가연성 및 독성 특수가스의 미세한 누출을 ppm 단위로 감지하여 관리자에게 알리고 자동 차단 시스템을 가동하는 지능형 안전 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

감지 농도: 1ppm 미만의 극미세 농도 누출 감지 가능

감지 대상 가스: SiH4, PH3, HF, Cl2 등 반도체용 주요 특수가스

알람 기능: 현장 시청각 경보 및 스마트폰/PC 실시간 Push 알림

배터리 수명: 저전력 설계로 장기간 독립 운용 가능

3. 용도 및 특성

가스 공급 장치(Gas Cabinet) 및 배관 연결부 상시 감시

사고 발생 시 실시간 위치 기반 대피 가이드 연동

가스 소비량 및 미세 누설 패턴 분석을 통한 설비 노후도 진단

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-006호

제품명: AI 최적화 화학기계연마(CMP) 압력 제어기

모델명: RXO-CMP-PRESS-OPT

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼 표면을 평탄화하는 CMP 공정에서 연마 헤드의 압력을 AI가 실시간으로 미세 조절하여 박막의 두께 균일도를 극대화하고 과연마 불량을 방지하는 정밀 제어기입니다.

2. 주요 기술 사양

제어 알고리즘: 강화학습(Reinforcement Learning) 기반 실시간 압력 프로파일링

멀티 존 제어: 웨이퍼 중심부부터 가장자리까지 7개 이상의 독립 구역 압력 조절

센싱 데이터: 연마 패드 마찰력 및 연마액(Slurry) 온도 실시간 연동

정밀도: 0.01 psi 단위의 미세 압력 보정

3. 용도 및 특성

나노 단위의 박막 평탄도(Step Height) 관리 및 수율 향상

연마 패드 및 슬러리 소모량 최적화로 운영 비용 절감

웨이퍼 배부분(Dishing) 및 침식(Erosion) 현상 억제

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-007호

제품명: 지능형 반도체 패키징 라인 자율 물류 유닛

모델명: RXO-AMR-PACK-100

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 후공정 패키징 라인에서 웨이퍼 매거진과 제품 박스를 무인으로 이송하는 자율 주행 물류 로봇(AMR)입니다. 복잡한 클린룸 환경에서도 안전하고 효율적인 물류 흐름을 보장합니다.

2. 주요 기술 사양

주행 방식: LiDAR 및 SLAM 기반 지도 생성 및 자율 경로 최적화

적재 하중: 최대 100kg (웨이퍼 및 패키지 트레이 다수 적재 가능)

안전 규격: 360도 전방위 장애물 감지 및 긴급 정지 기능

충전 방식: 배터리 잔량 감지 기반 자동 스테이션 복귀 및 충전

3. 용도 및 특성

공정 간 대기 물량(WIP)의 지능형 배분 및 정체 구간 해소

진동 저감 설계를 통한 이송 중 제품 손상 방지

통합 물류 관리 시스템(MCS)과의 실시간 연동을 통한 작업 우선순위 자동 수행

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-008호

제품명: IoT 연동 천장 이송 장치(OHT) 속도 가변 모듈

모델명: RXO-OHT-SPEED-MOD

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 생산 라인의 천장 이송 시스템인 OHT의 주행 속도를 구간별, 물동량별로 가변 제어하여 물류 효율을 높이고 곡선 구간에서의 원심력에 의한 진동을 제어하는 스마트 모듈입니다.

2. 주요 기술 사양

제어 방식: 가속도 센서 연동 가변 주파수 드라이브(VFD) 제어

통신 프로토콜: 산업용 무선 LAN 및 전용 제어 네트워크 연동

진동 억제: 진동 감쇄 알고리즘 적용으로 웨이퍼 이탈 방지

동기화: 선후행 OHT 간 거리 유지 및 추돌 방지 알고리즘

3. 용도 및 특성

직선 구간 고속 주행 및 곡선/교차 구간 가변 감속을 통한 리드타임 단축

적재된 FOUP 내 웨이퍼의 미세 위치 이탈(Slide-out) 현상 방지

설비 유지보수 구간의 자동 우회 및 속도 제한 관리

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-009호

제품명: AI 기반 포토마스크 오염 자동 진단 시스템

모델명: RXO-MASK-CHECKER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 노광 공정의 핵심 자재인 포토마스크 표면의 미세 오염 및 페리클(Pellicle) 손상을 AI 비전 기술로 자동 판독하여 불량 전이 사고를 방지하는 검사 장비입니다.

2. 주요 기술 사양

검사 기술: 고해상도 투과/반사광 동시 분석 기술

AI 모델: CNN(합성곱 신경망) 기반 이물질 및 패턴 결함 분류

최소 탐지 크기: 20nm 급 극미세 이물질 및 스크래치

데이터 관리: 검사 이력 디지털화 및 세정 주기 자동 알림

3. 용도 및 특성

노광기 장착 전 포토마스크의 무결성 전수 검사

오염물질 종류 분석을 통한 발생 원인(공정 유래 등) 역추적 지원

수동 검사 대비 분석 시간 80% 단축 및 판독 오류 제로화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-010호

제품명: 지능형 반도체 칠러 냉각 효율 최적화기

모델명: RXO-CHILLER-OPT

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 공정 장비의 온도를 일정하게 유지하는 칠러(Chiller)의 냉각 사이클을 지능적으로 제어하여, 냉각 효율을 극대화하고 전력 소모를 최소화하는 에너지 절감형 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

제어 방식: 인버터 압축기 정밀 회전수 제어

온도 안정성: 부하 변동 시에도 ±0.1°C 이내의 정밀 온도 관리

모니터링: 냉매 압력, 순환 유량, 입/출구 온도 실시간 분석

에너지 절감: 기존 정속형 칠러 대비 전력비 최대 20% 절감

3. 용도 및 특성

식각, 노광 장비 등 고발열 공정의 안정적인 열 부하 처리

냉매 누설 및 부품 노후도 자동 진단을 통한 사고 예방

스마트 팩토리 에너지 대시보드와 데이터 연동 지원

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-011호

제품명: IoT 기반 진공 펌프 소음 및 진동 분석기

모델명: RXO-PUMP-DIAG

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 라인 하부(Sub-fab)에 위치한 진공 펌프의 구동 소음과 진동 패턴을 수집하여 기계적 결함이나 진공도 저하 징후를 실시간으로 분석하는 진단 장비입니다.

2. 주요 기술 사양

센서 유형: 고감도 가속도 센서 및 광대역 음향 센서

분석 방식: FFT(Fast Fourier Transform) 기반 주파수 스펙트럼 분석

통신 인터페이스: 산업용 무선 메쉬망 또는 RS-485 연동

진단 기능: 베어링 마모, 불균형(Unbalance), 가스 역류 등 자동 식별

3. 용도 및 특성

진공 펌프의 돌발 정지에 의한 공정 사고 예방

소음 데이터를 활용한 부품 교체 주기(MTBF) 정밀 산출

원격 모니터링을 통한 엔지니어의 현장 순회 점검 업무 효율화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-012호

제품명: AI 기반 극자외선(EUV) 노광 패턴 왜곡 보정기

모델명: RXO-EUV-CORRECTOR

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 차세대 미세 공정인 EUV 노광 시 발생하는 광원의 반사 왜곡과 마스크 패턴 변형을 AI 시뮬레이션으로 보정하여 설계 도면과 동일한 패턴이 웨이퍼에 구현되도록 돕는 소프트웨어 유닛입니다.

2. 주요 기술 사양

보정 기술: 딥러닝 기반 OPC(Optical Proximity Correction) 최적화

연산 속도: GPU 병렬 연산을 통한 대규모 레이아웃 실시간 처리

정밀도: 옹스트롬(Å) 단위의 선폭(CD) 오류 보정

호환성: 글로벌 주요 노광 장비사의 노출 파라미터 연동

3. 용도 및 특성

5nm 이하 초미세 반도체 공정의 패턴 충실도(Fidelity) 확보

반복적인 마스크 수정 비용 및 공정 셋업 시간 획기적 단축

웨이퍼 전면의 선폭 균일도 향상을 통한 칩 성능 상향 평준화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-013호

제품명: 지능형 반도체 테스트 핸들러 정밀 제어 보드

모델명: RXO-HAND-CTRL-PRO

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 최종 검사 공정에서 패키지된 칩을 테스트 소켓으로 이송하는 핸들러의 움직임을 제어하는 핵심 보드입니다. 고속 주행 시의 관성을 제어하고 안착 정밀도를 높여 칩 파손을 방지합니다.

2. 주요 기술 사양

프로세서: 고성능 FPGA 및 실시간 OS(RTOS) 탑재

제어 축 수: 최대 16축 동시 동기 제어 지원

안착 정밀도: ±10μm 이내의 고정밀 위치 제어

부가 기능: 소켓 접촉 압력 실시간 감지 및 피드백 제어

3. 용도 및 특성

대량 양산용 고속 테스트 핸들러의 핵심 제어부

고온/저온 테스트 환경에서의 기계적 열변형 보정 기능

모듈화 설계를 통한 장비 유지보수 편의성 극대화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-014호

제품명: IoT 연동 가스 캐비닛 실시간 압력 감지 센서

모델명: RXO-GASCAB-SENSE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 가스 공급실 내 캐비닛에 장착되어 공급 가스의 잔량과 압력 변화를 상시 모니터링하는 센서입니다. 가스 소진 전 자동 알림을 통해 공정 중단 없는 연속 생산을 지원합니다.

2. 주요 기술 사양

측정 범위: 0 ~ 300 bar (고압 실린더 대응)

정밀도: 풀 스케일 대비 ±0.25% 이내의 고정밀 측정

출력 방식: 4-20mA 아날로그 및 디지털 IoT 통신 동시 지원

방폭 등급: Ex d IIC T6 수준의 산업용 방폭 인증 설계 준수

3. 용도 및 특성

공정용 특수가스의 실시간 잔량 트래킹 및 교체 시기 예측

압력 급하강 감지를 통한 가스 배관 누출 사고 차단 연동

다수 가스 캐비닛의 통합 관리 대시보드 구축 지원

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-015호

제품명: AI 기반 반도체 생산 수율(Yield) 예측 엔진

모델명: RXO-YIELD-AI-ENGINE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼 투입부터 최종 테스트까지 발생하는 수백 개의 공정 변수(Parameter)를 분석하여 최종 수율을 미리 예측하고, 수율 하락의 근본 원인(Root Cause)을 찾아내는 빅데이터 분석 엔진입니다.

2. 주요 기술 사양

분석 알고리즘: 앙상블 학습 및 상관관계 분석 기반 머신러닝 엔진

데이터 통합: MES, EDS, Test 데이터를 통합한 가상 데이터 레이크 구축

예측 정확도: 과거 데이터 학습 시 95% 이상의 예측 신뢰도 확보

보고서 기능: 장비별, 공정별 수율 기여도 자동 리포팅

3. 용도 및 특성

신공정 도입 초기 수율 램프업(Ramp-up) 기간 단축

특정 장비의 미세 산포에 의한 수율 저하 현상 사전 탐지

경영진을 위한 생산 실적 및 수율 전망 지표 실시간 제공

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-016호

제품명: 지능형 후공정 솔더볼 결함 딥러닝 검사기

모델명: RXO-SOLDER-VISION

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 패키지 밑면에 부착된 솔더볼(Solder Ball)의 크기, 형상, 누락 여부를 AI 비전으로 검사하는 장비입니다. 3D 검사 기술을 결합하여 솔더볼의 높이 편차까지 완벽하게 잡아냅니다.

2. 주요 기술 사양

검사 항목: 솔더볼 미부착, 브릿지(쇼트), 볼 크기 불량, 높이 불량

카메라: 고해상도 2D/3D 하이브리드 비전 시스템

분석 속도: 패키지 당 0.2초 이내의 초고속 결함 판독

정확도: 가성 불량(Over-kill) 0.5% 미만 유지

3. 용도 및 특성

BGA, CSP 등 첨단 패키징 제품의 최종 외관 검사

딥러닝을 통한 비정형 솔더 오염물질 자동 구분 능력 보유

불량 데이터를 활용한 상위 볼 마운트(Ball Mount) 장비 보정 피드백

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-017호

제품명: IoT 기반 반도체 공정 폐수 유해 성분 분석기

모델명: RXO-WATER-MONITOR

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 공정 후 배출되는 폐수 내의 화학 물질 농도와 유해 성분을 실시간으로 자동 분석하는 장치입니다. 환경 규제 준수 및 폐수 처리 시스템의 효율적 운영을 지원합니다.

2. 주요 기술 사양

측정 항목: pH, 전도도, 중금속 이온, 불소(F) 농도 등

센서 기술: 전기화학 및 흡광 광도법 융합 센싱

전송 주기: 1분 단위 실시간 데이터 업데이트 및 클라우드 저장

자가 진단: 센서 오염도 자동 체크 및 자동 세정 기능 탑재

3. 용도 및 특성

반도체 폐수 처리장의 수질 모니터링 및 방류수 관리

유해 물질 고농도 유입 시 비상 차단 밸브 연동

ESG 경영을 위한 수자원 관리 데이터 자동 이력화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-018호

제품명: AI 기반 리소그래피 광원 안정성 유지 장치

모델명: RXO-LIGHT-STABILIZER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 노광 공정 중 광원(Excimer Laser 등)의 세기와 파장이 미세하게 흔들리는 것을 실시간으로 감지하고, AI 제어를 통해 최적의 에너지를 웨이퍼에 조사하도록 유지하는 보정 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

제어 파라미터: 레이저 펄스 에너지, 파장 중심도, 대역폭 최적화

학습 데이터: 장비별 노출(Exposure) 기록 및 환경 변수 통합 학습

응답성: 10kHz 이상의 초고속 피드백 제어 시스템

정밀도: 에너지 변동률 0.5% 이내 제어

3. 용도 및 특성

노광 공정 내 선폭(CD) 균일성 확보 및 오버레이 오류 감소

광원 소모품의 노후화에 따른 출력 저하를 소프트웨어로 보정

장시간 연속 가동 시에도 일관된 노광 품질 보장

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-019호

제품명: 지능형 웨이퍼 평탄도 초정밀 측정 시스템

모델명: RXO-WAFER-FLAT-Z

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼 표면의 물리적 높이 편차와 전체적인 평탄도(Flatness)를 나노미터 단위로 측정하는 장비입니다. 공정 전후의 웨이퍼 변형을 분석하여 후속 공정의 정밀도를 담보합니다.

2. 주요 기술 사양

측정 방식: 비접촉식 광 간섭계(Interferometer) 기반 3D 스캔

분해능: 수직 방향 0.1nm, 수평 방향 10μm 이하

측정 항목: Warp, Bow, TTV(Total Thickness Variation)

데이터 시각화: 웨이퍼 전면 평탄도 히트맵 및 3D 모델링 제공

3. 용도 및 특성

연마(CMP) 및 열처리 공정 후 웨이퍼 변형도 정밀 측정

미세 패턴 형성 전 웨이퍼의 적합성 판정

측정 데이터를 공정 장비로 피드백하여 기계적 수평도 자동 보정 유도

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-020호 제품명: IoT 연동 클린룸 지능형 공조 에너지 세이버 모델명: RXO-CLEAN-AIR-SAVER 등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 클린룸의 온습도 및 차압 상태를 실시간 센싱하여, 최소한의 에너지로 청정도를 유지하도록 공조기(AHU)와 팬 필터 유닛(FFU)을 최적으로 제어하는 에너지 최적화 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

제어 알고리즘: 다변수 예측 제어(MPC) 및 에너지 최적화 로직

센서 연동: 온습도, 압력, 입자 농도 센서와의 무선 동기화

운용 방식: 설비 가동 상태에 따른 구역별 맞춤형 풍량 조절

절감 지표: 기존 공조 운영 방식 대비 연간 전력비 15~25% 절감

3. 용도 및 특성

반도체 팹 전체 에너지 소비량의 큰 비중을 차지하는 공조 시스템 효율화

계절별, 시간별 외부 기온 변화를 고려한 선제적 냉난방 조절

이상 기류 발생 시 즉각적인 풍량 보정으로 파티클 유입 차단

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-021호

제품명: AI 기반 반도체 설계용 자동 레이아웃 최적화기

모델명: RXO-EDA-LAYOUT-V1

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 회로 설계 데이터를 실제 칩 배선으로 전환하는 레이아웃 공정에서, 신호 간섭(Crosstalk)과 면적 손실을 최소화하도록 AI가 수백만 개의 경우의 수를 분석하여 최적의 배치 도면을 생성하는 소프트웨어입니다.

2. 주요 기술 사양

핵심 엔진: 그래프 신경망(GNN) 기반 레이아웃 탐색 알고리즘

최적화 항목: 배선 길이 단축, 전력 소모(PPA) 최적화, 발열 밀도 분산

지원 포맷: GDSII, OASIS 등 표준 설계 포맷 완벽 호환

연산 환경: 클라우드 기반 병렬 컴퓨팅 가속 지원

3. 용도 및 특성

반도체 설계 기간(TAT) 단축 및 칩 면적 효율 극대화

숙련된 설계 엔지니어의 노하우를 학습하여 휴먼 에러 방지

미세 공정 디자인 룰(Design Rule) 자동 준수 및 검증 연동

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-022호

제품명: 지능형 스퍼터링 공정 플라즈마 모니터링 센서

모델명: RXO-PLASMA-EYE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 PVD(물리 기상 증착) 공정의 핵심인 플라즈마 상태를 실시간으로 빛의 파장을 통해 분석하는 센서입니다. 플라즈마의 불안정성을 감지하여 증착막의 품질 변동을 방지합니다.

2. 주요 기술 사양

측정 기술: 광학 방출 분광법(OES) 기반 다중 파장 분석

샘플링 속도: 10ms 단위 초고속 파장 스캔

분석 항목: 전자 온도, 이온 밀도, 잔류 가스 성분비

내구성: 플라즈마 및 강한 전자기파 노이즈 환경용 차폐 설계

3. 용도 및 특성

증착막의 두께 균일도 및 물성 변화 사전 예측

타겟(Target) 소모 상태 모니터링 및 교체 시기 최적화

이상 플라즈마(Arcing) 발생 시 장비 인터락(Interlock) 연동으로 웨이퍼 보호

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-023호

제품명: IoT 기반 반도체 리드프레임 불량 자동 검사기

모델명: RXO-LEAD-INSPECT

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 패키징 자재인 리드프레임의 미세한 휨, 표면 얼룩, 도금 불량 등을 고속 비전 카메라와 IoT 센서로 자동 검출하는 전수 검사 장비입니다.

2. 주요 기술 사양

검사 속도: 분당 500 스트립 이상의 고속 연속 검사

해상도: 5μm 급 미세 크랙 및 표면 스크래치 탐지

IoT 기능: 검사 결과 실시간 데이터베이스 전송 및 불량 유형 자동 통계

검사 항목: 리드 휨(Lead Sweep), 이물(Burr), 산화(Oxidation) 등

3. 용도 및 특성

리드프레임 공급사 및 후공정 라인의 수입/출하 검사 자동화

딥러닝 기반 가성 불량 판별 알고리즘으로 과검출 최소화

공정 데이터와 연동하여 리드프레임 변형 원인 분석 지원

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-024호

제품명: AI 기반 반도체 장비 부품 마모 주기 예측기

모델명: RXO-PART-LIFECYCLE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 장비 내부의 소모성 부품(O-ring, Seal, 노즐 등)의 실제 마모 상태를 가동 로그와 센서 데이터를 통해 학습하고, 실제 교체가 필요한 시점을 정확히 예측하는 지능형 관리 솔루션입니다.

2. 주요 기술 사양

입력 데이터: 공정 압력 변화, 온도 사이클, 가동 시간, 약품 노출량

알고리즘: 베이지안 통계 및 딥러닝 기반 잔여 수명 예측

사용자 UI: 부품별 잔여 수명 퍼센트(%) 및 예상 교체일 시각화

연동: MES/ERP 시스템과 연동한 소모품 자동 발주 기능 지원

3. 용도 및 특성

정기 교체 방식 대비 부품 수명 20~30% 연장 사용 가능

부품 파손에 의한 갑작스러운 장비 정지 및 웨이퍼 손실 방지

유지보수 전문 인력의 효율적 작업 스케줄링 지원

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-025호

제품명: 지능형 웨이퍼 베벨 결함 실시간 탐지 모듈

모델명: RXO-BEVEL-SENSE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼의 가장자리(Bevel) 부분에 발생하는 미세한 칩핑(Chipping), 크랙, 오염을 공정 사이 이송 과정에서 실시간으로 스캔하여 후속 공정의 대형 파손 사고를 예방하는 모듈입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 기술: 경사면 전용 고심도 카메라 및 조명 시스템

검사 범위: 웨이퍼 에지(Edge), 최상단 베벨, 측면 베벨 전체

알림 기능: 칩핑 발생 시 즉각적인 로봇 정지 명령 발송

데이터 관리: 웨이퍼별 베벨 상태 이미지 저장 및 트래킹

3. 용도 및 특성

박막 공정 시 가장자리 박리(Peeling) 현상 사전 탐지

이송 로봇의 그리핑 불량에 의한 베벨 손상 유무 확인

웨이퍼 전면 파손(Wafer Break)으로 이어지는 근본 원인 제거

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-026호

제품명: IoT 연동 클린룸 방진복 세척 상태 감지 센서

모델명: RXO-GARMENT-IoT

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 클린룸 출입 인원이 착용하는 방진복의 정전기 방지 성능과 미세 파티클 잔류량을 세탁 후 또는 출입 전 자동으로 측정하여 의류에 의한 오염 유발을 원천 차단하는 관리 센서입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 항목: 표면 저항(정전기), 잔류 입자 농도, 세탁 횟수(RFID 연동)

인증 방식: 기준 미달 의류 착용 시 에어샤워 및 출입문 연동 차단

데이터 전송: BLE 또는 Wi-Fi를 통한 개인별 방진복 상태 이력 관리

센서 정확도: IEC 61340-5-1 표준 정전기 측정 규격 준수

3. 용도 및 특성

방진복 노후화에 따른 파티클 발생 및 정전기 파괴(ESD) 예방

의류 관리 효율화로 클린룸 운영 품질 상향 평준화

작업자별 방진복 교체 주기 자동 알림 시스템 구축

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-027호

제품명: AI 기반 웨이퍼 이송 로봇 경로 최적화 소프트웨어

모델명: RXO-ROBO-PATH-AI

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 공정 장비 내부 및 EFEM(Equipment Front End Module)에서 웨이퍼를 옮기는 로봇 팔의 움직임을 AI가 분석하여, 진동은 줄이고 이송 속도는 극대화하는 최적의 궤적을 실시간으로 계산하는 제어 엔진입니다.

2. 주요 기술 사양

알고리즘: 강화학습 기반 최소 가속도(Jerk) 궤적 생성 기술

기능: 실시간 부하 변동에 따른 진동 감쇄(Vibration Suppression)

처리 성능: 웨이퍼 이송 시간(Takt Time) 10% 이상 단축

호환성: 글로벌 주요 산업용 로봇 컨트롤러 인터페이스 지원

3. 용도 및 특성

고속 이송 시 발생하는 미세 진동에 의한 웨이퍼 스크래치 방지

로봇 기계부의 스트레스 감소로 구동축 수명 연장

장비 전체의 처리량(Throughput) 향상을 통한 생산성 증대

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-028호

제품명: 지능형 반도체 케미컬 농도 실시간 보정기

모델명: RXO-CHEM-ALGO-V3

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 세정(Cleaning) 및 식각 공정에 사용되는 화학 약품의 농도가 시간이 지남에 따라 변하는 것을 실시간으로 정밀 측정하고, 목표 농도에 맞게 자동으로 원액이나 초순수를 투입하여 보정하는 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 센서: 초음파 속도 또는 굴절률 기반 비접촉식 농도 측정

제어 정밀도: 설정 농도 대비 ±0.01% 이내 실시간 보정

입력 항목: 온도 보정 알고리즘 내장으로 액온 변화에 무관한 측정

대응 약품: SC-1, SC-2, HF, DSP 등 주요 반도체용 케미컬

3. 용도 및 특성

약품 농도 산포에 의한 식각 속도(Etch Rate) 및 품질 변동 제거

케미컬 전량 교체 주기를 늘려 약품 구매 비용 및 폐수 처리비 절감

수동 농도 측정 업무 자동화로 공정 관리 정밀도 향상

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-029호

제품명: IoT 기반 노광기 렌즈 열변형 정밀 측정 센서

모델명: RXO-LENS-THERMAL

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 노광 공정 중 강한 광원에 노출되는 렌즈 시스템의 미세한 온도 상승과 그로 인한 형상 변형을 실시간으로 감지하는 고정밀 센서 유닛입니다. 노광 해상도 저하를 방지하기 위한 핵심 데이터를 제공합니다.

2. 주요 기술 사양

측정 정밀도: 0.001°C 단위의 온도 분해능 및 나노미터 급 변위 감지

센서 기술: 광섬유 브래그 격자(FBG) 또는 초소형 RTD 어레이

데이터 전송: 장비 제어기와 실시간 동기화 (Low Latency 통신)

내구성: 자외선(UV) 및 방사능 노출 환경 성능 저하 방지 설계

3. 용도 및 특성

장시간 가동 시 발생하는 렌즈 가열(Lens Heating) 현상 실시간 보정

수차(Aberration) 발생 징후 포착 및 노광 파라미터 자동 튜닝 연동

고가의 노광 렌즈 시스템의 열적 안정성 및 수명 모니터링

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-030호

제품명: AI 기반 반도체 공급망 리스크 조기 경보 서버

모델명: RXO-SCM-WARNER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 원자재 가격, 물류 지수, 지정학적 이슈, 공급사 가동률 등 방대한 외부 데이터를 AI가 실시간으로 수집 및 분석하여 반도체 생산에 필요한 자재 수급 리스크를 사전에 경고하는 기업용 서버 솔루션입니다.

2. 주요 기술 사양

데이터 수집: 뉴스, 시장 리포트, 물류 API, 내부 재고 데이터 통합 분석

핵심 기술: 자연어 처리(NLP) 기반 리스크 키워드 추출 및 영향도 평가

예측 범위: 주요 원자재(희귀가스, 웨이퍼 등) 수급 안정성 및 가격 변동

알림 등급: 주의, 경계, 심각 3단계 자동 경보 발령

3. 용도 및 특성

원자재 수급난 발생 전 안전 재고 선제적 확보 지원

공급망 다변화 및 대체 자재 탐색 의사결정 근거 제공

기업 경영진을 위한 글로벌 공급망 통합 리스크 대시보드 구현

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-031호

제품명: 지능형 웨이퍼 다이싱 톱날 마모도 자동 측정기

모델명: RXO-BLADE-MONITOR

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼를 개별 칩으로 자르는 다이싱(Dicing) 공정에서 사용하는 다이아몬드 톱날(Blade)의 마모 상태와 돌출 높이를 비접촉 광학 센서로 자동 측정하여 교체 시기를 정밀하게 관리하는 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 기술: 고해상도 레이저 변위 센서 및 비전 프로파일링

정밀도: ±1μm 이내의 톱날 마모량 및 유효 반경 측정

기능: 공정 사이 자동 측정 및 마모량에 따른 절삭 깊이(Depth) 자동 보정

알람: 비정상 마모 또는 톱날 파손(Chipping) 즉시 감지

3. 용도 및 특성

톱날 노후화에 의한 웨이퍼 이면 깨짐(Backside Chipping) 불량 예방

소모품 교체 주기 최적화로 생산 원가 절감

다양한 두께와 재질의 다이싱 톱날 사양 자동 인식 및 이력 관리

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-032호

제품명: IoT 연동 반도체 설비 가동율 분석 엣지 컴퓨팅

모델명: RXO-EDGE-OEE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 장비에서 발생하는 초고속 로그 데이터를 현장에서 즉시 수집하고 분석하여, 설비의 실시간 종합 효율(OEE)과 비가동 원인을 시각화하는 지능형 엣지 서버입니다.

2. 주요 기술 사양

프로세싱: 엣지 단에서의 실시간 데이터 필터링 및 통계 처리

인터페이스: SECS/GEM, OPC-UA, 디지털 I/O 등 통합 연결

분석 항목: 가동 시간, 성능 효율, 양품률 기반 OEE 자동 산출

보안: 팹 내부망 보안 규정을 준수하는 하드웨어 암호화 칩 탑재

3. 용도 및 특성

상위 시스템(MES)의 부하를 줄이면서 초단위의 설비 상태 모니터링 구현

병목 설비 탐지 및 비가동 사유(유지보수, 자재 대기 등) 자동 분류

수집된 데이터를 기반으로 한 장비 생산성 향상 컨설팅 리포트 생성

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-033호

제품명: AI 기반 3D 낸드 적층 결함 자동 분석 시스템

모델명: RXO-3D-NAND-AI

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 수백 층으로 쌓아 올리는 3D 낸드플래시 공정에서 발생하는 수직 채널 구멍(Channel Hole)의 휨, 미개방, 연결 불량 등을 비파괴 검사 데이터를 통해 AI가 분석하는 고난도 솔루션입니다.

2. 주요 기술 사양

데이터 소스: 고해상도 X-ray 또는 전자현미경(SEM) 이미지 데이터

핵심 기술: 3D 구조체 내부의 가시화되지 않는 결함 추론 알고리즘

분석 범위: 적층 간 패턴 정렬(Overlay) 및 채널 수직도 분석

처리 성능: 딥러닝 가속기를 통한 대용량 이미지 패턴 초고속 분류

3. 용도 및 특성

고단화되는 3D 낸드 공정의 수율 확보를 위한 핵심 분석 도구

적층 공정 중 발생하는 구조적 불량의 원인 파악 및 공정 레시피 피드백

샘플링 검사 데이터를 전수 검사 수준의 신뢰도로 확장하는 통계 모델 제공

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-034호

제품명: 지능형 반도체 빔 스캐닝 정밀도 제어 모듈

모델명: RXO-BEAM-STEER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 이온 주입(Ion Implantation)이나 전자빔 검사 장비에서 빔의 궤적을 제어하는 편향 코일의 전류를 지능적으로 조절하여, 빔이 목표 지점에 나노미터 급 오차로 도달하게 하는 제어 모듈입니다.

2. 주요 기술 사양

출력 정밀도: 20비트 이상의 고해상도 전류 제어

보정 알고리즘: 주변 전자기파 간섭 및 지자기 보정 로직 내장

응답 속도: 마이크로초(μs) 단위의 초고속 빔 위치 전환

안정성: 장시간 가동 시의 열 드리프트(Drift) 자동 보정 기능

3. 용도 및 특성

웨이퍼 전면의 이온 주입 균일도 개선으로 소자 특성 산포 축소

전자빔 검사 시 이미지 왜곡 방지로 결함 탐지 정확도 향상

고가 빔 소스 장비의 정밀도 캘리브레이션 주기 연장

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-035호

제품명: IoT 기반 반도체 원자재 실시간 재고 추적 센서

모델명: RXO-RAW-TRACKER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 창고 및 현장에 보관된 웨이퍼 박스, 케미컬 드럼, 스페어 파츠 등의 위치와 수량을 IoT 센서로 실시간 추적하여 재고 관리의 투명성을 높이고 오피킹을 방지하는 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

인식 기술: 초소형 RFID, UWB(초광대역) 실내 측위 기술 융합

측위 정밀도: 실내 환경 내 30cm 이내의 위치 오차 구현

센서 노드: 5년 이상 지속되는 배터리 수명 및 화학 내성 케이싱

연동: 기존 창고관리시스템(WMS) 및 ERP와의 API 연동

3. 용도 및 특성

수만 개의 스페어 파츠 중 필요한 부품의 즉각적인 위치 파악

위험 약품의 보관 구역 이탈 시 자동 경보 발령 및 안전 관리

실시간 재고 수준 모니터링을 통한 적기 공급(JIT) 체계 완성

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-036호

제품명: AI 기반 반도체 공정 가스 배출량 탄소 측정기

모델명: RXO-CARBON-EYE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 공정 후 스크러버(Scrubber)를 거쳐 배출되는 배기 가스 내의 온실가스 성분을 실시간 측정하고, 실제 탄소 배출량을 AI가 계산하여 ESG 지표를 산출하는 지능형 계측기입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 기술: 비분산 적외선(NDIR) 또는 레이저 분광법 기반 가스 분석

감지 성분: CF4, SF6, NF3 등 반도체 주요 온실가스(PFCs)

분석 알고리즘: 유량과 농도를 결합한 실시간 탄소 배출 당량(CO2eq) 계산

정밀도: 법적 배출 기준 감시를 위한 0.1ppm 단위 정밀 계측

3. 용도 및 특성

실시간 탄소 배출량 모니터링을 통한 RE100 및 탄소중립 목표 관리

스크러버 정화 효율 실시간 감시 및 노후도 진단

투명한 환경 데이터 이력 관리를 통한 대외 공신력 확보

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-037호

제품명: 지능형 웨이퍼 가장자리 세정 상태 비전 검사기

모델명: RXO-EDGE-CLEAN-V

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 세정 공정 후 웨이퍼 가장자리(Edge) 및 배면(Backside)에 잔류하는 약품 얼룩(Stain)이나 미세 파티클을 특수 광학계를 통해 자동 검사하는 장비입니다.

2. 주요 기술 사양

광학계: 난반사 방지를 위한 다각도 암시야(Dark-field) 조명 탑재

검사 항목: 워터 마크, 케미컬 잔류물, 에지 칩핑, 박리 현상

분석 알고리즘: 딥러닝 기반 얼룩 패턴 인식 및 불량 등급 분류

처리 성능: 세정 장비 내 인라인(In-line) 장착 가능한 콤팩트 설계

3. 용도 및 특성

후속 노광 및 식각 공정에서 에지 오염에 의한 척(Chuck) 오염 방지

세정 노즐의 분사 각도 및 압력 최적화를 위한 데이터 피드백

가장자리 품질 불량에 의한 웨이퍼 전면 수율 저하 현상 차단

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-038호

제품명: IoT 연동 반도체 공장 화재 감지용 열화상 센서

모델명: RXO-THERMAL-FIRE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 배전반, 가스 배관, 고온 장비 구역 등 화재 위험이 높은 곳에 설치되어, 연기 발생 전 단계의 미세한 온도 이상 상승을 열화상 비전과 IoT 기술로 조기에 감지하는 화재 예방 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

센서 유형: 고해상도 비냉각식 적외선 열화상 이미지 센서

감지 정밀도: 0.1°C 단위의 온도 변화 감지 및 이상 발열 구역 자동 추적

알람 기능: 설정 온도 초과 시 즉각적인 관제실 영상 전송 및 비상 통보

환경 적응: 클린룸 내 전자기파 간섭 방지 및 기류 변화 보정 알고리즘

3. 용도 및 특성

설비 내부 배선의 과부하에 의한 과열 상태 실시간 모니터링

24시간 무인 감시를 통한 야간 및 사각지대 화재 리스크 제거

사고 발생 시 정확한 발화 지점 및 확산 경로 분석 지원

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-039호

제품명: AI 기반 반도체 소자 특성 시뮬레이션 가속기

모델명: RXO-DEVICE-ACCEL

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 새로운 반도체 소자 설계 시 물리적 구조에 따른 전기적 특성(V-I 커브 등)을 시뮬레이션하는 데 걸리는 막대한 시간을 AI 머신러닝 모델을 통해 수만 배 이상 단축시키는 가속 솔루션입니다.

2. 주요 기술 사양

기술 방식: 물리 기반 AI(Physics-Informed Neural Networks) 모델 적용

가속 성능: 기존 TCAD 시뮬레이션 대비 최대 10,000배 빠른 연산

정확도: 물리 시뮬레이션 결과 대비 99% 이상의 일치성 확보

적용 분야: FinFET, GAA, 차세대 화합물 반도체 구조 분석

3. 용도 및 특성

신제품 설계 최적화를 위한 수천 개의 파라미터 조합 고속 탐색

실험 계획법(DOE) 비용 절감 및 개발 기간(Time-to-Market) 획기적 단축

시뮬레이션 결과와 실제 측정 데이터 간의 갭 분석 및 모델 자동 보정

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-040호

제품명: 지능형 전력 반도체 효율 측정 및 테스트 벤치

모델명: RXO-POWER-TESTER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 전기차 및 에너지 산업용 SiC, GaN 등 전력 반도체의 변환 효율, 내전압 성능, 열적 안정성을 극한의 환경에서 정밀 테스트하는 지능형 검사 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

전압/전류: 최대 3,000V / 1,000A 급 고전압/대전류 동시 측정 지원

온도 제어: -55°C ~ 200°C 범위의 고속 온도 사이클 테스트 환경

데이터 수집: 나노초(ns) 단위의 스위칭 특성 분석 및 파형 기록

안전 설계: 고전압 아크 방지 및 비상 차단 인터락 시스템

3. 용도 및 특성

차세대 전력 반도체의 동적/정적 특성 전수 검사 및 신뢰성 평가

가혹 환경 테스트 데이터 분석을 통한 소자 수명 예측 모델링

양산 라인 자동 핸들러와 연동 가능한 고속 테스트 인터페이스 제공

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-041호

제품명: IoT 기반 반도체 이송 용기(FOUP) 상태 추적기

모델명: RXO-FOUP-TRACKER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼가 담긴 이송 용기(FOUP)의 위치, 내부 습도, 산소 농도 및 충격 여부를 실시간으로 감시하는 스마트 태그 시스템입니다. 이송 중 발생할 수 있는 환경적 오염 및 물리적 충격을 방지합니다.

2. 주요 기술 사양

센서 구성: 정밀 온습도 센서, 3축 가속도(충격) 센서, O2 센서

통신 기술: 클린룸 내 신호 간섭이 적은 고정밀 위치 추적(UWB) 기술

배터리: 무선 충전 방식 및 1년 이상의 가동 수명 확보

데이터 관리: 이동 경로 및 환경 변화 이력의 블록체인 기반 무결성 저장

3. 용도 및 특성

대기 중인 웨이퍼의 자연 산화 방지를 위한 내부 퍼지(Purge) 상태 감시

OHT 이송 시 발생하는 비정상 충격 지점 자동 파악 및 장비 정비 유도

공정 간 체류 시간(Q-Time) 자동 관리 및 경보 시스템 구현

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-042호

제품명: AI 기반 반도체 설계 오류(DRC) 자동 수정 엔진

모델명: RXO-DRC-FIXER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 설계 룰 체크(Design Rule Check) 과정에서 발견된 수만 개의 레이아웃 오류를 AI가 유형별로 분석하여, 설계 의도를 유지하면서도 공정 제약 조건을 만족하도록 자동으로 수정하는 엔진입니다.

2. 주요 기술 사양

핵심 기술: 딥러닝 기반 레이아웃 패턴 보정 및 자동 라우팅 최적화

수정 속도: 엔지니어 수동 작업 대비 50배 이상의 리터치 속도 구현

정확도: 수정 후 2차 DRC 통과율 99.9% 이상 확보

호환성: 주요 EDA 툴(Cadence, Synopsys 등)과의 플러그인 연동

3. 용도 및 특성

미세 공정 도입 시 급증하는 복잡한 설계 룰 위반 사항의 고속 해결

설계 엔지니어의 단순 반복 업무 제거로 제품 출시 주기 단축

최적의 배선 간격 확보를 통한 칩의 전기적 특성 및 수율 향상

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-043호

제품명: 지능형 클린룸 무인 반송 로봇 자율 충전기

모델명: RXO-AUTO-CHARGE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 클린룸 내에서 가동되는 AMR, OHT 등 다양한 무인 반송 로봇의 배터리 상태를 모니터링하고, 가동에 지장이 없는 최적의 시간에 비접촉 방식으로 자율 충전을 수행하는 스마트 스테이션입니다.

2. 주요 기술 사양

충전 방식: 고효율 무선 자기공명 방식 (접촉 마모에 의한 파티클 발생 제로)

제어 시스템: 로봇 스케줄링 시스템과 연동한 우선순위 충전 알고리즘

전력 관리: 피크 시간대 회피 충전 및 배터리 수명 연장 최적화 알고리즘

안전 기능: 충전 중 이물질 침입 시 자동 차단 및 열화상 과열 감지

3. 용도 및 특성

물류 로봇의 인위적 개입 없는 24시간 연속 가동 체계 구축

충전 스테이션 근처의 병목 현상 방지를 위한 지능형 대기열 관리

배터리 열화 상태 분석을 통한 교체 주기 리포팅 서비스 제공

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-044호

제품명: IoT 연동 반도체 장비 압력 밸브 리모트 컨트롤

모델명: RXO-VALVE-REMOTE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 진공 라인 및 가스 배관에 설치된 수동 또는 반자동 밸브의 개폐 정도를 원격에서 미세 조절하고 상태를 모니터링할 수 있게 하는 IoT 전동 액추에이터 및 제어 모듈입니다.

2. 주요 기술 사양

제어 정밀도: 스텝 모터 기반 0.1도 단위의 밸브 개도 조절

통신 기술: 보안이 강화된 무선 산업용 프로토콜 탑재

상태 피드백: 밸브의 실제 위치, 구동 토크, 마모 상태 실시간 전송

비상 대응: 통신 단절 시 설정된 안전 위치(Fail-safe)로 자동 복귀

3. 용도 및 특성

위험 가스 구역 내 밸브의 원격 조작으로 작업자 안전 확보

공정 레시피에 따른 유량/압력의 실시간 가변 제어 기능 추가

밸브 고착 징후를 토크 변화로 감지하여 사전 정비 안내

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-045호

제품명: AI 기반 웨이퍼 뒷면 결함 탐지 비전 모듈

모델명: RXO-BACK-VISION

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 공정 이송 중 척(Chuck)이나 로봇 암에 의해 웨이퍼 뒷면(Backside)에 발생하는 스크래치, 이물, 미세 오염을 고속 촬영하고 AI로 분석하여 후속 공정의 평탄도 불량을 방지하는 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

검사 기술: 고속 회전 라인 스캔 카메라 및 특수 조명 구조

AI 판독: 배경 노이즈와 실제 결함을 구분하는 딥러닝 필터 기술

연동 기능: 결함 발견 시 해당 웨이퍼를 자동 홀딩(Hold) 처리

검사 항목: 국부적 두께 변화 유발 오염, 물리적 긁힘, 칩핑

3. 용도 및 특성

노광 공정 시 웨이퍼 뒷면 이물에 의한 포커스 에러(Hot Spot) 방지

웨이퍼 전면 품질에 영향을 주는 뒷면 물리 결함의 이력 추적

정기적인 장비 척 세정 시점을 데이터 기반으로 결정 가능

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-046호

제품명: 지능형 반도체 노광 공정 마스크 정렬 센서

모델명: RXO-ALIGN-SENSE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 노광 공정 시 포토마스크와 웨이퍼의 미세한 위치 오차를 서브 나노미터(nm) 단위로 감지하여 보정하는 초고정밀 정렬 센서입니다. 회로 패턴의 중첩(Overlay) 정확도를 결정짓는 핵심 부품입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 기술: 회절 격자 간섭계 기반 위상차 분석 기술

정밀도: 0.5nm 이하의 위치 변위 감지 능력

응답 속도: 스캐닝 노광 중 실시간 보정을 위한 초고속 데이터 피드백

안정성: 열팽창 보정 알고리즘을 통한 장시간 측정 신뢰도 확보

3. 용도 및 특성

다층 회로 적층 시 위아래 패턴 간의 완벽한 정렬 유지

오버레이(Overlay) 산포 최소화를 통한 칩 수율 및 성능 향상

노광 장비의 정렬 캘리브레이션 자동화 지원

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-047호

제품명: IoT 기반 지능형 반도체 금형 온도 분석기

모델명: RXO-MOLD-TEMP

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 패키징 공정의 몰딩(Molding) 단계에서 금형 내부의 온도 분포를 실시간으로 측정하고 분석하는 장치입니다. 불균일한 열 분포에 의한 패키지 크랙이나 변형을 방지합니다.

2. 주요 기술 사양

센서 유형: 금형 삽입형 초소형 고응답 서모커플 어레이

데이터 전송: 고온 환경을 견디는 특수 차폐 통신 모듈 및 IoT 게이트웨이

분석 기능: 구역별 온도 편차 히트맵 생성 및 최적 경화 온도 모니터링

정밀도: ±0.1°C 단위의 실시간 온도 변화 추적

3. 용도 및 특성

몰딩 수지(EMC)의 최적 경화 상태 유지 및 공정 시간 최적화

금형 히터 고장이나 냉각 채널 막힘 현상 조기 발견

제품별 최적 몰딩 온도 프로파일 관리 및 이력 데이터 저장

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-048호

제품명: AI 기반 반도체 제조 실행 시스템(MES) 최적화 봇

모델명: RXO-MES-BOT

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 생산 전체 과정을 관리하는 MES 내의 방대한 로그 데이터를 AI가 24시간 분석하여, 공정 병목 구간을 찾고 최적의 자재 투입 순서를 제안하는 지능형 운영 보조 소프트웨어입니다.

2. 주요 기술 사양

핵심 알고리즘: 강화학습 기반 생산 스케줄링 및 대기행렬 최적화

연동성: 표준 MES 데이터베이스 및 설비 통신망(EAP) 연동

기능: 긴급 오더 투입 시 전체 라인 영향도 시뮬레이션 및 경로 최적화

인터페이스: 자연어 질의응답 기반 생산 현황 보고 및 장애 알림

3. 용도 및 특성

라인 전체의 재공(WIP) 균형 유지 및 설비 가동률 극대화

생산 관리자의 수동 판단 오류 최소화 및 물류 정체 해소

공정 이상 발생 시 실시간으로 최적의 대체 경로 자동 설정

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-049호

제품명: 지능형 웨이퍼 표면 거칠기 나노 분석기

모델명: RXO-NANO-ROUGH

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼 표면의 거칠기(Roughness)를 원자 단위 수준에서 정밀 측정하는 분석 장비입니다. 특히 식각 및 세정 공정 후 표면 상태가 소자 특성에 미치는 영향을 분석하는 데 필수적입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 방식: 원자간력 현미경(AFM) 기술 기반 자동 스캐닝

분해능: 수평/수직 나노미터(nm) 급 해상도 구현

자동화: 웨이퍼 반송 로봇 연동 및 다지점 자동 측정 프로그램 탑재

분석 항목: RMS 거칠기, 최대 높이 편차, 표면 텍스처 분석

3. 용도 및 특성

초미세 배선 공정 전 웨이퍼 표면의 품질 합격 여부 판정

세정액 및 식각 가스 조건에 따른 표면 변형도 정밀 평가

소자의 누설 전류 및 신뢰성에 직결되는 계면 거칠기 관리

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-050호

제품명: IoT 연동 반도체 장비용 실시간 전류 모니터

모델명: RXO-AMP-WATCH

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 장비 내 주요 모터, 펌프, 히터 등 전력 소비 부품의 전류 패턴을 실시간으로 감시하는 센서 노드입니다. 전류 파형 분석을 통해 부품의 전기적 이상과 기계적 부하 상태를 동시에 파악합니다.

2. 주요 기술 사양

센서 기술: 비접촉식 고성능 홀 효과(Hall Effect) 전류 센서

샘플링 속도: 고주파 노이즈 및 과도 현상 분석을 위한 50kHz 이상

통신 프로토콜: 산업용 무선 LAN 및 엣지 서버 연동

분석 기능: 부품별 표준 전류 지문(Signature) 대비 변동분 실시간 탐지

3. 용도 및 특성

모터 베어링 손상이나 기계적 마찰 증가에 따른 전류 상승 감지

히터 단선 징후 및 전원 공급 장치(PSU)의 노후도 진단

장비 가동 단계별 에너지 소비량 분석을 통한 전력 효율화 가이드

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-051호

제품명: AI 기반 차세대 소재 반도체 물성 예측 서버

모델명: RXO-MAT-AI-LAB

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 신규 반도체 소재(고유전율 박막, 신규 전구체 등)의 화학적 조성에 따른 전기적, 열적 물성을 AI 가상 실험을 통해 예측하는 연구 개발용 고성능 서버 솔루션입니다.

2. 주요 기술 사양

기술 방식: 제일원리 계산(First-principles)과 머신러닝의 하이브리드 결합

분석 항목: 밴드갭, 전하 이동도, 열전도도, 공정 안정성 예측

데이터베이스: 수만 건의 소재 실험 데이터 및 논문 추출 정보 통합

인터페이스: 연구자를 위한 웹 기반 시뮬레이션 환경 및 데이터 시각화

3. 용도 및 특성

실제 실험 횟수를 80% 이상 줄여 소재 개발 비용 및 시간 단축

공정 장비 내에서의 소재 증착 결과 및 막질 품질 사전 예측

차세대 반도체(2D 소재, 유기 반도체 등) 후보 물질 발굴 가속화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-052호

제품명: 지능형 반도체 패키징 와이어 본딩 결함 검사기

모델명: RXO-WIRE-INSPECT

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 칩과 기판을 연결하는 미세 금선(Wire)의 연결 상태를 비전 기술로 검사하는 장비입니다. 본딩 점의 위치, 루프의 높이, 단선 여부를 입체적으로 판독합니다.

2. 주요 기술 사양

검사 기술: 멀티 포커싱 3D 비전 및 고해상도 비스듬한 조명 시스템

검사 항목: 본딩 볼 형상, 와이어 루프 높이, 와이어 휨(Sweep), 단선

정밀도: 1μm 단위의 위치 및 높이 편차 측정

속도: 딥러닝 고속 알고리즘으로 본딩 장비와 인라인 연동 가능

3. 용도 및 특성

패키징 공정 후 전기적 연결 불량에 의한 불량품 시장 유출 차단

와이어 본딩 장비의 노즐(Capillary) 마모 상태 실시간 진단 유도

고집적 칩의 복잡한 와이어 레이아웃 자동 인식 및 불량 판별

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-053호

제품명: IoT 기반 반도체 설비 윤활유 교체 시점 센서

모델명: RXO-LUBE-SENSE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 로봇 암, 슬라이더 등 장비 구동부의 윤활유(Grease/Oil) 상태를 실시간 분석하는 센서입니다. 점도 변화, 수분 유입, 금속 가루 함유량을 측정하여 최적의 급유 시점을 알려줍니다.

2. 주요 기술 사양

측정 기술: 광학적 탁도 및 정전용량 방식의 복합 센싱

감지 항목: 윤활유 산화도, 수분 함량, 마찰에 의한 금속 입자 농도

데이터 전송: 배터리 기반 무선 전송 및 설비 관리 대시보드 연동

내환경성: 진동 및 고온 구동부 직접 장착 가능한 견고한 패키징

3. 용도 및 특성

과도한 급유에 의한 오염 방지 및 급유 부족에 의한 기계 고장 예방

실제 오염도 기반 유지보수로 소모품 비용 및 작업 공수 절감

핵심 구동 부품의 수명 연장 및 장비 신뢰성 확보

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-054호

제품명: AI 기반 반도체 공정 레시피 자동 추천기

모델명: RXO-RECIPE-AI

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 목표로 하는 품질(박막 두께, 식각 깊이 등)을 입력하면, AI가 과거 방대한 공정 데이터와 물리 모델을 바탕으로 최적의 장비 가동 조건(레시피)을 자동 생성해주는 소프트웨어입니다.

2. 주요 기술 사양

기술 방식: 베이지안 최적화 및 딥러닝 기반 역설계 알고리즘

입력 변수: 온도, 압력, 가스 유량, 시간, RF 파워 등 다변수 최적화

기능: 신제품 초기 셋업 가이드 및 장비 간 산포 보정 레시피 생성

안전 장치: 설정 가능한 범위를 벗어난 레시피의 장비 입력 차단 기능

3. 용도 및 특성

엔지니어의 시행착오(Trial and Error) 실험 횟수를 획기적으로 단축

장비 상태 변화에 따른 최적 레시피의 실시간 업데이트(APC 연동)

전문 인력의 경험에 의존하던 공정 튜닝 업무의 시스템화 및 표준화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-055호

제품명: 지능형 반도체 다이 부착(Die Attach) 정밀 제어기

모델명: RXO-DIE-BOND-PRO

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 개별 칩(Die)을 기판이나 리드프레임에 고정하는 다이 어태치 장비의 핵심 제어 유닛입니다. 접착제(Epoxy) 도포 양과 칩 압착 힘을 지능적으로 조절하여 들뜸이나 틀어짐 불량을 방지합니다.

2. 주요 기술 사양

하중 제어: 10mg 단위의 미세 압착력 제어 및 피드백 실시간 모니터링

비전 연동: 접착제 도포 형상의 면적과 높이를 비전으로 실시간 검사 및 보정

기능: 고속 이송 시 칩 손상 방지를 위한 가속도 최적화 제어

정밀도: 칩 정렬 오차 ±5μm 이내 유지

3. 용도 및 특성

첨단 패키징(초박형 칩 적층 등) 공정의 수율과 신뢰성 확보

접착제 번짐(Bleeding)이나 미부착에 의한 필드 불량 예방

다양한 크기와 두께의 칩 사양에 따른 최적 작업 조건 자동 설정

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-056호

제품명: IoT 연동 반도체 장비용 고성능 엣지 서버

모델명: RXO-EDGE-COMP-V

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 설비 현장에서 발생하는 대량의 센서 데이터와 비전 이미지를 지연 없이 처리하기 위한 산업용 엣지 서버입니다. 데이터를 클라우드로 보내기 전 실시간 분석과 필터링을 수행합니다.

2. 주요 기술 사양

연산 능력: 고성능 멀티코어 CPU 및 AI 가속기(NPU) 탑재

인터페이스: 다채널 산업용 통신 포트 및 고속 데이터 로깅 포트

신뢰성: Fanless 방열 구조, 전자기파(EMI) 차폐, 진동 방지 하우징

소프트웨어: 가상화 기술을 통한 다수의 분석 앱 동시 구동 지원

3. 용도 및 특성

설비 이상 탐지 및 품질 판정의 현장 즉시 처리(Low Latency)

네트워크 부하 감소를 위한 데이터 압축 및 요약 전송

서버 단절 시에도 현장에서의 설비 감시 및 제어 유지 기능

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-057호

제품명: AI 기반 반도체 스크러버 정화 효율 분석기

모델명: RXO-SCRUB-MONITOR

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 폐가스 정화 장치(Scrubber) 전단과 후단의 가스 농도를 실시간 비교하여 실제 정화 효율을 분석하는 장치입니다. AI가 스크러버의 연소 상태나 필터 막힘을 진단하여 효율적인 운영을 돕습니다.

2. 주요 기술 사양

분석 성분: 공정 폐가스 내 산성가스, 가연성가스, PFCs 등

핵심 기능: 정화 효율 실시간 수치화 및 스크러버 버너 가동 최적화

예지보전: 소모품(노즐, 필터 등)의 교체 시기 예측 및 자동 보고

데이터 연동: 탄소 배출량 산출을 위한 통합 환경 시스템 연동

3. 용도 및 특성

법적 배출 기준 초과 사고 예방 및 에너지 소모(LNG, 전력) 절감

정화 효율 저하 시 즉각적인 경보 발송 및 원인 진단 정보 제공

스크러버 운전 로그와 공정 데이터를 연동한 종합 효율 대시보드 구현

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-058호

제품명: 지능형 웨이퍼 보트 오염도 비전 판독 시스템

모델명: RXO-BOAT-SCAN

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 확산(Diffusion) 공정 등 고온 공정에서 웨이퍼를 담는 쿼츠 보트(Quartz Boat)의 오염물 누적 상태와 미세 크랙을 비전 기술로 판독하는 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

검사 방식: 특수 파장 조명을 활용한 표면 박막 누적량 시각화

검사 항목: 파티클 유발 오염물, 쿼츠 균열, 슬롯 마모 상태

자동화: 보트 세정 주기 자동 판정 및 장비 투입 전 적합성 검사

분석 엔진: 딥러닝 기반 오염 유형 자동 분류 및 파티클 위험도 평가

3. 용도 및 특성

보트에서 떨어져 나오는 조각에 의한 대량 웨이퍼 불량 사고 방지

세정 횟수가 아닌 실제 오염 상태에 기반한 세정 일정 관리

고가의 쿼츠 보트 자산의 잔여 수명 연장 및 이력 관리

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-059호

제품명: IoT 기반 반도체 공장 폐가스 무단 배출 감지기

모델명: RXO-GAS-WATCH-PRO

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 공장 옥상의 배기 덕트나 외곽 지역에 설치되어, 미정화된 가스가 비정상적으로 유출되는지 24시간 감시하는 IoT 기반의 환경 보안 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

센서 기술: 광범위 가스 감지 센서 어레이 및 풍향/풍속 센서 통합

통신 프로토콜: 장거리 무선 통신(LPWA) 및 보안 데이터 전송

분석 기능: 가스 확산 경로 역추적 알고리즘을 통한 발생원 특정

전원: 태양광 충전 및 배터리 시스템을 통한 독립 운용 지원

3. 용도 및 특성

환경 사고에 대한 투명한 모니터링 및 지역 사회 신뢰 확보

설비 이상에 의한 가스 역류나 정화 장치 고장 여부의 교차 확인

배출 로그의 데이터 무결성 보장을 통한 법적 분쟁 예방

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-060호

제품명: AI 기반 반도체 생산 계획 수립 자동화 소프트웨어

모델명: RXO-PLAN-AUTO

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 수만 개의 공정 조합과 장비 가동 상태를 고려하여, 납기 준수와 가동률 극대화를 동시에 만족하는 생산 스케줄을 AI가 자동으로 생성하는 솔루션입니다.

2. 주요 기술 사양

기술 방식: 유전 알고리즘 및 심층 강화학습 기반 최적화 엔진

반영 변수: 설비 고장, 긴급 수리, 수율 변동, 물류 이동 시간 등

시뮬레이션: 수립된 계획의 실행 결과를 디지털 트윈 환경에서 미리 검증

응답성: 변동 상황 발생 시 5분 이내 생산 계획 재수립(Rescheduling)

3. 용도 및 특성

생산 리드타임(Turn-around Time) 단축 및 납기 준수율 향상

복잡한 수동 생산 계획 수립 업무의 자동화 및 휴먼 에러 제거

장비 가동의 병목 현상 사전 예측 및 자재 투입량 자동 조절

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-061호

제품명: 지능형 반도체 인라인(In-line) 품질 관리 모듈

모델명: RXO-INLINE-QC

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 별도의 검사 장비로 이동하지 않고, 공정 장비 내부의 웨이퍼 이송 구간에서 직접 품질 지표를 실시간 계측하여 이상 발생 시 즉각 인터락을 거는 품질 감시 유닛입니다.

2. 주요 기술 사양

센서 기술: 초소형 분광기 및 고속 비전 센서 통합 패키징

계측 항목: 박막 두께(중심점), 패턴 정렬 상태, 조대 파티클 탐지

통신 연동: 장비 메인 컨트롤러와 직접 연결되어 0.1초 내 중지 명령 하달

분석 알고리즘: 실시간 공정 산포(SPC) 분석 및 경향성 알람

3. 용도 및 특성

대량의 웨이퍼가 연속 생산되는 장비에서 품질 사고의 파급 효과 최소화

공정 결과의 실시간 확인을 통한 장비 캘리브레이션 주기 최적화

샘플링 검사 사이의 공정 품질 공백을 메우는 상시 감시 체계

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-062호

제품명: IoT 연동 반도체 설비 냉각수 유량 센서

모델명: RXO-FLOW-MONITOR

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 장비의 열을 식히는 냉각수(PCW)의 흐름을 상시 감시하여 냉각 효율 저하나 누수 사고를 방지하는 스마트 센서입니다. IoT 연동을 통해 전사 유틸리티 현황 관리를 지원합니다.

2. 주요 기술 사양

측정 방식: 비접촉식 초음파 또는 정밀 전자기 유량 계측

기능: 실시간 유량, 유속, 온도 동시 측정 및 데이터 로깅

알람: 설정 범위 이탈 시 관리자 및 설비 인터락에 즉각 신호 전송

설치성: 배관 절단 없는 클램프 온(Clamp-on) 방식 지원

3. 용도 및 특성

냉각수 공급 부족으로 인한 고가 장비의 과열 및 소손 사고 예방

미세한 누수 징후를 유량 차이로 감지하여 팹 침수 사고 사전 차단

구역별 냉각수 사용량 분석을 통한 유틸리티 설비 효율 개선

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-063호

제품명: AI 기반 웨이퍼 수평도 자동 보정 로봇 그리퍼

모델명: RXO-GRIP-LEVELER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼를 집어 올릴 때 미세한 기울어짐을 감지하고, 그리퍼 자체의 관절을 조절하여 항상 완벽한 수평 상태로 장비에 안착시키는 지능형 로봇 끝단 장치(End-effector)입니다.

2. 주요 기술 사양

센싱: 그리퍼 내부에 탑재된 초정밀 6축 관성 센서 및 압력 센서

보정 메커니즘: 마이크로 액추에이터 기반의 틸트(Tilt) 자동 보정

기능: 웨이퍼 슬립(Slip) 감지 및 흡착력 지능형 제어

정확도: 0.01도 단위의 미세 기울기 감지 및 보정

3. 용도 및 특성

웨이퍼가 비스듬히 안착되어 발생하는 공정 불량 및 파손 사고 방지

로봇 티칭(Teaching) 오차를 그리퍼가 스스로 보정하여 셋업 시간 단축

다양한 두께와 무게의 웨이퍼에 대한 안정적인 파지 및 이송 보장

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-064호

제품명: 지능형 반도체 설계 데이터 보안 암호화 유닛

모델명: RXO-SECURE-DATA

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 설계 자산(IP)의 유출을 방지하기 위해 설계 서버와 사용자 워크스테이션 사이의 데이터 전송을 하드웨어 레벨에서 암호화하고 관리하는 보안 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

암호화: 양자 내성 암호(PQC) 알고리즘 기반의 초고속 데이터 암호화

접근 제어: 하드웨어 키 및 생체 인식 기반의 다중 인증 시스템

감사 기능: 데이터 접근 이력의 실시간 기록 및 비정상 반출 행위 탐지

성능: 대용량 GDSII 파일 전송 시에도 성능 저하를 최소화하는 하드웨어 가속

3. 용도 및 특성

기업의 핵심 경쟁력인 설계 도면의 외부 유출 방지 및 내부 통제 강화

원격 설계 환경에서의 보안 데이터 통로 구축

보안 사고 발생 시 정확한 유출 경로 및 접근자 추적 지원

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-065호

제품명: IoT 기반 반도체 장비 진동 감쇄 능동형 마운트

모델명: RXO-VIB-STOPPER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 공장 바닥에서 전달되는 진동이나 장비 내부 구동부의 진동을 감지하고, 반대 방향의 힘을 발생시켜 진동을 상쇄하는 지능형 방진 장치입니다. 초미세 노광 및 검사 장비의 정밀도를 유지합니다.

2. 주요 기술 사양

제어 방식: 센서 피드백 기반의 능동형(Active) 자기부상 또는 압전 제어

성능: 수 Hz 대역의 저주파 진동부터 고주파 진동까지 광대역 차단

IoT 기능: 실시간 진동 데이터 로깅 및 주변 설비 진동 유발원 분석

내구성: 수 톤 이상의 대형 정밀 장비 하중 지지 및 정밀 수평 유지

3. 용도 및 특성

미세 진동에 의한 노광 패턴 흔들림 및 검사 이미지 품질 저하 방지

주변 물류 로봇 주행이나 타 장비 가동 시 발생하는 간섭 진동 차단

장비 설치 구역의 지반 진동 특성 분석 및 환경 개선 가이드 제공

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-066호

제품명: AI 기반 반도체 포토레지스트 코팅 균일도 검사기

모델명: RXO-PR-COAT-CHECK

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼 표면에 감광액(PR)이 도포된 후, 그 두께와 균일도를 비접촉 방식으로 실시간 검사하는 장비입니다. AI가 코팅 패턴을 분석하여 스핀 코터의 이상 유무를 진단합니다.

2. 주요 기술 사점

측정 기술: 분광 타원계(Ellipsometer) 및 백색광 간섭계 융합

검사 항목: PR 두께 산포, 에지 비드(Edge Bead) 형성 상태, 코팅 얼룩

분석 알고리즘: 딥러닝 기반 코팅 불량 유형(Striation 등) 자동 분류

연동: 측정 결과를 코팅 장비로 전송하여 스핀 회전수 자동 보정

3. 용도 및 특성

노광 공정 전 코팅 품질을 확정하여 후속 노광 불량 사고 방지

고가의 PR 소모량을 최소화하기 위한 최적 코팅 조건 도출 지원

코팅 장비 노즐의 막힘이나 압력 변동에 의한 품질 저하 실시간 모니터링

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-067호

제품명: 지능형 반도체 후공정 레이저 마킹 비전 검사기

모델명: RXO-MARK-READER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 패키지 표면에 새겨진 제품 정보, 로고, 바코드를 레이저 마킹 직후 비전으로 판독하여 각인 오류나 가독성 불량을 검사하는 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

인식 엔진: 딥러닝 기반 OCR(문자 인식) 및 OCV(문자 검증) 기술

인식 대상: 영문, 숫자, 2D 바코드, 특수 기호 및 회사 로고

정확도: 표면 난반사나 낮은 대비 환경에서도 99.9% 이상의 인식률

연동성: 상위 생산 데이터와 실시간 대조하여 혼입(Mix-up) 방지

3. 용도 및 특성

잘못된 제품 정보 표기에 의한 출하 불량 및 반품 사고 제로화

레이저 마커의 출력 저하 및 렌즈 오염 상태의 간접적 진단

제품별 시리얼 번호 이력 관리와 연동한 개별 추적성(Traceability) 확보

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-068호

제품명: IoT 연동 반도체 제조 시설 내 근로자 위치 추적기

모델명: RXO-SAFE-WORKER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 대규모 팹 내 근로자의 위치와 상태를 실시간으로 파악하여 안전 사고에 대응하고 위험 구역 접근을 통제하는 웨어러블 및 인프라 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

측위 기술: 고정밀 실내 위치 추적(UWB/BLE) 및 가속도 센서

기능: 낙상 감지, SOS 긴급 호출, 위험 구역 진입 알람(Geofencing)

보안: 근로자 개인정보 보호를 위한 익명화 및 데이터 보안 기술 적용

연동: 화재 및 가스 감지 시스템과 연동한 실시간 대피 경로 안내

3. 용도 및 특성

가스 누출이나 화재 발생 시 근로자의 안전한 대피 및 잔류 인원 파악

위험 설비 주변 비인가자 접근 방지를 통한 산업 재해 예방

작업 동선 분석을 통한 현장 운영 효율성 개선 지원

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-069호

제품명: AI 기반 반도체 장비 전기적 성능 진단 시스템

모델명: RXO-ELEC-HEALTH

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 장비 내부의 전원 공급 상태, 전기적 노이즈, 접지 상태 등을 분석하여 전자 부품의 노화나 제어 보드의 고장 징후를 진단하는 지능형 검진 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 항목: 공급 전압의 리플(Ripple), 서지(Surge), 주파수 안정도, 고조파 분석

분석 알고리즘: 정상 상태의 전기 신호 패턴(Signature) 학습 및 이상 탐지

인터페이스: 장비 주 전원 및 제어 회로 연결용 비접촉 프로브 어레이

리포팅: 장비의 전기적 건전성 점수(Health Score) 및 수명 예측 제공

3. 용도 및 특성

돌연사(Sudden Death)하는 전자 제어 부품의 사전 교체로 장비 안정성 향상

전기적 노이즈에 의한 간헐적 설비 오작동 원인 규명

공장 전체 전력 품질 변화가 설비 정밀도에 미치는 영향 분석

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-070호

제품명: 지능형 웨이퍼 적재함 온습도 실시간 기록기

모델명: RXO-STORAGE-LOGGER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 공정 대기 중인 웨이퍼 박스나 적재함(Stocker) 내부의 환경 데이터를 상시 기록하는 장치입니다. 미세한 환경 변화가 웨이퍼 품질에 미치는 영향을 추적하는 데 사용됩니다.

2. 주요 기술 사양

센싱: 초정밀 디지털 온습도 센서 및 미세 차압 센서

저장: 장시간 데이터 로깅을 위한 내장 메모리 및 실시간 무선 전송

정밀도: 온도 ±0.1°C, 습도 ±1% RH 이하의 초정밀 오차 유지

기능: 설정 범위 이탈 시 관제 센터 즉각 경보 및 가습/제습 장치 연동

3. 용도 및 특성

고온다습한 환경에 의한 웨이퍼 표면 산화막 성장 변동 방지

환경 변화와 품질 결과 간의 상관관계 분석을 위한 데이터 확보

외부 반입 자재의 보관 환경 이력 관리 및 품질 보증용 데이터 활용

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-071호

제품명: IoT 기반 반도체 특수가스 용기 잔량 감지 센서

모델명: RXO-GAS-LEVEL-S

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 고압 가스 실린더의 무게와 압력을 정밀 측정하여 실제 남은 가스의 양을 실시간 계산하고, 공급 끊김이 발생하지 않도록 자동 교체 시점을 알려주는 스마트 센서 유닛입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 방식: 고정밀 로드셀(Load Cell) 기반 질량 측정 및 압력 복합 감지

통신: 산업용 가스 캐비닛 내 신호 전송용 방폭형 IoT 통신 모듈

알고리즘: 온도 변화에 따른 가스 압력 보정 및 실제 잔량 산출 로직

안전: 방폭 구역 설치를 위한 내압/본질안전 방폭 인증 설계 준수

3. 용도 및 특성

가스 소진에 의한 공정 중단 사고 원천 차단

잔량 데이터를 활용한 가스 구매 및 재고 관리 최적화

비정상적인 가스 소모 패턴 분석을 통한 누출 및 설비 이상 감지

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-072호

제품명: AI 기반 반도체 부품 역설계 및 수율 분석기

모델명: RXO-REVERSE-TOOL

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 노후 장비나 외산 부품의 3D 형상과 재질을 스캔하여 정밀 디지털 도면을 생성하고, 부품의 미세 설계 변경이 공정 수율에 미치는 영향을 시뮬레이션하는 분석 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

스캐닝: 나노미터 급 고정밀 3D 광학/접촉식 스캐너 연동

분석 AI: 부품 형상 오차에 따른 유체 흐름(CFD) 및 열분포 시뮬레이션 가속

기능: 대체 부품 적용 시 공정 결과 예측 및 수율 최적화 형상 추천

데이터: 국산화 개발을 위한 소재 분석 및 설계 공차 자동 추출

3. 용도 및 특성

핵심 소모성 부품의 국산화 및 비용 절감을 위한 설계 데이터 확보

부품 노후화에 따른 품질 변화를 디지털 환경에서 사전 검증

외산 부품 수급 대란 발생 시 신속한 대체품 제작 및 품질 안정성 평가

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-073호

제품명: 지능형 반도체 클린룸용 무인 자율 청소 로봇

모델명: RXO-CLEAN-AMR

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 사람의 출입이 제한된 고청정 구역(Cleanroom) 바닥의 미세 먼지를 자율적으로 제거하는 로봇입니다. 청소 중 파티클을 재발생시키지 않는 특수 설계가 적용되었습니다.

2. 주요 기술 사양

청소 기술: HEPA/ULPA 필터가 적용된 고진공 흡입 및 정전기 방지 브러시

주행: LiDAR 기반 자율 주행 및 설비 배관 등 사각지대 회피 알고리즘

신뢰성: 배출 공기 내 입자 농도 제로화를 위한 다중 여과 시스템

기능: 구역별 청정도 측정 결과와 연동한 집중 청소 모드 수행

3. 용도 및 특성

인력에 의한 청소 시 발생하는 오염을 방지하고 상시 고청정 유지

클린룸 바닥의 파티클 누적에 의한 웨이퍼 오염 리스크 감소

24시간 자율 운영을 통한 인건비 절감 및 청소 이력 데이터화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-074호

제품명: IoT 연동 반도체 설비용 원격 유지보수 AR 글래스

모델명: RXO-AR-MAINTAIN

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 현장 엔지니어가 착용 시 설비 내부 구조, 실시간 센서값, 정비 매뉴얼을 증강현실(AR)로 제공하며, 필요 시 원격 전문가와 시야를 공유하여 실시간 지도를 받는 협업 도구입니다.

2. 주요 기술 사양

디스플레이: 초경량 고해상도 시스루(See-through) 광학 모듈

데이터 연동: 장비 IoT 센서와 블루투스/Wi-Fi 연동 실시간 상태 정보 오버레이

기능: 핸즈프리 음성 명령 제어, 정비 단계별 가이드 자동 표시

협업: 지연 없는 실시간 화상 회의 및 화면 공유 보안 프로토콜

3. 용도 및 특성

복잡한 장비 수리 시 휴먼 에러 방지 및 초보 엔지니어의 작업 지원

해외 제조사 엔지니어의 현장 방문 없이 원격 정비로 가동 중단 시간 최소화

정비 과정을 영상으로 기록하여 기술 교육 및 품질 이력 자료로 활용

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-075호

제품명: AI 기반 반도체 소자 노이즈 자동 제거 필터

모델명: RXO-NOISE-KILLER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 반도체 테스트 시 발생하는 주변 전자기파 및 전원 노이즈를 AI 알고리즘으로 실시간 분리 및 제거하여 소자 본연의 성능 신호만 추출하는 지능형 필터링 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

기술 방식: 적응형 딥러닝 기반 신호/노이즈 분리 알고리즘(Blind Source Separation)

처리 성능: 초고주파(GHz) 대역 신호의 실시간 노이즈 캔슬링

기능: 테스트 장비 특성에 따른 고유 노이즈 프로파일링 및 자동 보정

정확도: 신호 왜곡 없이 노이즈만 20dB 이상 감쇄

3. 용도 및 특성

미세 신호 특성 분석 시 측정 신뢰도 향상 및 수율 오판정 방지

열악한 전력 환경이나 전자기 간섭이 심한 현장에서의 정확한 테스트 수행

차세대 고속 통신 칩의 지터(Jitter) 및 성능 한계 정밀 측정

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-076호

제품명: 지능형 반도체 리소그래피 노출량 자동 최적화기

모델명: RXO-LITHO-DOSE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 노광 공정 시 광원의 세기와 노출 시간(Dose)을 웨이퍼 표면 상태에 맞춰 실시간으로 조절하여 패턴의 선폭(CD)을 최적화하는 제어 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

센싱: 노광 전 웨이퍼 반사율 및 박막 두께 실시간 계측 연동

제어: 0.1mJ 단위의 미세 노광 에너지 보정

알고리즘: 웨이퍼 내(In-wafer) 균일도 향상을 위한 구역별 가변 노출 로직

호환성: 주요 노광 스캐너의 제어 통신망 직접 연동

3. 용도 및 특성

미세 회로 패턴의 선폭 산포를 획기적으로 개선하여 소자 속도 향상

웨이퍼마다 다른 박막 두께에 따른 노광 부족/과다 현상 자동 방지

공정 마진(Process Window) 확대 및 수율 상향 안정화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-077호

제품명: IoT 기반 반도체 세정 공정 초순수 저항률 센서

모델명: RXO-UPW-RESIST

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼 세정에 사용되는 초순수(UPW)의 비저항(Resistivity)을 실시간 측정하여 수질의 순도를 감시하는 센서입니다. IoT 연동으로 오염 발생 시 즉각적인 대응을 지원합니다.

2. 주요 기술 사양

측정 범위: 0 ~ 18.2 MΩ·cm (초순수 한계값 대응)

정밀도: 온도 보상 기능 내장으로 ±0.1% 이하의 측정 오차

통신: 실시간 수질 데이터를 공정 장비 및 중앙 서버로 무선 전송

유지보수: 전극 오염 자동 진단 및 자가 캘리브레이션 기능

3. 용도 및 특성

세정액의 미세 오염에 의한 웨이퍼 재오염 사고 방지

수처리 시설의 여과막 파손 및 여재 교체 시기 실시간 판단

용수 사용량 및 수질 이력을 분석하여 수자원 관리 비용 절감

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-078호

제품명: AI 기반 반도체 패키징 내 보이드(Void) 탐지기

모델명: RXO-VOID-SCAN-AI

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 패키징 몰딩액 내부나 접합부에 형성된 미세 기포(Void)를 초음파나 X-ray 이미지를 통해 AI가 자동으로 탐지하고 크기를 측정하는 비파괴 검사 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

검사 기술: SAM(초음파 영상) 또는 X-ray 이미지 딥러닝 분석

판독 능력: 육안으로 구분이 어려운 0.1mm 이하의 보이드 자동 탐지

기능: 보이드의 위치와 크기를 기반으로 한 제품 수명 및 신뢰성 등급 판정

속도: 전수 검사가 가능한 초당 수십 프레임의 고속 판독 엔진

3. 용도 및 특성

열 방출 방해 및 크랙의 원인이 되는 보이드 불량의 원천 차단

차량용 반도체 등 고신뢰성 제품의 내부 결함 보증 데이터 확보

몰딩 공정 조건(압력, 시간) 최적화를 위한 정량적 분석 지표 제공

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-079호

제품명: 지능형 웨이퍼 전송 암(Arm) 정밀 가동 모니터

모델명: RXO-ARM-TRACK

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 장비 내부에서 웨이퍼를 옮기는 로봇 암의 관절 각도, 속도, 진동을 상시 모니터링하여 이송 정밀도의 미세한 저하를 감지하는 스마트 진단 유닛입니다.

2. 주요 기술 사양

센서: 로봇 암 말단 및 관절부에 부착된 고감도 가속도 및 자이로 센서

분석: 표준 구동 궤적(Golden Path) 대비 미세 이탈 및 떨림 분석

예측: 감속기 마모나 베어링 고장 전조 현상을 주파수 분석으로 포착

연동: 장비 메인 컨트롤러와 연동하여 정밀도 보정값 실시간 제공

3. 용도 및 특성

로봇 팔의 흔들림에 의한 웨이퍼 스크래치 및 척 안착 오류 예방

장비 셋업 시 로봇 티칭 값의 안정성 검증 및 최적화

실제 구동 데이터를 기반으로 한 합리적인 로봇 유지보수 주기 설정

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-080호

제품명: IoT 연동 반도체 공장 통합 에너지 대시보드

모델명: RXO-ENERGY-DASH

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 공장 내 모든 설비, 공조, 전력 시스템의 에너지 사용량을 IoT로 수집하여 시각화하고, AI 분석을 통해 낭비 요소를 찾아 에너지 비용을 절감하는 관제 소프트웨어입니다.

2. 주요 기술 사양

데이터 수집: 스마트 미터기, 인버터, 공조 제어기 등 전사 장치 연동

분석 기능: 설비별 가동 상태에 따른 에너지 효율(kW/Wafer) 자동 계산

예측: 피크 전력 사용량 사전 예측 및 부하 분산 최적화 가이드

리포트: 탄소 배출권 관리 및 ESG 공시를 위한 자동 보고서 생성

3. 용도 및 특성

전력 및 가스 소모량 최적화를 통한 공장 운영 비용(OPEX) 절감

에너지 사용 효율이 낮은 노후 설비 및 비정상 설비의 우선 선별

기업의 RE100 달성을 위한 신재생 에너지 사용량 및 탄소 발자국 추적

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-081호

제품명: AI 기반 반도체 소자 누설 전류 예측 자동 검사기

모델명: RXO-LEAK-AI-CHECK

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 웨이퍼 테스트 시 측정된 초기 전기 데이터를 바탕으로, 제품 사용 중 발생할 수 있는 잠재적 누설 전류(Leakage) 불량을 AI가 사전에 예측하여 선별하는 검사 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

알고리즘: 다변수 신경망 기반의 잠재 결함 탐지 모델

입력 데이터: 전압-전류 커브, 정전 용량, 온도 특성 데이터

기능: 실제 불량이 발생하기 전의 미세한 전류 변화 패턴 분석

효과: 고신뢰성 제품군(전장용 등)의 필드 불량률 획기적 개선

3. 용도 및 특성

장기 신뢰성 테스트(Burn-in) 시간을 단축하면서 품질 보증력 강화

공정 중 미세 오염이나 절연막 손상에 의한 잠재 불량 제품 선별

수율 손실 최소화를 위한 테스트 통과 기준(Limit)의 지능적 설정

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-082호

제품명: 지능형 반도체 노광용 반사경 위치 미세 조정기

모델명: RXO-MIRROR-TUNE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 노광 장비 내부의 광학 경로를 결정하는 반사경들의 위치와 각도를 나노미터 단위로 미세 조정하여 빛의 손실을 줄이고 패턴 해상도를 극대화하는 정밀 제어 유닛입니다.

2. 주요 기술 사양

액추에이터: 피에조(Piezo) 기술 기반의 초정밀 나노 변위 제어

센싱: 레이저 간섭계 기반의 실시간 위치 피드백(분해능 0.1nm)

기능: 외부 진동 및 열팽창에 의한 광축 이탈을 실시간 보정

내구성: 자외선 및 고에너지 광원에 노출되는 환경용 특수 소재 적용

3. 용도 및 특성

고해상도 패턴 구현을 위한 광학계의 완벽한 정렬 상태 유지

장비 장시간 가동에 따른 광학적 성능 저하(Drift) 자동 보정

노광 장비 정기 점검 시 광축 정렬 작업의 자동화 및 시간 단축

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-083호

제품명: IoT 기반 반도체 설비 가동 시간(Uptime) 극대화기

모델명: RXO-UPTIME-MAX

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 설비의 모든 로그와 가동 데이터를 IoT로 통합 관리하여, 설비 정지 원인을 실시간 분석하고 불필요한 대기 시간을 줄여 실제 생산 가동 시간을 극대화하는 솔루션입니다.

2. 주요 기술 사양

데이터 통합: 장비 로그, 작업자 출입 기록, 물류 시스템 통합 분석

기능: 비가동 사유(유지보수, 자재부족, 고장 등) 자동 분류 및 통계

최적화: AI 기반의 부품 교체 및 정기 점검 일정 생산 스케줄 연동 최적화

대시보드: 라인 전체 설비의 실시간 가동 현황 및 Uptime 지표 시각화

3. 용도 및 특성

설비 가동 효율 개선을 통한 추가 장비 투자 없이 생산 능력(CAPA) 증대

고장 발생 시 전문 엔지니어 호출 및 수리 시작까지의 응답 시간 단축

반복적인 설비 트러블의 근본 원인을 데이터를 통해 규명 및 해결

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-084호

제품명: AI 기반 반도체 증착 두께 실시간 제어 알고리즘

모델명: RXO-DEP-THICK-AI

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 증착 공정 중 박막의 두께를 직접 측정하지 않고도 공정 변수(가스 유량, 압력, 시간 등)를 실시간 분석하여 목표 두께를 정확히 맞추는 가상 계측(Virtual Metrology) 알고리즘입니다.

2. 주요 기술 사양

모델: 딥러닝 기반의 공정 데이터-두께 상관관계 실시간 추정 모델

정확도: 실제 계측 장비 측정값 대비 98% 이상의 높은 정밀도 확보

제어: 두께 오차 발생 징후 시 실시간으로 증착 시간을 보정하는 피드백 제어

기능: 장비 노화(Aging)에 따른 증착률 변화 자동 학습 및 보정

3. 용도 및 특성

계측 장비 대기 시간 및 측정 비용 없이 모든 웨이퍼의 증착 품질 관리

공정 산포 축소를 통한 후속 식각 및 노광 공정의 마진 확보

이상 품질 발생 시 즉각적인 인터락 가동으로 피해 최소화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-085호

제품명: 지능형 반도체 제조 공정용 스마트 가스 밸브

모델명: RXO-SMART-VALVE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 가스 유량 제어기(MFC)와 결합되어 가스의 흐름을 초고속으로 개폐하고, 밸브 자체의 마모 상태와 미세 누설(Leak)을 자가 진단하는 지능형 액추에이터 통합 밸브입니다.

2. 주요 기술 사양

응답성: 밀리초(ms) 단위의 초고속 개폐 및 유량 미세 조절

센싱: 밸브 내부 압력 및 구동 토크 실시간 센싱을 통한 자가 진단

통신: 산업용 디지털 통신 프로토콜을 통한 원격 제어 및 상태 보고

신뢰성: 반도체용 고부식성 가스에 견디는 특수 합금 및 표면 처리

3. 용도 및 특성

원자층 증착(ALD) 등 가스의 정교한 펄스 제어가 필요한 공정의 품질 향상

밸브 시트 마모에 의한 미세 누설을 감지하여 안전 사고 및 오염 예방

밸브 교체 시점을 데이터로 관리하여 장비 정비 효율성 증대

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-086호

제품명: IoT 연동 반도체 공정 장비용 고성능 필터 감지기

모델명: RXO-FILTER-CHECK

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 가스 및 초순수 라인에 설치된 필터의 포화도와 차압을 실시간 감지하여, 필터 파손이나 교체 시기를 관리자에게 알리는 스마트 모니터링 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

측정 항목: 필터 전후단의 미세 차압, 유량, 입자 농도 변화

통신: 무선 IoT 메쉬망 연동 및 현장 상태 표시등 탑재

분석: 필터 수명 예측 알고리즘 기반의 단계별 경보 발령

연동: 설비 제어기와의 인터락 구성을 통한 비상 상황 대응

3. 용도 및 특성

필터 파손에 의한 대량의 파티클 유입 및 공정 사고 방지

불필요한 조기 교체 방지를 통한 소모품 구매 비용 절감

전체 라인 필터 관리 현황의 디지털화로 관리 포인트 일원화

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-087호

제품명: AI 기반 반도체 설계 라이브러리 자동 업데이트 툴

모델명: RXO-LIB-UPDATER

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 공정 기술이 업그레이드될 때마다 방대한 설계 표준 라이브러리를 새로운 디자인 룰에 맞춰 자동으로 변환하고 전기적 특성을 재검증하는 AI 소프트웨어입니다.

2. 주요 기술 사양

기술 방식: 레이아웃 패턴 변환(Migration) AI 알고리즘

기능: 공정 변동에 따른 지연 시간(Delay), 전력 소모값 자동 재추출

효과: 수동 라이브러리 구축 대비 작업 기간 90% 이상 단축

품질: 상용 EDA 툴과의 호환성 테스트 및 데이터 무결성 검증

3. 용도 및 특성

신규 미세 공정 도입 시 기존 설계 자산(IP)의 신속한 재활용 지원

휴먼 에러 없는 정확한 라이브러리 데이터 확보로 설계 신뢰도 향상

표준 셀(Standard Cell) 최적화를 통한 칩의 전력 효율 개선

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-088호

제품명: 지능형 웨이퍼 다이 정렬 비전 매칭 시스템

모델명: RXO-DIE-ALIGN

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 프로빙 테스트나 패키징 공정 전, 웨이퍼 상의 개별 칩(Die) 위치를 고속 비전으로 인식하여 미세한 정렬 오차를 나노미터 단위로 보정하는 정밀 매칭 장치입니다.

2. 주요 기술 사양

기술: 고정밀 템플릿 매칭 및 딥러닝 기반 특징점 추출 기술

정밀도: 서브 마이크론 수준의 칩 중심 위치 및 각도 인식

속도: 12인치 웨이퍼 전체 다이를 수 초 내에 전수 스캔 및 정렬

환경: 투명 박막이나 저대비 패턴 하에서도 안정적인 인식 성능 확보

3. 용도 및 특성

테스트 프로브 핀과 칩 패드의 정확한 접촉을 통한 테스트 품질 확보

칩 절단(Sawing) 및 본딩 시의 정확한 위치 가이드 제공

정렬 불량에 의한 패드 손상 및 제품 파손 예방

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-089호

제품명: IoT 기반 반도체 공장 내 자율 주행 지게차 센서

모델명: RXO-FORK-SAFE

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 자재 창고나 서브팹 구역에서 운용되는 지게차에 장착되어, 실시간 위치 추적과 주변 장애물 감지, 충돌 위험 경보를 수행하는 IoT 안전 센서 키트입니다.

2. 주요 기술 사양

센서: LiDAR, 초음파 센서, AI 비전 카메라의 센서 퓨전 기술

측위: 실내 고정밀 위치 추적 기술 기반의 위치 이력 기록

안전: 작업자 접근 시 자동 속도 제한 및 비상 제동 인터페이스

데이터: 하중 센서 연동을 통한 적재 중량 및 안전 수칙 준수 모니터링

3. 용도 및 특성

물류 이동 중 발생할 수 있는 인명 사고 및 고가 장비 충돌 방지

효율적인 자재 운반 경로 분석을 통한 물류 동선 최적화

지게차 운전자 교육 및 안전 관리 데이터로 활용

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-090호

제품명: AI 기반 반도체 물류 이송 시뮬레이션 플랫폼

모델명: RXO-LOGI-SIM

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 수백 대의 OHT와 로봇이 움직이는 반도체 팹 내부의 물류 흐름을 가상 공간에서 시뮬레이션하여 병목 구간을 예측하고 물류 경로를 최적화하는 플랫폼입니다.

2. 주요 기술 사양

기술 방식: 디지털 트윈 기반의 이산 사건 시뮬레이션(Discrete Event Simulation)

알고리즘: AI 기반의 실시간 배차 및 경로 할당 최적화(Dispatching)

연동: 실제 물류 제어 시스템(MCS) 데이터 실시간 연동 및 예측 비교

기능: 설비 레이아웃 변경 시 물류 효율 변화의 사전 검증

3. 용도 및 특성

물류 정체로 인한 설비 대기 시간을 없애 공장 전체 생산성 향상

OHT 대수 최적화 설계를 통한 불필요한 인프라 투자 비용 절감

비상 상황(특정 경로 차단 등) 발생 시 최적의 우회 경로 자동 도출

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-091호

제품명: 지능형 반도체 패키징 몰딩 압력 분석 시스템

모델명: RXO-MOLD-PRESS

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 패키징 금형 내부에 액상 수지(EMC)를 주입할 때 가해지는 압력을 실시간 분석하여, 칩이나 내부 연결선(Wire)의 손상을 방지하고 성형 품질을 관리하는 시스템입니다.

2. 주요 기술 사양

센서: 금형 내부 장착용 초소형 고정밀 압력 센서 어레이

분석: 수지 흐름에 따른 위치별 압력 프로파일링 및 편차 감지

기능: 과압 발생 시 즉각적인 주입 속도 제어 및 경보 발령

데이터: 제품별 최적 성형 압력 조건(Golden Profile) 관리 및 비교

3. 용도 및 특성

내부 공극(Void) 및 불완전 성형 불량의 획기적 감소

칩 적층 패키징 등 미세 공정의 내부 구조 안정성 확보

금형의 노후도 및 청소 시점을 압력 변화 데이터를 통해 판단

[제품 등록증명서]

등록번호: 제 2026-RXO-092호

제품명: IoT 연동 반도체 설비 메인 컨트롤러 모니터

모델명: RXO-CTRL-MONITOR

등록주체: 주식회사 알엑스오그룹 (RXO GROUP)

1. 제품 개요 장비의 두뇌인 메인 제어 PC와 PLC의 상태(CPU 부하, 온도, 메모리 점유, 통신 상태)를 상시 모니터링하여 시스템 다운을 예방하는 지능형 관리 유닛입니다.

2. 주요 기술 사양

대상: 장비 내 윈도우/리눅스 제어 PC 및 산업용 PLC 전용

기능: 실시간 리소스 감시, 소프트웨어 오류 로그 자동 수집 및 분석

보안: 비인가 소프트웨어 실행 및 외부 통신 시도 실시간 차단

통신: 상위 서버로 제어기 건전성 데이터를 전송하는 독립 전용망 사용

3. 용도 및 특성

제어기 고장에 의한 장비 멈춤 및 생산 손실 사전 차단

소프트웨어 버그나 메모리 누수 현상의 조기 발견 및 대응

다수 장비 제어기의 일괄 보안 업데이트 및 사양 관리 효율화

포장명세서

왜 안돼니. 이건 그냥 되잖아.

상세증명서

[제품 명세서 1] AI 기반 웨이퍼 나노 결함 자동 비전 검사기

제품명 (Model No.): RXO-HyperScan Nano-I (Genesis Edition)

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-HyperScan Nano-I는 반도체 전공정 및 핵심 후공정에서 발생하는 5nm급 이상의 미세 결함을 실시간으로 탐지, 분류, 분석하는 차세대 자동 비전 검사 시스템입니다. 알엑스오그룹의 전용 딥러닝 엔진 'RXO-DeepVision v4.0'을 탑재하여, 기존 룰 기반(Rule-based) 장비가 놓치던 비정형 결함을 99.9% 이상의 정확도로 식별하며, 공정 수율 극대화를 위한 토탈 솔루션을 제공합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

이미지 센서: 256K TDI(Time Delay Integration) 초고감도 라인 스캔 센서

광원 유닛: 하이브리드 멀티 스펙트럼(DUV/UV/Visible) LED 어레이

분해능(Resolution): 수평/수직 방향 최대 $3nm/pixel$ 구현

자동 초점: AI 기반 실시간 압전(Piezo) 구동 고속 오토포커싱 (응답 속도 < 1ms)

스테이지: 자기부상(Maglev) 리니어 모터 기반 초저진동 스테이지

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

Self-Reference 알고리즘: 별도의 학습용 데이터셋 없이도 정상 패턴과 결함 패턴을 실시간으로 비교 분석하는 '다이-투-다이(Die-to-Die)' 비교 기술.

Anomaly Detection: 비지도 학습(Unsupervised Learning) 모델을 적용하여, 사전에 정의되지 않은 신규 유형의 불량을 즉각 감지.

자동 결함 분류(ADC): 검출된 결함을 파티클, 스크래치, 브릿지, 패턴 단절 등 32가지 카테고리로 자동 분류.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Zero-False Positive: 알엑스오만의 노이즈 제거 알고리즘을 통해 단순 오염과 실제 회로 결함을 완벽히 분리하여 가짜 불량률을 0.5% 미만으로 유지.

엣지-클라우드 협업: 장비 내부에서 1차 판정 후, 고난도 결함은 RXO 중앙 슈퍼컴퓨팅 서버와 연동하여 2차 정밀 판정 수행.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

처리 속도 (Throughput): 12인치 웨이퍼 기준 최대 75 WPH (Wafer Per Hour)

탐지 성능 (Sensitivity): 최소 $5nm$ 크기의 이물 및 패턴 왜곡 감지

시스템 가동률: 98% 이상 (MTBF 5,000시간 이상 보장)

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Main Body: 고진공/저진동 챔버 및 광학 모듈

Controller: GPU 가속기가 탑재된 고성능 서버 랙

Software: RXO-Insight AI Suite 정품 라이선스

[제품 명세서 2] IoT 연동 클린룸 미세입자 실시간 분석 센서

제품명 (Model No.): RXO-AirPure i-Sentinel (Gold Edition)

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-AirPure i-Sentinel은 ISO Class 1 이하의 초임계 클린룸 환경을 실시간 모니터링하기 위한 지능형 나노 입자 분석 시스템입니다. 알엑스오그룹의 IoT 게이트웨이 기술을 결합하여, 단순한 입자 계수를 넘어 입자의 성분 추정과 기류 분석을 동시에 수행함으로써 오염원의 근원적 차단(Root Cause Analysis) 및 공정 환경의 완전 무결성을 보장합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

광원 유닛: 고출력 $405nm$ 청색 레이저 다이오드

측정 채널: $0.1\mu m, 0.2\mu m, 0.3\mu m, 0.5\mu m, 1.0\mu m, 5.0\mu m, 10\mu m$ (7채널 동시 분석)

샘플링 유량: $28.3 LPM$ (1.0 CFM) 정밀 질량 유량계(MFC) 기반 정속 유지

통신 인터페이스: Wi-Fi 6E, EtherCAT, PoE(Power over Ethernet) 지원

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

Particle Fingerprinting: 입자의 산란 패턴을 딥러닝으로 분석하여 금속 가루, 유기물, 수분(Mist) 여부를 95% 확률로 구분.

3D Space Mapping: 수천 개의 센서 데이터를 통합하여 클린룸 내 입자 농도를 실시간 3D 히트맵으로 시각화.

Smart Edge Alert: 서버 점검 시에도 센서 단독으로 위험 수치를 판단하여 가동 중단 신호 10ms 이내 송출.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Anti-Vibration Design: 자기부상형 아이솔레이션 기술을 적용하여 주변 장비 진동에 의한 측정 오차를 원천 차단.

Self-Calibration: AI 기반 자가 교정 알고리즘을 통해 수동 교정 주기(Calibration Cycle)를 2배 연장.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

최소 감지 크기: $0.1\mu m$ (나노급 미세 입자)

계수 효율: $0.1\mu m$ 기준 $50\% \pm 20\%$ (ISO 21501-4 준수)

가동 시간: 24/7 실시간 모니터링 최적화

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Main Sensor: i-Sentinel 본체 및 고성능 샘플링 프로브

Power Module: PoE+ 인젝터 및 백업 배터리 유닛

Software: RXO-AirGuard 통합 관제 소프트웨어

[제품 명세서 3] 딥러닝 기반 식각(Etching) 공정 온도 최적화기

제품명 (Model No.): RXO-EtchMaster Thermo-AI (v.2026)

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-EtchMaster Thermo-AI는 반도체 식각 공정의 핵심 난제인 '온도 불균일성에 의한 패턴 왜곡'을 해결하는 지능형 온도 제어 컨트롤러입니다. RXO의 초고성능 NPU 가속기를 탑재하여 플라즈마 방전 시 발생하는 열 부하를 딥러닝으로 예측 제어하며, 웨이퍼 중심부와 에지의 식각률(Etch Rate)을 나노 단위로 일치시켜 수율을 극대화합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

제어 채널: 최대 128개 독립 존(Zone) 멀티 포인트 제어 아키텍처

온도 제어 범위: $-70^\circ C$ ~ $+300^\circ C$ (극저온/고온 식각 공정 전용)

제어 정밀도: $0.01^\circ C$ 이내의 미세 온도 제어 및 모니터링

센서 입력: 고속 광섬유 온도 센서(FBG) 및 초정밀 RTD 모듈 연동

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

Thermal-Inertia Prediction: 공정 레시피 기반의 열 관성 예측 모델을 통해 온도가 변하기 전 냉각수를 선제 투입(Feed-forward).

Cross-Talk Decoupling: 인접한 히터 존 간의 열 간섭을 AI 행렬 연산으로 자동 상쇄하여 각 구역의 독립적 제어 실현.

Reinforcement Learning: 실제 식각 결과 데이터를 피드백 받아 최적의 온도 프로파일을 스스로 학습 및 업데이트.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Edge NPU Integration: 외부 서버 통신 없이 컨트롤러 자체에서 AI 추론을 수행하여 지연 시간 제로 구현.

Adaptive Tuning: ESC(정전 척)의 노후화에 따른 온도 특성 변화를 AI가 감지하여 제어 계수를 자동으로 보정.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

CD Uniformity 개선율: 기존 PID 방식 대비 약 20% 이상의 균일도 향상

안정화 시간(Settling Time): 목표 온도 도달 및 안정화 시간 30% 단축

에너지 효율: 에너지 소모량 15% 절감

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Controller: RXO-EtchMaster 본체 및 AI 가속 카드

Interface Box: 128채널 통합 연결 터미널 시스템

Software: RXO-Thermo Manager 라이선스

[제품 상세 명세서 4] 지능형 반도체 증착 장비 예지보전 센서 노드

제품명 (Model No.): RXO-DepoSmart Node-X1

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-DepoSmart Node-X1은 CVD(화학 기상 증착) 및 ALD(원자층 증착) 장비의 핵심 구동 부품과 배관의 상태를 모니터링하여 고장을 사전에 예측하는 IoT 기반 인텔리전트 센서입니다. 알엑스오의 진동/음향 복합 분석 AI를 통해 파티클 발생 징후나 가스 리크를 초기에 감지하여 예기치 않은 공정 중단(Unplanned Downtime)을 원천 차단합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 복합 센싱 모듈:

가속도 센서: 고주파 진동 감지용 초정밀 3축 MEMS 센서 (측정 범위 $\pm16g$, 20kHz 샘플링)

음향 센서: 가스 누설 시 발생하는 초음파 영역($20kHz \sim 100kHz$) 감지 마이크로폰

온도 센서: 비접촉식 적외선 열전퇴(Thermopile) 센서 내장

2.2 데이터 처리 및 통신:

프로세서: AI 추론 전용 엣지 컴퓨팅 코어 (ARM Cortex-M7 기반)

무선 통신: 산업용 보안 무선망 WirelessHART 및 저전력 Bluetooth 5.4(LE) 지원

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Predictive AI 엔진:

Vibration Signature Analysis: 정상 가동 시의 고유 진동 패턴(Golden Fingerprint)과 실시간 데이터를 비교하여 베어링 마모 및 모터 축 정렬 불량 진단.

Remaining Useful Life (RUL): 딥러닝 모델이 소모성 부품의 잔여 수명을 백분율(%)로 산출하여 최적의 부품 교체 타이밍 가이드 제공.

3.2 스마트 진단 모듈:

Leak Pattern Recognition: 압력 미세 변동과 초음파 데이터를 결합하여 증착 챔버 및 가스 배관의 기밀성 이상을 99% 정확도로 탐지.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Ultra-Low Power Technology: 배터리 교체 없이 최대 5년 연속 구동 가능한 저전력 회로 설계 및 에너지 하베스팅 기술 적용.

Intrinsic Safety: 반도체 특수가스(독성/가연성) 환경에서 안전하게 사용할 수 있는 방폭형 인증(Ex ia IIC T4) 하우징 채택.

Magnetic Snap-on: 강력한 네오디뮴 마그네틱 장착 방식으로 기존 장비의 개조나 배선 공사 없이 즉시 도입 가능.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

고장 예측 리드타임: 실제 고장 발생 최소 72시간 전 사전 경보 발령

진동 감지 해상도: $0.001g$ 미세 진동 식별 가능

시스템 신뢰성: MTBF(평균 무고장 시간) 100,000시간 이상 보장

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Sensor Node: 본체 및 고온 대응 마운팅 브래킷

IoT Gateway: 공장 내 데이터 수집 및 클라우드 중계기

S/W Package: RXO-HealthMonitor 실시간 대시보드 및 모바일 알림 서비스

[제품 상세 명세서 5] IoT 기반 산업용 특수가스 미세 누출 탐지기

제품명 (Model No.): RXO-GasGuard L100 (Safety Series)

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-GasGuard L100은 반도체 공정에 필수적인 특수가스($SiH_4, NF_3, PH_3$ 등)의 미세 누출을 ppb/ppm 단위로 정밀 감지하는 IoT 보안 장치입니다. 알엑스오그룹의 가스 확산 시뮬레이션 AI와 실시간 연동되어 누출 시 확산 경로를 예측하고 최단 경로 대피 가이드를 제공함으로써 인명 및 설비 피해를 최소화합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 가스 검출 모듈:

검출 방식: 고정밀 전기화학식(Electrochemical) 및 광학식(NDIR) 복합 센서 탑재

감지 농도: 가스 종류별 최저 1ppm 미만 감지 (분해능 0.1ppm)

응답 시간(T90): 누출 즉시 5초 이내 감지 및 전송

2.2 알람 및 제어 유닛:

경보 장치: 110dB 고출력 사이렌 및 다중 색상 고휘도 LED 스트로브 라이트

비상 차단: 가스 캐비닛 밸브 강제 폐쇄용 디지털 출력 신호(Relay) 내장

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Safety Dispersion AI:

누출 경로 시뮬레이션: 현재 클린룸 내 기류(Airflow) 데이터와 누출 지점을 결합하여 10초 후의 가스 농도 분포를 실시간으로 시뮬레이션.

Safe Path Guidance: 가스 확산 방향을 피해 근로자가 안전하게 대피할 수 있는 동선을 스마트폰 앱 및 전광판에 즉각 표시.

3.2 지능형 필터링 알고리즘:

주변 대기의 습도나 오염 물질에 의한 오검출을 차단하는 다중 회귀 필터링 알고리즘 적용.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Dual-Path Redundancy: 유선(Ethernet)과 무선(LoRa) 통신 경로를 동시 확보하여 통신 장애 시에도 끊김 없는 데이터 전송 보장.

Smart Calibration: AI가 센서의 노후화 정도를 파악하여 자동으로 영점을 보정하는 오토 제로(Auto-Zero) 기능 탑재.

Remote Management: 실시간 가스 농도를 전 세계 어디서든 RXO 보안 클라우드를 통해 모니터링 가능.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

검지 정확도: Full Scale 기준 $\pm2\%$ 이내 오차

방진방수 등급: IP67 (습도가 높은 스크러버 주변 등 극한 환경 대응)

동시 접속 가능 수: 단일 제어 허브당 최대 512개 센서 노드 수용

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Detector: 가스 센서 본체 및 교체형 센서 카트리지

Control Hub: 통합 데이터 수집기 및 비상 전원 장치(UPS)

S/W License: RXO-Hazard Cloud 실시간 통합 모니터링 라이선스

[제품 상세 명세서 6] AI 최적화 화학기계연마(CMP) 압력 제어기

제품명 (Model No.): RXO-CMP Force-Master 7

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-CMP Force-Master 7은 웨이퍼 표면을 나노 단위로 평탄화하는 CMP 공정에서 연마 헤드의 압력을 구역별로 정밀하게 제어하는 장치입니다. 알엑스오의 AI 알고리즘이 연마 패드의 마모도와 슬러리의 화학적 특성을 실시간 반영하여 최적의 압력($psi$)을 분배함으로써 웨이퍼 전체의 두께 균일도(Uniformity)를 극대화합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 압력 제어 시스템:

제어 구역: 연마 헤드 내 7~15개 독립 존(Multi-Zone) 압력 제어

압력 범위: $0.1 ~ 20.0 psi$ (제어 정밀도 $\pm0.01 psi$)

액추에이터: 초정밀 전공 레귤레이터 및 고속 솔레노이드 밸브 어레이

2.2 피드백 시스템:

로드셀: 각 존별 실시간 압력 피드백용 고감도 압력 센서

인터페이스: 고속 광섬유 통신을 통한 설비 주 제어기와의 동기화

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Uniformity AI:

Real-time Profile Correction: 연마 도중 발생하는 웨이퍼 가장자리와 중심부의 연마율 차이를 분석하여 나노초 단위로 압력 프로파일 보정.

Removal Rate Prediction: 슬러리의 pH값과 공급 유량을 데이터화하여 잔류 막질 두께를 실시간으로 예측 및 제어.

3.2 Virtual Profiler:

실제 측정 없이도 공정 중에 웨이퍼의 평탄도 상태를 가상 시뮬레이션하여 데이터 공백을 메우는 디지털 트윈 기술 적용.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Zero-Chipping Prevention: 압력 변화가 급격히 일어날 경우 AI가 1ms 내에 감지하여 웨이퍼 크랙 및 엣지 결함을 방지하는 비상 완충 제어 로직 탑재.

Adaptive Pad-Wear Comp: 연마 패드의 소모 상태에 따른 마찰력 변화를 학습하여 공정 조건(Recipe)을 자동 최적화.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

WIWNU (Within-Wafer Non-Uniformity): 기존 대비 20% 이상 개선

연마 속도 안정성: $\pm1.0\%$ 이내 유지

공정 시간 단축: 최적의 연마 압력 유지로 Tact Time 10% 감소

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Pressure Unit: 메인 압력 제어 함체 및 밸브 매니폴드

Head Sensor Kit: 연마 헤드 부착용 초소형 로드셀 세트

S/W Package: RXO-CMP Optimizer 분석 및 제어 소프트웨어

[제품 상세 명세서 7] 지능형 반도체 패키징 라인 자율 물류 유닛

제품명 (Model No.): RXO-PackMove AMV-200

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-PackMove AMV-200은 반도체 후공정(Packaging/Test) 및 물류 자동화 라인에서 웨이퍼 매거진과 완제품 박스를 이송하는 고성능 자율 주행 로봇(AMR)입니다. 알엑스오의 고정밀 라이다 및 비전 AI 기술을 결합하여 협소한 복도와 작업자가 상주하는 공간에서도 안전하고 정확하게 경로를 생성하며 공정 효율을 극대화합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 자율 주행 하드웨어:

센서: 360도 듀얼 LiDAR + 스테레오 카메라 + 초음파 장애물 감지 센서

구동부: 메카넘 휠(Mecanum Wheel) 시스템 (360도 제자리 회전 및 전방향 평행 이동 가능)

적재 하중: 최대 100kg (웨이퍼 캐리어 및 박스 대량 적재 대응)

2.2 전력 시스템:

배터리: 리튬 인산철(LFP) 고안전성 배터리 (10분 충전 시 3시간 가동)

충전 방식: 무선 자기유도 방식 자동 충전 도킹 스테이션 연동

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Fleet Management AI:

Dynamic Path Planning: 공장 내 실시간 혼잡도를 분석하여 수십 대의 로봇이 정체 없이 이동할 수 있는 최적의 군집 주행 알고리즘.

Predictive Navigation: 작업자의 이동 패턴을 예측하여 충돌 가능성을 사전에 회피하는 인공지능 주행 기술.

3.2 MES/OHT 연동 엔진:

상위 제조 실행 시스템(MES)과 직접 통신하여 우선순위 물류를 자동 배정하고 천장 이송 장치(OHT)와 교차로 우선순위 자동 조율.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Cleanroom Compliance: 진동 최소화 정밀 구동 설계 및 특수 무진 휠 적용으로 반도체 Class 10 클린룸 환경 완벽 대응.

Smart Cargo Locker: 운송 중인 제품의 흔들림을 감지하여 속도를 자동 조절하고, 인증된 작업자만 물류를 인계받을 수 있는 생체 인식 잠금 장치 탑재.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

위치 정밀도: $\pm2mm$ 이내 (정밀 하역 작업 가능)

최대 속도: $1.5m/s$ (조절 가능)

가동 효율: 연중무휴 24시간 가동 체계 (자동 충전 스케줄링)

6. 구성품 리스트 (Package Components)

AMV Body: 자율 주행 로봇 본체

Charging Dock: 무선 고속 충전 스테이션

Control Software: RXO-Logistics 통합 관제 시스템 라이선스

[제품 상세 명세서 8] IoT 연동 천장 이송 장치(OHT) 속도 가변 모듈

제품명 (Model No.): RXO-OHT Velo-Shift (Gen 2)

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-OHT Velo-Shift는 반도체 팹(FAB) 천장에서 웨이퍼 FOUP을 운송하는 OHT 시스템의 주행 속도를 실시간 최적화하는 지능형 모듈입니다. 곡선 구간, 분기점, 교차로에서의 병목 현상을 예측하여 속도를 유연하게 조절함으로써 물류 정체를 30% 감소시키고 웨이퍼에 가해지는 진동을 최소화합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 구동 제어부:

모터 인터페이스: 고속 서보 드라이브 통합 제어 보드 (실시간 PWM 제어)

진동 센서: 주행 중 충격 감지용 3축 가속도계 ($0.001g$ 해상도)

2.2 통신 및 감지:

저지연 통신: 5G/Wi-Fi 6 기반의 실시간 위치 전송 유닛

장애물 감지: 전방 차량 거리 측정을 위한 적외선(IR) 및 레이저 거리 센서

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Flow Master AI:

Traffic Prediction: 전체 OHT 트래픽 데이터를 분석하여 1분 후의 정체 구역을 예측하고 사전에 주행 경로를 우회하거나 속도를 감속.

Jerk-Free 가감속 알고리즘: 급격한 속도 변화로 인한 웨이퍼 이탈이나 손상을 방지하기 위해 가속도의 변화량(Jerk)을 제어하는 부드러운 주행 프로파일 생성.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Retro-fit Ready: 기존에 설치된 다양한 제조사의 OHT 하드웨어를 교체할 필요 없이 컨트롤러 모듈만 장착하여 AI 기능을 구현.

Energy-Recuperation: 제동 시 발생하는 에너지를 회수하여 소비 전력을 절감하는 고효율 전력 관리 기술 적용.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

물류 처리량(Throughput): 기존 대비 평균 18% 향상

운송 중 진동 사고: 95% 이상 감소

시스템 응답 속도: 장비 간 통신 지연 1ms 미만

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Speed Controller: OHT 탑재형 메인 모듈

Fleet Sync Hub: 천장 섹션별 데이터 조율 장치

Management Tool: RXO-OHT Monitor 통합 관리 툴

[제품 상세 명세서 9] AI 기반 포토마스크 오염 자동 진단 시스템

제품명 (Model No.): RXO-MaskShield v5.0

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-MaskShield v5.0은 노광(Photolithography) 공정의 핵심 요소인 포토마스크의 미세 오염, 파티클, 펠리클 손상을 AI 비전 기술로 자동 검사하는 시스템입니다. 설계 레이아웃 데이터(GDS/OAS)와 실제 이미지를 대조 분석하여 전사 불량을 유발하는 나노 결함을 신속하게 감지합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 초정밀 광학계:

광원: 다중 파장(DUV/UV/White Light) 가변 조명 시스템

이미징: 16K 초고해상도 라인 스캔 카메라 및 100배율 대물렌즈 모듈

분해능: 10nm 이하의 미세 오염 식별 가능

2.2 스테이지 시스템:

이송: 마스크 손상 방지를 위한 비접촉식 공압 부상 이송 방식 적용

정밀도: 나노미터 단위의 반복 정밀도를 갖춘 듀얼 서보 스테이지

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-MaskNet AI:

Layout-to-Image Comparison: 원본 회로 설계 데이터와 실제 마스크 스캔 이미지를 픽셀 단위로 비교하여 미세한 패턴 왜곡 및 이물질 추출.

Pellicle Integrity Check: 펠리클막의 투과율 변화 및 물리적 처짐 현상을 AI가 분석하여 수명 예측.

3.2 결함 분류 자동화:

탐지된 오염 물질을 크기, 형태, 위치에 따라 세정 가능 여부와 위험도를 즉각 등급화하여 보고.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Non-Destructive Inspection: 마스크 표면에 물리적 자극을 주지 않는 광학 기반 비접촉 검사로 마스크 수명 연장.

Cloud Sync Library: 발견된 결함 유형을 전사 데이터베이스와 동기화하여 반복적인 오염 원인을 공정별로 역추적.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

검사 속도: 6인치 포토마스크 기준 전면 스캔 180초 이내

결함 감지율: 99.99% (False-Negative Zero 실현)

시스템 가동 효율: 자동 세정 시스템과 연동 시 24시간 가동 가능

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Inspection Mainframe: 광학 챔버 및 스테이지 유닛

AI Processing Unit: 대용량 이미지 분석용 워크스테이션

Operator Console: 고해상도 모니터 및 결과 분석 툴

[제품 상세 명세서 10] 지능형 반도체 칠러 냉각 효율 최적화기

제품명 (Model No.): RXO-Chiller Optimizer Pro

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-Chiller Optimizer Pro는 반도체 공정 챔버의 온도를 조절하는 칠러(Chiller) 설비의 냉각 효율을 극대화하고 전력 소비를 최적화하는 지능형 제어 장치입니다. 공정 장비의 부하 변화를 예측하여 냉매의 유량과 온도를 유연하게 조절함으로써 안정적인 공정 온도 유지와 비용 절감을 실현합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 센서 및 인터페이스:

압력 센서: 냉매 순환 압력 감지용 실시간 센서 인터페이스

유량 센서: 칠러 배관 내 유량 모니터링 모듈

전력 미터: 장비 소비 전력 분석용 IoT 전력 센서

2.2 컨트롤 모듈:

MCU: 실시간 딥러닝 연산이 가능한 산업용 고성능 컨트롤러

통신: Modbus/TCP, SECS/GEM 연동 지원

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Cooling AI:

Load-Based Prediction: 생산 장비의 가동 스케줄을 분석하여 필요한 냉각 부하를 1분 전에 예측, 냉매 펌프의 RPM을 미리 조절하는 예지 제어.

Efficiency Optimizer: 주변 대기 온도와 냉각수 온도를 실시간 비교하여 최적의 압축기 가동률 산출.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Energy-Saving Mode: 공정 대기(Idle) 상태 시 AI가 최적의 저전력 모드로 자동 전환하여 연간 전력비 15% 이상 절감.

Leak & Blockage Alert: 배관의 미세 누수나 이물질에 의한 폐쇄 징후를 유량 변화 데이터를 통해 즉각 감지.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

온도 제어 안정성: $\pm0.1^\circ C$ 이내 유지

에너지 절감률: 기존 수동 제어 대비 평균 12% ~ 20% 절감

시스템 응답 속도: 설정 온도 도달 시간 20% 단축

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Optimizer Module: 메인 제어 박스

Sensor Set: 냉매 배관용 압력 및 유량 센서 세트

Analysis Tool: 실시간 효율 모니터링 소프트웨어

[제품 상세 명세서 11] IoT 기반 진공 펌프 소음 및 진동 분석기

제품명 (Model No.): RXO-PumpGuard V-Vibe (Enterprise)

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-PumpGuard V-Vibe는 반도체 공정의 진공 상태를 유지하는 핵심 설비인 드라이 진공 펌프(Dry Vacuum Pump)의 상태를 실시간 진단하는 고성능 예지보전 시스템입니다. 알엑스오의 고주파 음향 방출(AE) 감지 기술과 3축 진동 분석 AI를 결합하여, 펌프 내부의 임펠러 마모, 베어링 결함, 가스 고형화에 따른 부하 전조 증상을 나노초 단위로 포착하여 불시 가동 중단을 방지합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 복합 정밀 센서 유닛:

진동 센서: 광대역 3축 가속도계 (주파수 응답 범위: $10Hz \sim 25,000Hz$)

AE(Acoustic Emission) 센서: 미세 균열 및 마찰음 감지용 초음파 센서 ($100kHz \sim 1MHz$)

온도 감지: 펌프 하우징 및 모터부 실시간 표면 온도 측정 ($0.1^\circ C$ 분해능)

2.2 데이터 로거 및 통신:

Processor: 엣지 FFT(Fast Fourier Transform) 연산 전용 DSP 탑재

Connectivity: 산업용 EtherCAT 및 무선 Wi-Fi 6(보안 인증형) 동시 지원

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Acoustic Fingerprint AI:

패턴 매칭: 펌프의 회전 속도별 정상 주파수 지문을 학습하여, 미세하게 발생하는 이상 소음(스크래치, 캐비테이션 등)을 배경 소음과 분리 식별.

Load-Adaptive Analysis: 공정 가스 유입량에 따라 변하는 펌프의 부하 상태를 AI가 자동 인식하여 오경보(False Alarm)를 원천 차단.

3.2 고장 유형 자동 진단:

검출된 진동 데이터를 기반으로 결함 원인(베어링 결함, 샤프트 불균형, 고형물 퇴적 등)을 카테고리별로 자동 분류하여 유지보수 가이드 제시.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Non-Invasive Installation: 펌프 가동을 멈추지 않고 외부 케이스에 마그네틱 혹은 스크류 방식으로 간편하게 장착 가능.

Hybrid Diagnostics: 진동 데이터와 모터 전류 데이터를 교차 분석하여 기계적 결함과 전기적 결함을 동시에 정밀 판정.

Local Cloud Synergy: 현장에서의 즉각적인 위험 알람(Edge)과 클라우드 기반의 장기 수명 예측(Trend Analysis) 서비스 동시 제공.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

결함 사전 감지 정확도: 98.5% 이상

사전 경보 시간: 실제 고장 발생 최소 2주 전 전조 증상 보고

데이터 샘플링 속도: 채널당 최대 100kS/s (고속 과도 신호 포착)

6. 구성품 리스트 (Package Components)

V-Vibe Node: 진동/AE 복합 센서 노드 및 고온 대응 케이블

Master Controller: 최대 8개 펌프를 동시 관리하는 통합 수집 장치

Software License: RXO-PumpInsight 분석 대시보드 및 리포팅 툴

[제품 상세 명세서 12] AI 기반 극자외선(EUV) 노광 패턴 왜곡 보정기

제품명 (Model No.): RXO-EUV Pattern-Fixer (Hyper-NA Edition)

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-EUV Pattern-Fixer는 3nm 이하의 초미세 노광 공정에서 발생하는 빛의 회절 및 마스크 열변형에 의한 패턴 왜곡을 실시간으로 보정하는 지능형 시스템입니다. 알엑스오그룹의 슈퍼컴퓨팅 기반 OPC(Optical Proximity Correction) 알고리즘을 실시간 공정에 적용하여, 웨이퍼 상에 투영되는 회로의 정밀도를 나노미터 단위로 교정합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 초정밀 광학 제어 유닛:

보정 미러 인터페이스: EUV 반사경의 위치를 $0.1nm$ 단위로 조정하는 피에조(Piezo) 액추에이터 제어 보드

환경 센서: 챔버 내 온도, 압력, 미세 진동을 실시간 감지하는 통합 센서 노드

2.2 연산 가속 시스템:

AI Processor: 딥러닝 연산 전용 초대규모 FPGA 클러스터 탑재

인터페이스: 노광 장비 주 제어기와 직접 연동되는 고속 광통신 포트

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Neural OPC 엔진:

실시간 보정: 실제 노광 이미지와 설계 도면을 비교하여 실시간으로 노출량(Dose) 및 초점(Focus)을 최적화하는 신경망 모델.

Thermal Drift Compensation: 노광 시 발생하는 열에 의한 마스크 팽창을 예측하여 패턴 위치를 선제적으로 보정.

3.2 왜곡 시뮬레이션:

몬테카를로 시뮬레이션 기술을 AI로 가속화하여 복잡한 회로 패턴의 결함을 공정 전 단계에서 예측 및 회피.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Real-time Closed-loop: 사후 검사가 아닌, 노광 공정 중에 실시간으로 피드백을 주고받는 세계 최고 수준의 폐쇄 루프 제어 시스템.

Sub-nm Precision: 기존 수동 보정의 한계를 뛰어넘는 0.5nm 수준의 오버레이(Overlay) 정밀도 확보 지원.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

패턴 왜곡 감소율: 기존 공정 대비 30% 이상 향상

연산 지연 시간: 단일 레이어당 10ms 이내 처리

수율 기여도: 미세 패턴 선폭(CD) 산포 15% 개선

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Main Logic Unit: AI 연산 가속기 본체

Sensor Integration Kit: 노광기 내부 장착용 정밀 센서 패키지

S/W Package: RXO-EUV Pro 패턴 최적화 소프트웨어

[제품 상세 명세서 13] 지능형 반도체 테스트 핸들러 정밀 제어 보드

제품명 (Model No.): RXO-Handler Control-I

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-Handler Control-I는 반도체 후공정 테스트 단계에서 웨이퍼나 패키지를 테스터로 이송하고 분류하는 핸들러 장비의 핵심 제어 보드입니다. 알엑스오의 고속 모션 제어 기술과 지능형 픽앤플레이스(Pick-and-Place) 알고리즘을 탑재하여 이송 중 발생하는 칩 손상을 방지하고 테스트 공정의 수루풋(Throughput)을 극대화합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 제어 및 구동부:

Multi-Axis Control: 최대 64축 독립 서보 모터 동시 제어 (동기화 정밀도 1$\mu$s)

I/O 인터페이스: 고속 디지털 입출력 및 아날로그 센서 입력 128채널 확보

2.2 이미지 처리 유닛:

Vision Link: 칩 정렬 및 불량 판별용 카메라 연동 포트 4채널 (고속 MIPI 인터페이스)

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Smooth Motion AI:

진동 억제 제어: 고속 이동 시 발생하는 관성 진동을 역위상 제어로 상쇄하여 칩이 소켓에 안착될 때의 충격을 제로화.

Auto-Calibration: 픽커(Picker)의 미세한 마모나 중심축 어긋남을 비전 데이터로 감지하여 위치값을 매순간 자동 보정.

3.2 지능형 분류 알고리즘:

테스트 결과 데이터와 실시간 연동하여 양품과 불량품을 최단 동선으로 분류하는 물류 최적화 엔진.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

High-Speed Reliability: 시간당 30,000개 이상의 칩을 처리하는 고속 환경에서도 오차 없는 이송 보장.

Modular Design: 다양한 핸들러 제조사 및 테스터 사양에 맞춰 기능을 쉽게 확장하거나 변경할 수 있는 유연한 아키텍처.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

이송 정밀도: $\pm5\mu m$ (반복 재현성 기준)

처리 속도(UPH): 기존 제어기 대비 20% 향상

칩 파손율: 0.001% 이하 달성

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Control Board: 메인 제어 보드 유닛

Driver Module: 고속 서보 드라이버 인터페이스 모듈

Firmware Suite: RXO-Motion 가속 및 보정 펌웨어

[제품 상세 명세서 14] IoT 연동 가스 캐비닛 실시간 압력 감지 센서

제품명 (Model No.): RXO-GasPress IoT-S1

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-GasPress IoT-S1은 반도체 공정 가스를 공급하는 가스 캐비닛 및 배관 내부의 압력을 실시간 모니터링하는 산업용 IoT 센서입니다. 가스 공급의 미세한 변동이 공정 결과에 미치는 영향을 방지하기 위해 0.01% 단위의 초정밀 압력 측정을 수행하며, 알엑스오의 보안 네트워크를 통해 실시간 데이터 로그를 MES에 전송합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 압력 센싱 모듈:

측정 방식: 내식성 다이아프램 기반 정전용량식 압력 센서 (특수가스 내부식 인증)

측정 범위: $0 \sim 1000 psi$ (분해능 0.01 psi)

온도 보상: 내장형 온도 센서를 통한 열팽창 오차 자동 보정

2.2 통신 및 전원:

Connectivity: PoE(Power over Ethernet) 및 무선 LoRa (가시거리 1km 대응) 지원

Display: 현장 확인용 고휘도 LCD 인디케이터 탑재

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Pressure Guard AI:

Leak Detection: 배관 연결부의 미세한 압력 강하 추이를 분석하여, 육안으로 확인 불가능한 가스 누출 가능성 조기 경보.

Supply Stability Analysis: 가스 소모량 패턴을 분석하여 실린더 교체 시점 및 공급 장치 이상 유무 실시간 진단.

3.2 클라우드 대시보드:

다수의 가스 캐비닛 상태를 한눈에 파악할 수 있는 웹 기반 통합 관제 인터페이스 제공.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Extreme Corrosive Resistance: 부식성이 강한 불소계 가스 환경에서도 장기 안정성을 유지하는 특수 코팅 소재 적용.

Explosion-Proof Certification: 위험물 취급 구역 설치를 위한 국내외 방폭 인증 완벽 획득.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

측정 정확도: $\pm0.05\%$ Full Scale

데이터 전송 주기: 최소 10ms 단위 (실시간 버스트 모드 지원)

배터리 수명: 무선 사용 시 최대 5년 (고효율 에너지 관리 시스템)

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Pressure Sensor: 본체 및 배관 체결용 피팅(Fitting)

Gateway Hub: 현장 데이터 수집 및 전송 장치

Software: RXO-GasMonitor 통합 관리 라이선스

[제품 상세 명세서 15] AI 기반 반도체 생산 수율(Yield) 예측 엔진

제품명 (Model No.): RXO-YieldPredict Master (Enterprise)

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-YieldPredict Master는 반도체 제조 공정 전반에서 발생하는 수조 개의 빅데이터를 통합 분석하여 최종 수율을 사전에 예측하는 소프트웨어 기반 지능형 엔진입니다. 알엑스오그룹의 전용 머신러닝 모델을 통해 공정 파라미터와 수율 간의 상관관계를 규명하고, 잠재적인 불량 요인을 선제적으로 제거하여 생산 손실을 최소화하는 의사결정 지원 솔루션입니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 컴퓨팅 인프라:

연산 장치: 초고속 병렬 처리를 위한 엔비디아(NVIDIA) H100급 GPU 클러스터 및 전용 FPGA 가속기

메모리 아키텍처: 테라바이트(TB)급 인메모리 데이터베이스(In-memory DB) 기술 적용

2.2 데이터 연동 규격:

Connectivity: MES, ERP, EDS(Electrical Die Sorting) 서버와 직접 연동되는 고속 데이터 버스

Protocol: SECS/GEM, OPC-UA 및 전용 REST API 지원

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-YieldCore AI:

Root Cause Analysis (RCA): 수천 개의 공정 변수 중 수율 하락에 결정적인 영향을 미친 핵심 변수(Key Process Variable)를 98% 확률로 자동 추출.

Virtual Metrology 연동: 실제 계측 데이터가 부족한 경우에도 AI 시뮬레이션을 통해 가상의 계측 데이터를 생성하여 예측 정확도 보완.

3.2 파라미터 감도 분석:

특정 공정 장비의 미세한 설정값 변화가 최종 수율에 미치는 영향을 수치화하여 최적의 공정 윈도우(Process Window) 제안.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Explainable AI (XAI): 단순 예측 결과뿐만 아니라, AI가 왜 그런 판단을 내렸는지에 대한 근거(기여도)를 시각화하여 엔지니어의 신뢰성 확보.

Real-time Feedback Loop: 수율 저하 징후 발견 시 즉각적으로 전공정 장비에 최적 보정값을 전송하여 실시간 불량 방지 실현.

Cross-Site Learning: 여러 FAB의 데이터를 익명화하여 통합 학습함으로써 신규 공정 도입(Ramp-up) 시 수율 안정화 기간을 50% 단축.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

수율 예측 정확도: 실제 EDS 결과 대비 오차 $\pm0.5\%$ 이내

데이터 처리 속도: 하루 발생량(수십 TB) 기준 1시간 이내 전체 분석 완료

Ramp-up 단축: 신공정 수율 조기 안정화 기간 평균 3개월 단축

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Prediction Engine: 서버 설치형 메인 분석 엔진 (Core License)

Dashboard Suite: 실시간 수율 모니터링 및 시뮬레이션 웹 대시보드

Security Module: 제조 데이터 유출 방지를 위한 하드웨어 기반 암호화 모듈

[제품 상세 명세서 16] 지능형 후공정 솔더볼 결함 딥러닝 검사기

제품명 (Model No.): RXO-SolderCheck AI (Super-Vision)

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-SolderCheck AI는 반도체 패키징 후공정에서 칩과 기판을 연결하는 솔더볼(Solder Ball)의 정렬, 크기, 크랙, 미성형 등을 검사하는 자동 비전 장비입니다. 10$\mu$m 이하의 초미세 볼 결함을 놓치지 않기 위해 3D 기하학 분석 AI와 딥러닝 세그멘테이션 기술을 결합하여 가짜 불량(Over-kill) 없는 정밀 검사를 수행합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 3D 광학 시스템:

카메라: 25메가픽셀 초고속 CMOS 센서 및 텔레센트릭(Telecentric) 렌즈

조명 유닛: 멀티 앵글(8방향) 도돔(Dome) LED 조명 및 구조광 프로젝션 모듈

분해능: 나노미터 단위의 높이 계측 및 수평 분해능 $1\mu m/pixel$

2.2 이송 및 구동:

Stage: 리니어 모터 기반 고속 인덱스 스테이지 (정밀도 $\pm2\mu m$)

Handling: 패키지 손상 방지를 위한 ESD Safe 진공 픽업 툴

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-BallNet AI:

3D 융합 분석: 2D 평면 이미지와 3D 높이 정보를 동시에 학습하여 볼의 체적($Volume$) 및 경사도(Tilt) 불량을 입체적으로 판정.

Segmentation: 배경 노이즈(기판 패턴)와 솔더볼을 명확히 분리하여 미세 크랙이나 브릿지를 99.9% 정확도로 탐지.

3.2 지능형 ADC (Auto Defect Classification):

발견된 결함을 미성형, 냉납, 이물, 브릿지 등 16개 항목으로 자동 분류 및 통계 처리.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Shadow-free Vision: 알엑스오만의 다중 광원 합성 기술로 솔더볼 주변의 그림자 간섭을 제거하여 밀집된 구조에서도 정확한 검출 가능.

Rapid AI Training: 신규 제품군(Package Type) 변경 시 단 10장의 양품 이미지만으로도 검사 모델 생성 가능(Few-shot Learning).

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

검사 속도(UPH): 시간당 최대 15,000개 패키지 처리

가짜 불량률 (False Alarm): 100ppm 이하 달성

최소 결함 감지: $5\mu m$ 크기의 미세 크랙 및 이물 감지

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Inspection Mainframe: 광학 챔버 및 고속 이송 시스템

Processing Unit: 듀얼 RTX 급 GPU가 탑재된 고성능 비전 워커

S/W Package: RXO-SolderVision 운영 및 관리 소프트웨어

[제품 상세 명세서 17] IoT 기반 반도체 공정 폐수 유해 성분 분석기

제품명 (Model No.): RXO-EcoStream Aqua-Pure (V3)

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-EcoStream Aqua-Pure는 반도체 세정 및 식각 공정 후 배출되는 폐수 내의 유해 화학물질($HF, H_2O_2, Cu, NH_3$ 등) 농도를 실시간으로 정밀 측정하는 IoT 지능형 분석 시스템입니다. 알엑스오그룹의 분광 분석 기술과 AI 보정 알고리즘을 결합하여, 기존 수동 샘플링 방식의 시간차 문제를 해결하고 환경 규제 준수 및 폐수 처리 비용 최적화를 실현합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 분석 모듈:

측정 방식: 다중 파장 자외선-가시광선(UV-Vis) 흡수 분광법 및 이온 선택성 전극(ISE) 하이브리드 방식

감지 범위: 가속화된 센싱 소자로 0.1ppm ~ 10,000ppm 광범위 대응

시료 전처리: 자동 필터링 및 희석 모듈 내장 (슬러지 및 기포 제거 기능)

2.2 데이터 및 통신:

Connectivity: 4-20mA 아날로그 출력, Modbus/TCP, LoRa 무선 통신 지원

Display: 10인치 터치스크린 패널 (실시간 농도 그래프 시각화)

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-Spectral AI Engine:

복합 성분 분리: 여러 화학 물질이 섞인 폐수 환경에서 각 성분 고유의 흡수 스펙트럼을 AI가 분리하여 개별 농도를 정확히 산출.

Auto-Calibration: 센서 오염도에 따른 데이터 드리프트를 AI가 감지하여 표준액 없이도 소프트웨어적으로 영점을 자동 보정.

3.2 환경 사고 예방 로직:

농도 급증 시 유입 밸브를 즉각 차단하고 비상 저류조로 라인을 변경하는 인터락(Interlock) 자동화.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Reagent-Free Analysis: 화학 시약을 거의 사용하지 않는 광학식 분석으로 유지보수 비용 및 2차 폐기물 발생 90% 절감.

Corrosion-Proof Housing: 불산($HF$) 등 강산성 폐수 노출에도 견딜 수 있는 테플론(PTFE) 및 티타늄 소재의 내부 유로 설계.

Global Compliance: 지역별 환경 규제 수치(TOC, TN, TP 등)를 데이터베이스화하여 위반 가능성 조기 경보.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

측정 정확도: $\pm2\%$ Full Scale 이내

재현성: 동일 시료 기준 $\pm1\%$ 이내

응답 시간: 시료 유입 후 분석 결과 출력까지 60초 이내 (실시간 대응)

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Main Analyzer: 분광 분석기 본체 및 자동 전처리 유닛

Sensor Probe: 배관 직접 삽입형 고내구성 프로브

S/W Package: RXO-EcoMonitor 통합 수질 관리 솔루션

[제품 상세 명세서 18] AI 기반 리소그래피 광원 안정성 유지 장치

제품명 (Model No.): RXO-BeamGuard Stable-L

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-BeamGuard Stable-L은 노광(Lithography) 장비의 심장부인 레이저 광원(ArF, KrF 등)의 에너지 출력과 파장 안정성을 실시간으로 모니터링하고 제어하는 지능형 모듈입니다. 알엑스오의 초고속 피드백 AI를 통해 레이저 펄스의 미세한 변동을 억제하여 웨이퍼 전면에 균일한 노광 에너지를 조사함으로써 패턴 해상도를 극대화합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 광학 감지 시스템:

에너지 모니터: 0.01% 단위의 미세 에너지 변동을 감지하는 초고속 파이로전기(Pyroelectric) 센서

파장 분석기: 피코미터($pm$) 단위 분해능을 갖춘 온-라인 에탈론(Etalon) 분광 분석기

2.2 제어 회로:

Processor: 고속 연산을 위한 전용 FPGA 기반 실시간 제어 보드

Actuator 인터페이스: 가스 압력 및 전압 가변을 위한 전용 드라이버 포트

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-PulseMaster AI:

펄스 예측 제어: 이전 펄스의 에너지 데이터를 기반으로 다음 펄스의 출력을 실시간 보정하여 펄스 간 에너지 균일도(Energy Stability) 확보.

Bandwidth Optimization: 레이저 파장의 대역폭을 AI가 분석하여 최적의 해상도를 유지하도록 챔버 가스 혼합비를 자동 조절.

3.2 소모품 수명 예측:

레이저 가스 및 전극 마모 상태를 AI가 진단하여 최적의 가스 교체(Injection) 시점 제안.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Ultra-Fast Response: 레이저 펄스 주파수($6kHz$ 이상)에 대응하는 나노초 단위의 연산 및 제어 속도 구현.

Heat-Sink Integrated Design: 고출력 레이저 가동 시 발생하는 열에 의한 센서 오차를 방지하는 액체 냉각 기반 열 안정화 구조.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

에너지 안정성: $\pm0.2\%$ (3-sigma 기준) 이내 관리

파장 중심 정밀도: $\pm0.05pm$ 이내 유지

다운타임 감소: 광원 관련 이슈에 의한 장비 정지율 25% 감소

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Beam Monitoring Unit: 고속 에너지 센서 및 분광 모듈

Beam Control Controller: 실시간 데이터 처리 및 제어 엔진

Analytics S/W: RXO-BeamInsight 광원 특성 분석 툴

[제품 상세 명세서 19] 지능형 웨이퍼 평탄도 초정밀 측정 시스템

제품명 (Model No.): RXO-FlatScan Nano-3D

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-FlatScan Nano-3D는 반도체 웨이퍼의 전면 및 후면의 나노 단위 평탄도(Flatness), 휨(Warp), 곡률(Bow)을 비접촉 방식으로 측정하는 초정밀 검사 장비입니다. 알엑스오의 멀티 채널 간섭계 기술과 딥러닝 보정 엔진을 적용하여, 웨이퍼의 미세한 변형이 리소그래피 공정의 초점(Focus) 불량으로 이어지는 것을 방지합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 측정 광학계:

센서 기술: 멀티-헤드 정전용량식 센서 및 백색광 간섭계(WLI) 하이브리드 구성

측정 포인트: 12인치 웨이퍼 기준 최대 1,000,000개 지점 동시 스캔

수직 분해능: $0.5nm$ 수준의 초미세 단차 측정 가능

2.2 구동 시스템:

스테이지: 공압 부상 방식의 진동 격리 스테이지 (ISO Class 1 대응)

웨이퍼 홀더: 휨 측정을 위한 에지 그립(Edge Grip) 방식 및 진공 흡착 방식 가변 지원

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-TopoMap AI:

3D 표면 복원: 복잡한 반사 특성을 가진 다층막 웨이퍼의 표면 형상을 노이즈 없이 3D 디지털 트윈으로 복원.

Focus Margin Prediction: 측정된 평탄도 데이터를 노광기 사양과 결합하여, 특정 구역의 초점 이탈 위험도를 사전 예측.

3.2 패턴 노이즈 필터링:

실제 웨이퍼의 휘어짐과 상부 회로 패턴의 요철을 구분하여 순수 기판의 변형 데이터만 추출하는 지능형 필터링.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Dual-Sided Simultaneous Scan: 웨이퍼를 뒤집지 않고 상/하부 평탄도를 동시에 측정하여 측정 시간 단축 및 정밀도 향상.

Zero-Stress Handling: 물리적 접촉을 최소화한 베르누이 픽업 방식 적용으로 박막 웨이퍼의 파손 및 오염 방지.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

측정 반복 정밀도: $10nm$ (Total Wafer Geometry 기준)

처리 속도(Throughput): 시간당 60매(WPH) 이상의 고속 전수 검사 가능

측정 가능 두께: $50\mu m$ 초박형 웨이퍼부터 대응 가능

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Scanner Mainframe: 고정밀 간섭계 및 방진 테이블

Computing Station: 대용량 3D 데이터 처리용 워크스테이션

S/W: RXO-GeoAnalyzer 3D 형상 분석 소프트웨어

[제품 상세 명세서 20] IoT 연동 클린룸 지능형 공조 에너지 세이버

제품명 (Model No.): RXO-HVAC Smart-Save

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-HVAC Smart-Save는 반도체 팹(FAB) 운영비의 30% 이상을 차지하는 클린룸 공조 시스템(HVAC)의 전력 소모를 최적화하는 지능형 에너지 관리 솔루션입니다. 알엑스오의 IoT 센서 네트워크가 클린룸 내부의 미세입자 농도, 온습도, 기류를 실시간 감지하여, 청정도를 유지하면서도 팬(FFU) 속도와 냉동기 부하를 최소화하는 정밀 제어를 수행합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 IoT 센서 노드:

멀티 센서: 온도($\pm0.1^\circ C$), 습도($\pm1.5\%RH$), 차압, 파티클 농도 통합 감지

Connectivity: Zigbee 3.0 및 Wi-Fi 6 하이브리드 무선망 구성

2.2 제어 인터페이스:

Inverter Link: 대형 공조 팬 모터와 연동되는 고성능 인버터 제어 모듈

Gateway: 수천 개의 센서 데이터를 10ms 단위로 수집하는 산업용 게이트웨이

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-EcoFlow AI:

동적 부하 최적화: 설비 가동 상태와 인원 이동에 따른 열 부하 변화를 예측하여 공조 풍량을 실시간 가변 조정.

Particle-Driven Control: 미세입자 수치가 안정적일 경우 팬(FFU)의 회전수를 최적 지점까지 낮추어 잉여 에너지 소모 차단.

3.2 예지 보전 알고리즘:

공조 필터의 압력 손실 추이를 분석하여 최적의 필터 교체 주기를 알리고 에너리 효율 저하 방지.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

AI-Based Airflow Modeling: 클린룸 전체의 공기 흐름을 CFD(전산유체역학) 기반 AI로 학습하여 사각지대 없는 효율적 냉각 실현.

Seamless Integration: 기존 공장 자동화 시스템(BAS)의 변경 없이 상위 레이어에서 지능형 최적화 명령만 전송하는 오버레이 방식.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

에너지 절감률: 기존 고정식 공조 시스템 대비 평균 25% ~ 40% 절감

청정도 유지율: ISO Class 기준 준수율 100% (위험 수치 도달 전 선제 대응)

투자 회수 기간(ROI): 시스템 도입 후 18개월 이내 비용 회수 가능

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Energy Gateway: 데이터 수집 및 AI 연산 허브

IoT Sensor Nodes: 구역별 무선 센서 패키지 (50개 단위)

S/W Package: RXO-Energy Manager 에너지 대시보드 및 리포트 솔루션

[제품 상세 명세서 21] AI 기반 반도체 설계용 자동 레이아웃 최적화기

제품명 (Model No.): RXO-EDA Layout-Master AI

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-EDA Layout-Master AI는 차세대 미세 공정(3nm 이하) 반도체 설계 시, 수십억 개의 트랜지스터와 배선을 최적의 위치에 배치(Placement & Routing)하는 지능형 설계 보조 소프트웨어 엔진입니다. 알엑스오의 강화학습(Reinforcement Learning) 엔진을 통해 설계 시간을 획기적으로 단축하고, 전력 소모(Power), 성능(Performance), 면적(Area)의 PPA 최적화를 자동으로 수행합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

연산 아키텍처: 분산 컴퓨팅 기반 하이퍼 스케일 서버 클러스터 (H100 GPU 128대 이상 권장)

메모리 요구사항: 대용량 레이아웃 데이터 처리를 위한 노드당 2TB 이상의 고속 RAM

스토리지: 페타바이트(PB)급 NVMe SSD 스토리지 어레이

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-AutoRoute RL: 수백만 개의 라우팅 경로 중 기생 커패시턴스($C$)와 저항($R$)이 최소화되는 경로를 스스로 학습하여 생성.

Hotspot Prediction AI: 리소그래피 공정에서 결함이 발생할 가능성이 높은 패턴(LFD)을 설계 단계에서 실시간으로 예측 및 수정 제안.

Design Rule Check (DRC) AI: 수만 개의 설계 규칙을 실시간 검증하여 위반 사항을 0.1초 이내에 식별.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Multi-Objective Optimization: 전력 최적화와 속도 향상이라는 상충하는 목표 사이에서 최적의 파레토 프론티어(Pareto Frontier) 해를 자동으로 도출.

Cloud-Native Scalability: 로컬 워크스테이션과 클라우드 자원을 유연하게 결합하여 설계 마감 직전 연산력을 폭발적으로 확장 가능.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

설계 주기(TAT): 기존 수동 레이아웃 대비 최대 60% 단축

PPA 개선율: 전력 효율 15% 향상 및 칩 면적 10% 축소

DRC 오류 발생률: 자동 보정 적용 시 초기 설계 대비 95% 감소

6. 구성품 리스트 (Package Components)

S/W Engine: 레이아웃 최적화 코어 라이선스

AI Training Kit: 커스텀 공정 데이터 학습용 툴킷

API Module: 기존 EDA 툴(Cadence, Synopsys 등) 연동 커넥터

[제품 상세 명세서 22] 지능형 스퍼터링 공정 플라즈마 모니터링 센서

제품명 (Model No.): RXO-PlasmaWatch PVD-I

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-PlasmaWatch PVD-I는 금속 배선 증착(Sputtering) 공정 중 챔버 내부의 플라즈마 상태를 실시간 분석하여 증착 품질을 관리하는 고성능 센서 시스템입니다. 광학 발광 분석(OES) 기술에 알엑스오의 지능형 스펙트럼 해석 AI를 결합하여, 플라즈마의 불안정성(Arcing) 및 타겟 마모도를 나노초 단위로 감시합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

광학 센서: $200nm \sim 1100nm$ 광대역 스펙트럼 고해상도 분광기

데이터 수집: 10,000Hz 이상의 고속 샘플링 레이트 지원

내구 설계: 고진공 및 고온 환경 대응용 석영(Quartz) 윈도우 인터페이스

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-ArcDetect AI: 플라즈마 아킹(Arcing) 발생 전조 신호를 파형 분석으로 포착하여 설비 손상 전 전원 차단 신호 송출.

Target Lifetime Predictor: 스펙트럼 강도 변화를 통해 증착 타겟의 잔량을 예측하여 교체 주기를 99% 정확도로 제안.

Deposition Rate Prediction: 플라즈마 밀도 데이터를 기반으로 실제 증착되는 박막 두께를 실시간 추정.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Non-Invasive Monitoring: 공정 환경을 방해하지 않는 비파괴적 광학 측정 방식 적용.

Self-Cleaning Window: 나노 코팅 기술을 적용하여 센서 윈도우에 박막이 증착되어 감도가 저하되는 현상을 최소화.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

아킹 감지 속도: 10$\mu$s 이내 (초고속 인터락 연동)

두께 예측 오차: $\pm1.5\%$ 이내 (실측치 대비)

가동률 기여: 비계획적 챔버 개방 횟수 30% 감소

6. 구성품 리스트 (Package Components)

OES Sensor Unit: 분광기 및 광섬유 케이블

Master Controller: 데이터 처리 및 AI 추론 모듈

S/W License: RXO-Plasma Insight 모니터링 소프트웨어

[제품 상세 명세서 23] IoT 기반 반도체 리드프레임 불량 자동 검사기

제품명 (Model No.): RXO-FrameScan Lead-AI

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 패키지의 지지대 역할을 하는 리드프레임(Lead Frame)의 미세 치수 오차와 표면 결함을 검사하는 고속 비전 시스템입니다. 알엑스오의 멀티 조명 제어 기술과 딥러닝 검사 알고리즘을 통해 분당 수천 개의 프레임을 검사하며, 초정밀 실버 도금 상태 및 리드 휨을 99.9% 정확도로 판별합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

카메라: 12K 해상도 초고속 라인 스캔 카메라 듀얼 구성

조명: 금속 표면 반사 억제를 위한 멀티 도돔(Multi-Dome) LED 시스템

분해능: $2\mu m/pixel$ (미세 스크래치 및 도금 불량 검출 최적화)

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-Surface AI: 리드프레임 표면의 미세한 변색, 찍힘, 도금 누락을 비정형 데이터 학습 모델로 실시간 식별.

Auto-Dimensioning: 리드 간 간격(Pitch), 평탄도(Co-planarity)를 나노미터 단위로 자동 측정 및 규격 검증.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

High-Speed Reel-to-Reel: 릴 방식의 고속 생산 라인에 최적화된 모션 블러 제거 알고리즘 탑재.

AI-Based Pseudo-Defect Filter: 실제 불량과 단순 먼지를 구분하여 과검(Over-kill)률을 0.1% 이하로 관리.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

검사 속도: 분당 50미터(릴 이송 속도 기준)

결함 탐지율: 99.99% (핵심 관리 항목 기준)

반복 정밀도: $\pm1\mu m$ 이내

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Vision Module: 카메라 및 렌즈, 고속 조명 컨트롤러

Inspection Station: 리드프레임 이송 가이드 및 검사 벤치

Software: RXO-FrameExpert 분석 패키지

[제품 상세 명세서 24] AI 기반 반도체 장비 부품 마모 주기 예측기

제품명 (Model No.): RXO-LifeScope Predictive-M

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 장비 내의 로봇 암, 진공 밸브, 세라믹 부품 등 소모성 부품의 마모 상태를 AI로 예측하여 교체 시기를 최적화하는 시스템입니다. 부품에 부착된 진동/온도 센서 데이터를 통해 '고장 전 교체'와 '과도한 조기 교체' 사이의 균형을 맞추어 유지보수 비용을 획기적으로 절감합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

센서 노드: 3축 가속도, 온도, 초음파 복합 무선 센서 (IP67 방수/방진)

게이트웨이: 공장 내 수천 개의 부품 데이터를 수집하는 5G 전용 게이트웨이

에지 서버: 실시간 고속 FFT 변환 및 AI 추론용 엣지 서버

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-WearModel AI: 부품별 고유 마모 곡선을 디지털 트윈으로 구축하여 현재 잔여 수명(RUL)을 시뮬레이션.

Predictive Maintenance Scheduler: 생산 계획과 연동하여 장비 가동률에 지장이 없는 최적의 점검 시간을 AI가 자동 추천.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Cross-Equipment Analysis: 동일 기종 장비 간의 부품 수명 데이터를 비교 분석하여 특정 장비의 이상 부하를 역추적.

Autonomous Learning: 부품 교체 후 성능 데이터를 자동으로 학습하여 수명 예측 모델을 스스로 갱신.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

수명 예측 오차: $\pm3\%$ 이내

유지보수 비용 절감: 연간 부품 구매비 20% 이상 감소

장비 가동률(Uptime): 비계획 중단 감소로 5% 향상

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Smart Sensors: 부품 장착용 무선 센서 패키지

Edge Hub: 현장 데이터 처리 서버

S/W Suite: RXO-LifeManager 부품 수명 관리 솔루션

[제품 상세 명세서 25] 지능형 웨이퍼 베벨(Bevel) 결함 실시간 탐지 모듈

제품명 (Model No.): RXO-EdgeEye Bevel-I

1. 제품 개요 (Product Overview)

웨이퍼의 최외곽 에지 구역인 베벨(Bevel) 영역의 박리(Peeling), 크랙, 오염을 검사하는 전용 비전 모듈입니다. 베벨 결함은 공정 중 웨이퍼 전체의 오염이나 파손(Broken)으로 이어질 수 있으므로, 알엑스오의 고곡률 대응 광학계를 통해 에지 영역을 360도 전수 검사합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

광학계: 고곡률 베벨 면을 따라 초점을 유지하는 특수 다초점 렌즈 시스템

카메라: 4K 해상도 고속 컬러 CMOS 센서 (60fps 이상)

조명: 에지 면의 요철을 극명하게 시각화하는 다크 필드(Dark-field) 조명

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-BevelNet AI: 베벨 영역의 복잡한 반사 패턴 내에서 실제 결함(Peeling, Chip-out)만 정확히 추출하는 딥러닝 모델.

3D Edge Reconstruction: 2D 이미지를 기반으로 베벨의 단면 형상을 3D로 복원하여 결함의 깊이와 위험도 분석.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

In-Situ Monitoring: 이송 로봇 암에 장착하여 웨이퍼 이송 중에 실시간 검사가 가능한 초경량/소형 설계.

Zero-Touch Inspection: 웨이퍼 에지에 전혀 접촉하지 않는 완전 비접촉식 검사로 2차 오염 원천 차단.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

최소 결함 감지: $10\mu m$ 크기의 미세 크랙 및 박리

검사 시간: 웨이퍼 1매당 10초 이내 (360도 전체 스캔)

판독 정확도: 99.8% (정상 웨이퍼와 결함 웨이퍼 분류 기준)

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Optical Head: 베벨 전용 카메라 및 조명 모듈

Processing Unit: 콤팩트형 AI 연산 보드

S/W License: RXO-EdgeView 관리 시스템

[제품 상세 명세서 26] IoT 연동 클린룸 방진복 세척 상태 감지 센서

제품명 (Model No.): RXO-CleanWear Guard-S

1. 제품 개요 (Product Overview)

클린룸에 출입하는 작업자의 방진복 오염도와 정전기 방지 기능을 자동으로 체크하는 IoT 게이트 시스템입니다. 방진복 세척 주기를 도과하거나 미세 입자가 기준치 이상 잔류하는 경우 출입을 제한하여 공정 오염을 방지합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

센서: 미세 파티클 카운터(0.1$\mu$m 대응) 및 정전기(ESD) 측정 전극

인증 장치: 작업자 인식을 위한 RFID/NFC 리더 및 안면 인식 카메라

게이트 제어: 스마트 에어샤워와 연동되는 디지털 제어 회로

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-WearScan AI: 비전 분석을 통해 방진복의 보풀(Lint), 찢어짐 등 물리적 손상을 자동으로 감지.

Washing Cycle Tracker: 각 방진복의 세척 이력을 데이터베이스화하여 성능 저하 시점을 예측 및 자동 교체 알림.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Integrated Bio-Metric: 보안과 오염 관리를 동시에 해결하는 생체 인식 기반 출입 통제 통합 솔루션.

ESD Real-time Check: 단순히 착용 여부만 확인하는 것이 아니라, 실제 방전 성능을 1초 이내에 정밀 측정.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

파티클 감지 정밀도: 0.1$\mu$m 이상의 입자 존재 유무 판별

인증 속도: 작업자 1인당 3초 이내 (보안+오염+ESD 체크 통합)

관리 효율: 수동 관리 대비 방진복 수명 관리 정밀도 40% 향상

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Smart Gate Unit: 측정 센서 및 인증 하드웨어 통합 게이트

Management Server: 중앙 통합 관리 서버 및 데이터베이스

Mobile App: 관리자용 실시간 모니터링 앱

[제품 상세 명세서 27] AI 기반 웨이퍼 이송 로봇 경로 최적화 소프트웨어

제품명 (Model No.): RXO-RobotPath Optimizer

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 장비 내부(EFEM) 및 장비 간 웨이퍼 이송 로봇의 동선을 AI로 최적화하여 물리적 이동 시간을 단축하고 진동을 최소화하는 제어 소프트웨어입니다. 알엑스오의 강화학습 알고리즘이 로봇 암의 관성을 분석하여 가장 빠르면서도 부드러운 가감속 프로파일을 생성합니다.

2. 하드웨어 사양 (시스템 요구사항)

OS: 실시간 제어용 RTOS 또는 하이엔드 리눅스 서버 환경

Interface: 로봇 컨트롤러와의 고속 이더넷(EtherCAT) 연동

Computing: 다차원 경로 연산을 위한 고성능 멀티코어 CPU

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-Motion RL: 로봇의 물리적 모델(질량, 관성, 마찰)을 학습하여 에너지 소모를 최소화하는 최단 시간 경로(Minimum Time Path) 산출.

Vibration-Free Logic: 웨이퍼 이탈 방지를 위해 특정 주파수 대역의 진동을 회피하는 주행 패턴 생성.

Collision Avoidance: 다수의 로봇 암이 교차하는 공간에서 충돌을 방지하는 실시간 협업 경로 계산.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Dynamic Re-planning: 장비 내 특정 챔버가 점검 중일 때, 실시간으로 전체 물류 동선을 재설계하여 병목 현상 제거.

Jerk Control Technology: 가속도의 변화율($Jerk$)을 정밀 제어하여 미세 입자 발생의 원인인 기계적 마찰 최소화.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

물류 처리량(Throughput): 이송 시간 단축으로 장비당 10% 이상 향상

진동 감소: 웨이퍼 상면 진동 가속도 30% 감소

에너지 효율: 로봇 구동 전력 소모 15% 절감

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Optimization Engine: AI 알고리즘 코어 라이브러리

Simulation Tool: 도입 전 성능 검증을 위한 디지털 트윈 시뮬레이터

Monitoring Dashboard: 로봇 가동 상태 시각화 툴

[제품 상세 명세서 28] 지능형 반도체 케미컬 농도 실시간 보정기

제품명 (Model No.): RXO-ChemMixer Auto-C

1. 제품 개요 (Product Overview)

식각(Etching) 및 세정(Cleaning) 공정에 사용되는 혼합 케미컬의 농도를 실시간으로 분석하고 부족한 성분을 자동 투입하여 최적의 비율을 유지하는 장치입니다. 알엑스오의 고정밀 분석 알고리즘이 약액의 증발이나 공정 중 소모에 따른 농도 변화를 나노 단위로 보정합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

분석 방식: 굴절률(RI) 및 전도도 복합 센서 기반 실시간 측정

정밀 펌프: $0.01ml$ 단위로 정밀 투입 가능한 마이크로 다이아프램 펌프

접액부 재질: 강산/강알칼리 대응을 위한 PFA 및 고순도 세라믹 적용

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-ChemBalance AI: 약액의 온도 변화에 따른 농도 측정 오차를 AI가 자동 보상하여 절대 농도값 도출.

Bath Life Predictor: 약액 내 오염물질 축적도를 분석하여 전체 약액 교체(Full Dump) 시점을 최적으로 결정.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

High-Speed Loop Control: 농도 분석부터 투입 완료까지의 피드백 루프를 5초 이내로 단축하여 일정한 공정 결과 보장.

Multi-Channel Mixing: 최대 4종의 원액을 동시에 개별 제어하여 복잡한 혼합 약액 조성 가능.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

농도 유지 정밀도: 설정치 대비 $\pm0.1\%$ 이내 유지

약액 소모량 절감: 불필요한 약액 폐기 감소로 15% 절감

공정 안정성(CPK): 농도 균일성 향상으로 공정 능력 지수 20% 개선

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Analyzer Unit: 실시간 농도 분석 챔버

Dosing Module: 정밀 펌프 및 밸브 매니폴드

Control Unit: AI 제어반 및 터치 모니터

[제품 상세 명세서 29] IoT 기반 노광기 렌즈 열변형 정밀 측정 센서

제품명 (Model No.): RXO-LensGuard Thermal-X

1. 제품 개요 (Product Overview)

노광 공정 중 강력한 광원에 노출되는 렌즈 어셈블리의 미세한 열팽창과 변형을 실시간으로 감지하는 시스템입니다. 알엑스오의 나노 변위 센서 기술을 통해 렌즈의 위치 변화를 추적하여 포커스 이탈 및 왜곡(Distortion)을 사전에 방지합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

센서 유형: 레이저 간섭계 기반 비접촉식 나노 변위 센서

분해능: $0.1nm$ (원자 단위 수준의 미세 변위 감지)

측정 채널: 렌즈 주변 주요 포인트 8~16채널 동시 모니터링

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-LensDeform AI: 온도 센서와 변위 데이터를 결합하여 렌즈 내부의 굴절률 변화를 실시간 모델링.

Auto-Focus Compensator: 열변형 데이터를 노광 장비의 렌즈 액추에이터와 연동하여 초점 위치를 실시간으로 미세 보정.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Radiation Hardened: 강력한 DUV/EUV 광원 노출 환경에서도 센서의 성능 저하가 없는 내방사선 설계.

High-Vacuum Compatibility: 노광기 내부의 초진공 상태에서도 가스 방출(Outgassing)이 없는 소재 사용.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

측정 정밀도: $\pm0.5nm$ 이내

노광 결함 감소: 열변형으로 인한 패턴 왜곡 25% 감소

시스템 응답성: 실시간 보정 주기 1ms 이하

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Nano Sensors: 렌즈 고정부 장착용 초정밀 센서 세트

Signal Processor: 고속 신호 증폭 및 연산 장치

Monitoring S/W: 렌즈 상태 시각화 및 보정 로그 시스템

[제품 상세 명세서 30] AI 기반 반도체 공급망 리스크 조기 경보 서버

제품명 (Model No.): RXO-ChainGuard AI

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 제조에 필요한 원자재, 희귀 가스, 핵심 부품의 글로벌 공급망 데이터를 실시간 분석하여 리스크를 조기에 경보하는 엔터프라이즈급 분석 서버입니다. 알엑스오의 거대 언어 모델(LLM)과 뉴스/물류 데이터를 결합하여 천재지변, 지정학적 리스크, 가격 변동을 예측합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

서버 아키텍처: 다중 노드 고가용성(HA) 클러스터 서버

데이터 인프라: 실시간 글로벌 뉴스 feed 및 물류 추적 API 연동 시스템

보안: 국가 핵심 기술 데이터 보호를 위한 하드웨어 보안 모듈(HSM) 탑재

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-SupplyIntelligence: 전 세계 뉴스, 리포트, 관세 데이터를 실시간 분석하여 특정 원자재(예: 네온가스)의 수급 불안정성 예측.

Inventory Optimizer AI: 리스크 발생 시 생산 차질을 최소화할 수 있는 대체 공급망 및 적정 재고 수준을 실시간 계산.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Multi-Lingual NLP: 50개국 이상의 언어로 된 전문 기술 문헌 및 공시 자료를 실시간 번역 및 문맥 분석.

Scenario Simulation: 특정 국가의 수출 규제 시나리오를 적용하여 우리 회사 생산 라인에 미치는 영향을 시뮬레이션.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

리스크 포착 속도: 주요 사건 발생 후 평균 30분 이내 경보 발령

수급 예측 정확도: 주요 자재 가격 변동 예측 정확도 85% 이상

조달 지연 감소: 선제적 대응을 통한 자재 조달 지연 사고 40% 감소

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Core Server: AI 분석 엔진이 탑재된 랙 마운트 서버

Cloud Platform Access: 글로벌 데이터 센터 연동 라이선스

Alert App: 경영진 및 구매 담당자용 실시간 알림 서비스

[제품 상세 명세서 31] 지능형 웨이퍼 다이싱 톱날 마모도 자동 측정기

제품명 (Model No.): RXO-BladeScan Precision-D

1. 제품 개요 (Product Overview)

RXO-BladeScan Precision-D는 웨이퍼를 개별 칩으로 절단하는 다이싱(Dicing) 공정에서 사용되는 다이아몬드 블레이드의 마모 상태와 돌출량(Exposure)을 실시간으로 측정하는 장치입니다. 알엑스오의 초고속 비전 알고리즘이 톱날의 미세한 이빨 빠짐(Chipping)이나 눈막힘(Loading) 현상을 감지하여 칩의 깨짐 사고를 사전에 방지합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

2.1 초정밀 광학계:

카메라: 초당 2,000프레임 이상의 고속 셔터 스피드를 갖춘 산업용 CMOS 센서

현미경 렌즈: 500배율 이상의 고해상도 동축 조명 렌즈 시스템

2.2 기구부:

측정 위치 제어: 0.1$\mu$m 단위 정밀 이송이 가능한 전용 서보 스테이지

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

3.1 RXO-BladeWatch AI:

마모 프로파일 분석: 사용 중인 블레이드의 형상을 신품 데이터와 비교하여 잔여 수명을 마이크로미터 단위로 산출.

Chipping Detection: 고속 회전 중에도 톱날 끝의 미세한 탈락 현상을 AI가 실시간으로 포착 및 경고.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

In-situ Measurement: 장비 내부에서 블레이드를 탈거하지 않고 가동 직후 즉시 측정 가능한 콤팩트 설계.

Auto-Calibration: 측정 시 발생하는 냉각수 물방울이나 분진 노이즈를 AI가 자동으로 제거하여 순수 톱날 형상만 추출.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

측정 정밀도: $\pm0.5\mu m$ 이내

검사 속도: 블레이드 전주 스캔 시 5초 이내 완료

수율 개선: 블레이드 불량으로 인한 칩 파손 40% 감소

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Optical Unit: 고속 카메라 및 조명 모듈

Control Box: AI 연산 처리기 및 모션 제어기

S/W: RXO-Blade Analyzer 통합 관리 툴

[제품 상세 명세서 32] AI 기반 반도체 패키지 내부 기공(Void) 분석기

제품명 (Model No.): RXO-Xray Void-Insight

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 패키징 내부의 접착제(Epoxy)나 솔더링 부위에서 발생하는 미세 기공(Void)을 X-ray 이미지를 통해 자동으로 분석하는 시스템입니다. 알엑스오의 딥러닝 세그멘테이션 기술이 복잡한 내부 구조 속에서도 기공의 크기와 분포를 정확히 계산하여 패키지의 열 방출 효율 저하를 방지합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

X-ray 소스: 160kV급 마이크로 포커스 튜브 (초점 크기 0.5$\mu$m 이하)

디렉터: 고해상도 평판 디렉터 (FPD, 픽셀 피치 50$\mu$m 이하)

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-VoidNet AI: X-ray 영상 내의 노이즈를 제거하고 기공의 면적 비율(%)을 자동으로 산출하여 합격/불합격 판정.

3.D Reconstruction: 2D 투사 영상을 기반으로 기공의 3차원 위치를 추정하는 가상 CT 알고리즘 탑재.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Automated Teaching: 신규 패키지 도입 시 별도의 설정 없이 AI가 구조를 스스로 파악하여 검사 영역(ROI) 설정.

High-Speed Processing: 대용량 이미지를 GPU 병렬 처리를 통해 장당 0.5초 이내에 분석 완료.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

최소 기공 감지: 직경 $1\mu m$ 이상의 미세 보이드

판독 정확도: 숙련된 엔지니어 대비 99% 일치

검사 수루풋: 기존 수동 분석 대비 5배 향상

6. 구성품 리스트 (Package Components)

AI Analysis Server: 고성능 GPU 서버

Interface Kit: X-ray 검사 장비와의 데이터 연동 모듈

Reporting Tool: 전수 검사 결과 통계 및 불량 리포트 시스템

[제품 상세 명세서 33] IoT 연동 반도체 캐리어(FOUP) 위치 추적 태그

제품명 (Model No.): RXO-Tag Ultra-Link

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 웨이퍼 보관함인 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 부착되어 공장 내 위치와 내부 환경(온도, 습도)을 실시간으로 보고하는 초저전력 IoT 태그입니다. 수만 개의 FOUP이 움직이는 대형 FAB에서 물류 정체를 방지하고 실시간 재고 파악을 가능하게 합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

통신 기술: UWB(Ultra-Wideband) 및 BLE 5.2 하이브리드 통신

배터리 수명: 독자적인 저전력 프로토콜로 최대 3년 연속 가동

환경 센서: 정밀 온습도 센서 및 충격 감지용 가속도 센서 내장

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-Location AI: UWB 신호의 다중 경로 간섭을 제거하여 실내 위치 오차를 10cm 이내로 정밀 보정.

Shock Event Logger: 이동 중 기준치 이상의 충격 발생 시 즉각 위치와 시간을 기록하여 파손 원인 역추적 지원.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

No-interference Design: 반도체 장비의 통신망이나 무선 센서와 주파수 간섭이 없는 주파수 대역 선정.

Cleanroom Certified: 가스 방출(Outgassing)이 없는 특수 폴리카보네이트 하우징 소재 적용.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

위치 정밀도: 실내 환경 기준 $\pm15cm$ 이내

데이터 업데이트: 1초 주기로 실시간 위치 갱신 가능

동시 접속 수: 단일 FAB 내 최대 50,000개 태그 관리 가능

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Smart Tags: FOUP 부착용 태그 (1,000개 단위 패키지)

Location Anchors: 천장 설치형 위치 수신기

Tracking S/W: 실시간 물류 맵 및 재고 관리 시스템

[제품 상세 명세서 34] AI 기반 증착 공정 가스 유량 제어 시스템

제품명 (Model No.): RXO-Flow Master AI-MFC

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 증착 및 식각 공정에 투입되는 특수가스의 유량을 실시간으로 제어하는 MFC(Mass Flow Controller)의 지능형 제어 시스템입니다. 알엑스오의 AI 알고리즘이 가스의 물리적 특성 변화와 배관 압력 변동을 실시간 반영하여 초정밀 유량 안정성을 확보합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

유량 측정: 고정밀 열식(Thermal) 또는 압력식(Pressure) 센서 인터페이스

제어 밸브: 피에조 액추에이터 기반 초고속 반응 밸브 제어

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-FlowPredict AI: 공정 시작 직후 발생하는 초기 오버슈트(Overshoot)를 90% 이상 억제하는 예측 제어 알고리즘.

Gas Type Auto-Comp: 가스 종류 변경 시 물리적 물성치를 AI가 자동 적용하여 별도의 캘리브레이션 없이 정확한 유량 제어 가능.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Sub-second Response: 설정값 변경 후 500ms 이내에 목표 유량의 1% 이내로 수렴하는 초고속 응답성.

Self-Diagnostic: 밸브의 미세 누설이나 막힘 징후를 스스로 감지하여 유지보수 알림 송출.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

제어 정밀도: 설정치(Full Scale) 대비 $\pm0.2\%$ 이내

응답 속도: 기존 기계식 제어 대비 2배 향상

안정화 시간: 0.8초 미만

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Control Module: 메인 제어 보드 및 AI 프로세서

Sensor I/O Kit: 고주파 데이터 수집용 모듈

Calibration S/W: 유량 최적화 및 진단 툴

[제품 상세 명세서 35] 지능형 반도체 금사(Gold Wire) 접합 검사기

제품명 (Model No.): RXO-WireBond AI-Expert

1. 제품 개요 (Product Overview)

와이어 본딩(Wire Bonding) 공정에서 칩과 리드프레임을 연결하는 금사의 접합 상태를 검사하는 고속 비전 시스템입니다. 알엑스오의 3D 복원 기술을 통해 와이어의 높이, 루프 형상, 접합부(Ball/Stitch)의 압착 상태를 입체적으로 판별합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

광학계: 초점 심도가 깊은 3D 스테레오 카메라 시스템

조명: 금속 와이어의 광택 반사를 억제하는 다파장 구조광(Pattern Light) 시스템

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-LoopNet AI: 와이어의 곡률 프로파일을 분석하여 인접 와이어와의 쇼트 위험이나 끊어짐 징후를 감지.

Bonding Quality Scoring: 접합부의 크기와 높이를 기반으로 접합 강도를 AI가 점수화하여 수율 예측에 반영.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

High-Speed 3D Reconstruction: 초당 100개 이상의 본딩 포인트를 3D로 스캔하여 실시간 전수 검사 실현.

Flexible Inspection: 다양한 와이어 재질(Au, Cu, Ag) 및 복잡한 멀티 레이어 본딩 구조에 대응 가능.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

검사 정확도: $2\mu m$ 미세 불량 검출 가능

검사 속도(UPH): 시간당 12,000개 패키지 대응

오검출률: 500ppm 이하

6. 구성품 리스트 (Package Components)

3D Vision Head: 카메라 및 구조광 프로젝터

AI Processing PC: 병렬 연산 가속기 탑재 서버

S/W: RXO-Wire Analyzer 통합 검사 패키지

[제품 상세 명세서 36] IoT 기반 클린룸 미세 진동 감지 플랫폼

제품명 (Model No.): RXO-VibeWatch FAB-S

1. 제품 개요 (Product Overview)

노광기 및 전자현미경 등 진동에 극히 민감한 장비 주변의 미세 진동(Micro-Vibration)을 실시간 감시하는 플랫폼입니다. 주변 공조기나 이동 로봇에 의해 발생하는 VC-E 등급 이상의 미세 진동을 감지하여 공정 사고를 미연에 방지합니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

센서: 초고감도 가속도계 ($1\mu g$ 이하의 미세 가속도 감지 가능)

데이터 수집: 24-bit 고정밀 ADC가 탑재된 무선 데이터 노드

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-Seismic AI: 바닥 진동, 공기 전파 진동, 장비 내부 진동을 주파수 대역별로 분리하여 진동의 근원지 역추적.

Impact Warning: 기준치를 초과하는 충격파 발생 시 즉각적으로 관련 장비에 인터락 신호를 전송하여 노광 오류 방지.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Wireless Mesh Network: FAB 전체에 수백 개의 센서를 배선 공사 없이 설치할 수 있는 자가망 구성 기술.

Real-time Heatmap: 공장 바닥의 진동 분포를 열지도(Heatmap) 형태로 시각화하여 진동 안전 구역 식별 지원.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

감지 해상도: $10^{-6} g$ (초미세 진동 영역)

주파수 범위: $0.1Hz \sim 500Hz$ (저주파 구조물 진동 특화)

통신 지연: 10ms 이내 경보 발생

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Seismic Sensors: 고감도 센서 노드 (10개 세트)

Sync Master: 시간 동기화 및 데이터 통합 허브

S/W License: RXO-VibeMonitor 실시간 분석 솔루션

[제품 상세 명세서 37] AI 기반 반도체 세정 공정 최적화 시스템

제품명 (Model No.): RXO-Clean Master Pro

1. 제품 개요 (Product Overview)

웨이퍼 표면의 파티클과 화학적 오염물을 제거하는 세정(Cleaning) 공정에서, 웨이퍼 상태에 따라 세정 시간, 브러시 압력, 약액 유량을 실시간 최적화하는 시스템입니다. 과도한 세정으로 인한 패턴 손상을 방지하고 세정 효율을 20% 이상 향상시킵니다.

2. 하드웨어 상세 사양 (Hardware Specifications)

센서 인터페이스: 초음파 세정 강도계 및 브러시 토크 센서 연동 보드

제어 유닛: 실시간 약액 농도 조절용 고속 비례 제어 밸브 인터페이스

3. 소프트웨어 및 AI 엔진 (Intelligence Features)

RXO-Particle Predictor: 세정 전 웨이퍼의 파티클 맵을 분석하여 오염이 심한 구역에만 세정력을 집중하는 차등 세정 알고리즘.

Pattern Damage Prevention: AI가 패턴의 종횡비(Aspect Ratio)를 인식하여 물리적 충격에 의한 패턴 무너짐을 방지하는 최적 압력 산출.

4. 기술적 차별점 (Unique Selling Points)

Adaptive Ultrasonic Control: 약액의 온도와 밀도 변화에 따라 초음파 주파수를 미세 조정하여 공동 현상(Cavitation) 효과 극대화.

Chemical Recycle Logic: 세정액의 오염도를 실시간 판단하여 재사용 가능 여부를 결정함으로써 약액 사용량 절감.

5. 성능 지표 (Performance Metrics)

파티클 제거 효율(PRE): 99.5% 이상 달성

패턴 손상률: 기존 수동 설정 대비 50% 감소

공정 시간(Tact Time): 15% 단축

6. 구성품 리스트 (Package Components)

Main Optimizer: 실시간 제어 및 연산 장치

Sensor Integration Module: 장비 센서 신호 수집 장치

User Interface: 엔지니어용 공정 시뮬레이션 및 관리 패널

브루슈어

[제품 브로슈어 01] AI 기반 웨이퍼 나노 결함 자동 비전 검사기

모델명: RXO-Vision Nano-X1

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 초미세 공정(5nm 이하)에서 발생하는 원자 수준의 결함을 실시간으로 탐지하는 차세대 검사 솔루션입니다. 기존 광학 검사의 한계를 극복하기 위해 Deep Learning 기반 이미지 복원 기술과 초고속 TDI(Time Delay Integration) 카메라를 결합하여, 생산 라인의 처리량(Throughput)을 저해하지 않으면서도 전수 검사를 실현합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-SuperRes AI Engine: 저해상도 광학 이미지에서 노이즈를 제거하고 나노 단위의 특징점을 복원하는 생성형 AI 알고리즘을 탑재하여, 하드웨어 한계를 넘어서는 검출력을 확보합니다.

Multi-Angle Dark-field Lighting: 8방향에서 독립적으로 제어되는 LED 조명을 통해 평면적인 스크래치뿐만 아니라 수직 구조물 사이의 미세 이물(Particle)을 입체적으로 부각시킵니다.

Real-time Defect Classification (RDC): 발견된 결함을 즉시 12가지 표준 범주(Bridge, Short, Protrusion 등)로 분류하여 공정 엔지니어에게 즉각적인 피드백을 제공합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

최소 검출 크기 $8nm \sim 10nm$ 패턴 결함 및 이물 기준

카메라 센서 256-stage TDI Line Scan Sensor 16k Resolution

검사 속도(WPH) 120 Units Per Hour (12인치 기준) Full Surface Scan

AI 판독 정확도 99.92% (F1-Score 기준) False Positive < 0.1%

데이터 인터페이스 100Gbps Optical Fiber Link SECS/GEM 및 EDA 연동

4. 도입 기대 효과

수율(Yield) 향상: 초기 결함 탐지를 통한 대량 불량(Scrap) 사고 원천 차단.

품질 비용 절감: 검사 인력 대체 및 재작업(Re-work) 결정 시간 70% 단축.

[제품 브로슈어 02] IoT 연동 클린룸 미세입자 실시간 분석 센서

모델명: RXO-AeroGuard IoT-S

1. 제품 개요 (Product Overview)

클린룸 내부의 미세입자(Airborne Particles)를 단순 계수하는 것을 넘어, 입자의 성분과 거동을 물리적으로 분석하는 지능형 센서 노드입니다. IoT 메쉬 네트워크를 통해 FAB 전체의 공기질 지도를 3D로 시각화하며, 오염 발생 시 공조 시스템(FFU)과 즉각적인 폐루프(Closed-loop) 제어를 수행합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

Dual-Laser Scattering Technology: 두 가지 파장의 레이저를 교차 조사하여 입자의 크기뿐만 아니라 굴절률을 분석, 유기물과 금속성 입자를 구분합니다.

RXO-Mesh Intelligence: 수백 개의 센서가 동기화되어 오염원의 발생 지점과 확산 경로를 역추적하는 벡터 분석 알고리즘을 실행합니다.

Self-Cleaning Optic Module: 센서 내부로 유입된 파티클이 렌즈에 고착되지 않도록 에어 커튼 기술을 적용하여 유지보수 주기를 2배 이상 연장했습니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

입경 채널 0.1 / 0.3 / 0.5 / 1.0 / 5.0 / 10.0 $\mu m$ 6채널 동시 계수

유량 제어 2.83 LPM (0.1 CFM) 고성능 저소음 블로워 내장

무선 통신 Wi-Fi 6E / LoRa / Bluetooth 5.2 하이브리드 자동 전환

전원 공급 PoE (Power over Ethernet) & Li-ion Battery 비상 가동 24시간 보장

데이터 업데이트 1초 단위 실시간 대시보드 갱신 Latency < 100ms

4. 도입 기대 효과

오염 관리 고도화: 사고 발생 지점의 핀포인트 추적(Root Cause Analysis) 시간 단축.

에너지 절감: 청정도에 따른 FFU 회전수 가변 제어로 전력비 25% 절감.

[제품 브로슈어 03] 딥러닝 기반 식각(Etching) 공정 온도 최적화기

모델명: RXO-EtchTemp Optimizer-V2

1. 제품 개요 (Product Overview)

플라즈마 식각 공정에서 웨이퍼 표면의 온도 균일도(Uniformity)는 나노 패턴의 정확도를 결정짓는 핵심 요소입니다. 본 제품은 물리 기반 AI 모델을 사용하여 챔버 내부의 열 흐름을 예측하고, 정전 척(ESC)의 다중 채널 히터를 마이크로초 단위로 제어하여 극한의 공정 창(Process Window)을 확보합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-Physics-Informed Neural Network (PINN): 단순 데이터 학습을 넘어 열역학 법칙을 AI 모델에 내장하여, 센서가 없는 웨이퍼 중앙부의 온도를 99.5% 정확도로 가상 센싱(Virtual Metrology)합니다.

Predictive Multi-Zone Control: 가스 유량 및 RF 파워 변화에 따른 온도 변동을 미리 예측하여 히터 파워를 선제적으로 조절하는 전방향(Feed-forward) 제어 기술을 적용했습니다.

Real-time Health Score: 히터의 노화 및 냉각 효율 저하를 실시간 모니터링하여 장비의 하드웨어 건전성을 수치화합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

온도 제어 범위 $-20^\circ C \sim +150^\circ C$ 확장 가능 범위

제어 분해능 $0.01^\circ C$ 정밀 델타 제어

지원 채널 수 최대 136개 독립 존(Zone) 멀티 펑션 히터 대응

응답 속도 10ms 이내 (Step Response) 고속 스위칭 드라이버 탑재

인터페이스 EtherCAT / 고속 디지털 링크 실시간 연동 표준

4. 도입 기대 효과

패턴 정밀도 향상: 웨이퍼 가장자리(Edge) 수율 손실을 40% 이상 개선.

공정 안정성: 장비 간 편차(Chamber Matching)를 최소화하여 일관된 품질 유지.

[제품 브로슈어 04] 지능형 반도체 증착 장비 예지보전 센서 노드

모델명: RXO-DepoWatcher IoT-E

1. 제품 개요 (Product Overview)

CVD(화학 기상 증착) 및 ALD(원자층 증착) 장비는 미세한 부품 마모가 공정 챔버 내부의 오염으로 직결됩니다. RXO-DepoWatcher는 초음파 진동 분석과 전류 피드백 분석을 통해 핵심 구동부의 고장을 최대 2주 전에 예고하는 고성능 엣지 컴퓨팅 노드입니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

High-Frequency AE(Acoustic Emission) Sensing: 가청 주파수를 넘어서는 100kHz 이상의 미세 진동을 분석하여 슬라이딩 씰(Seal)의 마모나 밸브의 미세 누설을 포착합니다.

RXO-Deep Signal Fingerprinting: 정상 가동 상태의 고유 신호를 '지문'처럼 등록하고, 이를 실시간 데이터와 비교하여 이상 징후를 감지하는 비지도 학습(Unsupervised Learning) 모델을 사용합니다.

In-situ Health Monitoring: 장비 가동을 멈추지 않고 공정 진행 중에 실시간으로 진단을 수행하므로 생산성에 영향이 없습니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

센서 유형 3축 가속도 + 초음파 AE + 전류(CT) 복합 센싱

주파수 대역 10Hz ~ 150kHz 광대역 분석

데이터 처리 엣지 컴퓨팅 기반 FFT / Envelope 센서 내 연산 완료

통신 프로토콜 MQTT / OPC-UA / 5G Private 스마트 팩토리 표준

내구성 IP67 등급 방진 방수 / 고온 내성 하우징 클린룸 외부 노출 대응

4. 도입 기대 효과

다운타임 최소화: 갑작스러운 장비 정지 사고(Crash)를 방지하여 가동률 15% 상승.

유지보수 최적화: 주기적 교체가 아닌 '상태 기반 교체'로 소모품 비용 절감.

[제품 브로슈어 05] IoT 기반 산업용 특수가스 미세 누출 탐지기

모델명: RXO-GasSentinel IoT-G

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 공정에서 사용되는 가연성 및 독성 가스(Silane, Arsine 등)의 누출은 단 몇 초 만에 대형 인명 사고로 이어질 수 있습니다. RXO-GasSentinel은 나노 가스 센서와 레이저 흡수 분광학 기술을 결합하여, 기존 감지기보다 10배 이상 정밀한 ppb(parts per billion) 단위의 농도 변화를 실시간으로 탐지합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

TDLAS (Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy): 특정 가스 분자의 흡수 파장을 정밀하게 스캔하여, 습도나 다른 가스의 간섭 없이 타겟 가스만을 선택적으로 검출합니다.

RXO-SafeCloud 통신: 가스 누출 감지 시 0.5초 이내에 현장 경보, 중앙 관제, 모바일 앱 알림을 동시 송출하는 초지연 무선 통신망을 제공합니다.

Diffusion Trend Prediction: 누출된 가스의 농도 변화 추이를 AI가 분석하여 단순 누출인지 대형 유출로 번질 징후인지 위기 단계를 지능적으로 판정합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

대상 가스 SiH4, PH3, NF3, Cl2, NH3 등 30종 이상 센서 모듈 교체형

검출 농도 1 ppb ~ 10,000 ppm (Wide Range) 고정밀 센싱

응답 시간(T90) 2초 이내 업계 최고 수준

자가 진단 매 60분마다 센서 수명 및 감도 체크 자동 캘리브레이션 지원

배터리 수명 저전력 모드 시 최대 24개월 유지 무선 설치 용이

4. 도입 기대 효과

현장 안전성 극대화: 미세 누출 단계에서의 즉각 대응으로 작업 환경 안전 확보.

규제 준수: 산업안전보건법 및 화학물질관리법 기준 이상의 모니터링 인프라 구축.

[제품 브로슈어 06] AI 최적화 화학기계연마(CMP) 압력 제어기

모델명: RXO-CMP Press-Master v4.0

1. 제품 개요 (Product Overview)

웨이퍼 표면을 나노 단위로 평탄화하는 CMP 공정에서, 연마 헤드 내부의 다중 에어백(Multi-Zone) 압력을 실시간으로 초정밀 제어하는 시스템입니다. 알엑스오의 유체역학 기반 AI 모델이 슬러리의 흐름과 연마 패드의 반발력을 계산하여 웨이퍼 전면의 균일도(Uniformity)를 극한으로 끌어올립니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-Adaptive Force Balancing: 연마 중 발생하는 마찰열에 의한 패드 팽창률을 AI가 실시간 계산하여, 웨이퍼 중심부와 엣지부의 압력비를 $0.001 psi$ 단위로 자동 보정합니다.

Piezo-Electric Fast Valve: 기존 솔레노이드 밸브보다 응답 속도가 15배 빠른 압전 소자 제어 밸브를 채택하여, 고속 회전($100 RPM$ 이상) 시 발생하는 미세 진동 파형에 즉각 대응합니다.

In-situ Thickness Correlation: 공정 중 수집되는 모터 토크 및 와전류(Eddy Current) 데이터를 통합 분석하여 목표 박막 두께 도달 시 압력을 서서히 줄이는 'Soft-Landing' 기술을 구현합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

압력 제어 범위 $0.05 \sim 15.00 psi$ 초저압 연마(Low-K) 대응

제어 정밀도 $\pm 0.005 psi$ Full Scale 기준

독립 제어 채널 기본 7개 존 (최대 12개 존 확장) 하이엔드 폴리싱 헤드 호환

데이터 샘플링 $2,000 Hz$ 초고속 실시간 피드백

안전 기능 과압 방지 듀얼 인터락 시스템 웨이퍼 파손 방지(Fail-safe)

[제품 브로슈어 07] 지능형 반도체 패키징 라인 자율 물류 유닛

모델명: RXO-PackBot AMR-Lite

1. 제품 개요 (Product Overview)

클린룸 내 협소한 공간과 복잡한 배선 환경에서도 웨이퍼 캐리어(FOUP) 및 매거진을 안전하게 운송하는 소형 고정밀 자율 주행 로봇(AMR)입니다. 알엑스오의 공간 지능 엔진을 통해 사람이나 장애물을 회피함은 물론, 장비와의 도킹 오차를 나노 공정 수준으로 최소화합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-Hybrid SLAM v3: LiDAR 데이터와 스테레오 비전, 그리고 바닥의 미세 패턴을 인식하는 센서 융합 기술을 통해 GPS가 없는 실내에서도 $5mm$ 이내의 절대 위치를 사수합니다.

Active Vibration Suspension: 이송 중 발생하는 진동이 $0.1G$를 넘지 않도록 실시간 감쇄하는 능동형 서스펜션을 탑재하여, 본딩 전 미세 정렬된 칩의 이탈을 방지합니다.

AI Multi-Agent Dispatcher: 중앙 서버에서 수십 대의 로봇 이동 경로를 0.1초마다 재계산하여, 교차로에서의 정체 시간(Idle time)을 제로화합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

최대 적재 하중 $50 kg$ FOUP 4개 또는 매거진 6개

주행 속도 $0.1 \sim 1.8 m/s$ 안전 거리 자동 가변 속도

정지 정밀도 $\pm 2 mm / \pm 0.2^\circ$ 고정밀 머신 텐딩 가능

충전 방식 자동 무선 유도 충전 (Wireless) 가동 중 상시 충전

환경 대응 Class 1 Cleanroom 인증 정전기 방지(ESD) 하우징

[제품 브로슈어 08] IoT 연동 천장 이송 장치(OHT) 속도 가변 모듈

모델명: RXO-OHT Flow-Sync

1. 제품 개요 (Product Overview)

대형 반도체 공장 천장에 설치된 수 킬로미터의 레일을 달리는 OHT 시스템의 생산성을 30% 이상 향상시키는 스마트 지능형 모듈입니다. 레일의 곡률, 구간별 적재량, 선행 차량의 간격을 분석하여 실시간으로 가감속 곡선을 최적화합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-Centrifugal Optimizer: 곡선 구간 진입 전, 적재된 웨이퍼의 관성을 계산하여 탈선이나 미세 슬립이 발생하지 않는 임계 최대 속도를 도출합니다.

Predictive Rail Diagnosis: 주행 중 레일의 미세 단차나 마모를 가속도 센서로 감지하여, 대형 물류 사고가 발생하기 전 유지보수 포인트를 지도화(Mapping)합니다.

V2X (Vehicle to Everything): 차량 간 직접 통신으로 선행 차량의 감속 정보를 0.01초 내에 후속 차량에 전달하여 병목 현상을 방지하는 'Platooning(군집 주행)' 기술을 지원합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

최대 주행 속도 $300 m/min$ 직선 구간 기준 업계 최고 수준

제어 사이클 $1 ms$ (Real-time OS) 초저지연 통신 응답

전력 공급 비접촉 급전(HID) 방식 연동 분진 및 아크 발생 제로

모니터링 센서 진동, 온도, 거리, 속도 통합 센서 IoT 기반 상태 감시

통신 프로토콜 5G-TSN (Time Sensitive Network) 대규모 군집 제어용 표준

[제품 브로슈어 09] AI 기반 포토마스크 오염 자동 진단 시스템

모델명: RXO-MaskGuard IQ

1. 제품 개요 (Product Overview)

노광 공정의 핵심 자산인 포토마스크의 오염 여부를 딥러닝으로 판독하는 검사 장비입니다. 펠리클(Pellicle) 내외부의 미세 파티클과 화학적 성장에 의한 결함(Crystal Growth)을 초고해상도 비전 알고리즘으로 분리하여 노광 사고를 근본적으로 차단합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-Neural Subtraction: 마스크의 설계 데이터(GDS)와 실제 촬영 이미지를 AI가 실시간 비교하여, 회로 패턴은 제외하고 오직 '오염 물질'만 추출하는 차분 분석 기술입니다.

Multi-Spectrum Analysis: UV(자외선)와 가시광선을 복합 조사하여 오염물의 투명도와 굴절률을 분석, 유기물인지 무기물인지 성분을 추정합니다.

Auto-Scoring Logic: 오염물의 위치가 회로 형성에 미치는 치명도를 계산하여 즉각적인 세정(Cleaning) 여부를 결정하는 지능형 판단 시스템을 탑재했습니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

검출 분해능 $20 nm$ EUV/ArF 마스크 대응 가능

검사 소요 시간 $8$ 분 이내 (Full Mask Scan) 생산 라인 인라인 대응

광원 시스템 고출력 듀얼 파장 LED 조명 유닛 장수명 및 저발열 설계

AI 분류 정확도 $99.8 \%$ (F1-Score) 의사 결함(False Positive) 극소화

인터페이스 마스크 히스토리 관리(MMS) 연동 공정 추적성 확보

[제품 브로슈어 10] 지능형 반도체 칠러 냉각 효율 최적화기

모델명: RXO-EcoChiller AI-T1

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 공정 장비의 온도를 일정하게 유지하는 칠러(Chiller)의 전력 소모를 혁신적으로 줄이는 에너지 최적화 장치입니다. 알엑스오의 열예측 알고리즘을 통해 공정 단계(RF On/Off 등)에 맞춰 냉각 출력을 유동적으로 제어하여 에너지 효율을 극대화합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-Thermal Anticipation: 공정 레시피의 전력 변화 신호를 미리 수신하여, 온도가 상승하기 전 냉각 펌프의 유량을 선제적으로 높이는 예측 제어 기술을 사용합니다.

Smart Inverter Tuning: 부하가 적은 구간에서 압축기를 끄지 않고 초저속 운전하는 가변 인버터 제어를 통해, 기존 On/Off 제어 대비 에너지 효율을 25% 개선했습니다.

Heat Exchange Monitor: 열교환기 내부에 쌓인 이물질(Scale)의 양을 압력 강하 곡선으로 분석하여 최적의 세정 주기를 제안합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

온도 제어 정밀도 $\pm 0.03 ^\circ C$ 초정밀 식각 및 노광 대응

냉각 용량 $1.5 kW \sim 30 kW$ 공정 장비 용량별 라인업

에너지 절감율 $20 \sim 30 \%$ (기존 장비 대비) 연간 전력비 획기적 절감

통신 기능 IoT 기반 원격 가동 상태 대시보드 PC/모바일 모니터링

냉매 시스템 GWP 저감 친환경 냉매 적용 탄소중립 ESG 대응

[제품 브로슈어 11] IoT 기반 진공 펌프 소음 및 진동 분석기

모델명: RXO-Acoustic Oracle

1. 제품 개요 (Product Overview)

FAB 하부의 핵심 설비인 드라이 펌프(Dry Pump)의 건강 상태를 소리(Sound)와 진동(Vibration)으로 진단하는 예지보전 센서 노드입니다. 알엑스오의 음향 방출(AE) 분석 기술을 통해 베어링의 미세 균열이나 가스 고착 현상을 인간의 귀보다 100배 정밀하게 포착합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-Spectrogram AI: 펌프의 고주파 소음을 이미지화(Spectrogram)하여 학습된 결함 패턴과 대조함으로써, 공정 중 발생하는 배경 소음과 실제 기계적 고장음을 99% 확률로 분리합니다.

Ultrasonic Emission Detection: 가청 주파수를 넘어서는 초음파 대역($20kHz \sim 100kHz$)을 감시하여 윤활유 부족이나 미세 가스 누설을 조기에 감지합니다.

Energy-Efficient IoT Node: 배터리 효율을 최적화하여 무선 설치 시에도 3년간 교체 없이 진동 및 소음 데이터를 엣지 컴퓨팅으로 처리합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

샘플링 주파수 최대 $192 kHz$ 고해상도 오디오 분석

진동 감도 $10 \mu G$ (MEMS 가속도계) 초미세 진동 감지

통신 인터페이스 Wi-Fi 6 / Bluetooth 5.4 / LoRa 대규모 메쉬 네트워크 구성

분석 파라미터 FFT, RMS, Peak-to-Peak, 첨도 다각도 진단 지표 제공

방폭 인증 IECEx / ATEX 준수 위험 물질 취급 구역 설치 가능

[제품 브로슈어 12] AI 기반 극자외선(EUV) 노광 패턴 왜곡 보정기

모델명: RXO-EUV Nano-Fixer

1. 제품 개요 (Product Overview)

7nm 이하 초미세 공정의 승부처인 EUV 공정에서, 노광 광원의 열 변형과 광학계 오차로 발생하는 회로 패턴 왜곡을 실시간으로 보정하는 엔진입니다. 알엑스오의 역노광 시뮬레이션(Inverse Lithography) 기술을 활용하여 설계된 마스크가 웨이퍼에 1:1로 정확히 전사되도록 지원합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-Inverse Patterning AI: 웨이퍼에 형성될 최종 패턴 이미지를 입력하면, 이를 거꾸로 추적하여 노광 장비가 출력해야 할 최적의 광학 신호를 역산출하는 지능형 알고리즘입니다.

Real-time Aberration Correction: 렌즈 및 반사경의 미세한 굴절 오차를 실시간 센싱하여 $0.1nm$ 단위로 광학계를 미세 조정하는 피드백 루프를 제공합니다.

Stochastic Noise Filter: EUV 특유의 광자 수 부족으로 발생하는 미세 거칠기(LER/LWR) 현상을 통계적 모델링으로 예측하고 최적의 노광량을 추천합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

보정 정밀도 $0.5 nm$ 이하 (CD Error) 나노급 초정밀 제어

보정 속도 $50 ms$ 미만 (Shot-to-Shot) 실제 공정 속도와 동기화

연산 방식 Multi-GPU 병렬 처리 클러스터 초고속 행렬 연산 최적화

호환성 글로벌 주요 노광 장비 인터페이스 연동 시스템 독립적 모듈화

데이터 보안 설계 레이아웃 암호화 처리 지적 재산권(IP) 완벽 보호

[제품 브로슈어 13] 지능형 반도체 테스트 핸들러 정밀 제어 보드

모델명: RXO-Handler Logic-X

1. 제품 개요 (Product Overview)

패키징이 완료된 반도체를 테스트 소켓에 고속으로 안착시키고 선별하는 테스트 핸들러의 '두뇌' 역할을 하는 고성능 제어 보드입니다. 나노초 단위의 모션 동기화 기술을 통해 칩의 물리적 손상을 방지하고 테스트 공정의 가동율(UPH)을 극대화합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-Soft Landing Logic: 칩이 소켓에 닿는 순간의 충격력을 압력 센서로 감지하여 모터 속도를 유연하게 줄이는 알고리즘으로, 패키지 크랙과 핀(Pin) 손상을 80% 줄입니다.

Multi-Threaded Sorting AI: 64개 이상의 테스트 사이트에서 쏟아지는 불량 판정 데이터를 실시간 병렬 처리하여, 칩을 등급별(Binning)로 분류하는 이송 경로를 최단거리로 생성합니다.

Thermal Drift Compensation: 테스트 장비의 발열로 인한 이송축의 미세 팽창을 온도 센서와 연동하여 자동으로 위치 보정(Calibration)합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

이송 시간(Tact Time) $0.08 s$ 미만 칩당 이송 소요 시간

모션 제어 축 최대 32축 동시 동기 제어 복합 다축 로봇 대응

입출력(I/O) 광절연 디지털 I/O 256채널 노이즈 방지형 고속 입출력

통신 속도 $100 Mbps$ 전용 광통신 장비 내 데이터 지연 제로

자가 진단 실시간 보드 온도 및 전압 모니터링 시스템 오작동 선제 방지

[제품 브로슈어 14] IoT 연동 가스 캐비닛 실시간 압력 감지 센서

모델명: RXO-GasPress Cloud

1. 제품 개요 (Product Overview)

반도체 가스 공급 장치인 가스 캐비닛(Gas Cabinet) 내부의 미세한 압력 변화를 $0.001 Bar$ 단위로 감시하는 지능형 센서입니다. 가스 누설이나 필터 막힘 등을 실시간으로 파악하여 가스 공급 중단에 의한 라인 가동 중지(Shut-down) 리스크를 제거합니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-ZeroDrift Diaphragm: 부식성 특수가스에 직접 노출되어도 영점 오차가 발생하지 않는 특수 하스텔로이(Hastelloy) 코팅 박막 기술을 적용했습니다.

Pressure Drop Analytics: 시간에 따른 압력 감소 곡선을 AI가 분석하여, 정상적인 가스 소모량과 비정상적인 미세 누설(Leak)을 $99.9 \%$ 정확도로 구분합니다.

Wireless Disaster Network: 화재나 비상 정전 시에도 자체 백업 배터리와 저전력 무선 통신(LoRa)으로 최소 48시간 동안 압력 상태를 중앙 관제실로 송신합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

측정 범위 $0 \sim 300 Bar$ 고압 가스 실린더 대응

정밀도 Full Scale의 $0.05 \%$ 이내 고정밀 센싱 엔진

동작 온도 $-40 ^\circ C \sim +85 ^\circ C$ 가혹 환경 가동 보장

무선 가시거리 최대 $1 km$ (Open Space) 대규모 플랜트 통합 관리

방폭 등급 Ex d IIC T6 (내압 방폭) 국내외 가스 안전 인증 획득

[제품 브로슈어 15] AI 기반 반도체 생산 수율(Yield) 예측 엔진

모델명: RXO-Yield Brain 1.0

1. 제품 개요 (Product Overview)

웨이퍼 투입(Input)부터 최종 테스트(Output)까지 발생하는 수조 개의 공정 데이터를 통합 분석하여, 제품의 최종 수율을 사전에 예측하는 공장 최적화 소프트웨어입니다. 알엑스오의 인과관계 분석 AI가 수율 하락의 근본 원인(Root Cause)을 단 몇 분 만에 찾아냅니다.

2. 핵심 독자 기술 (Core Mechanism)

RXO-Correlation Mapper: 800개가 넘는 세부 공정 변수 중 최종 수율과 상관관계가 가장 높은 상위 10개 핵심 변수를 AI가 자동으로 도출하여 엔지니어에게 제시합니다.

Virtual Metrology Insight: 계측 장비가 없는 구간에서도 이전 공정 데이터를 기반으로 가상 계측값을 생성, 웨이퍼가 다음 공정으로 가기 전 불량 여부를 미리 시뮬레이션합니다.

Yield Sensitivity Analysis: 특정 장비의 부품 마모가 수율에 미치는 민감도를 분석하여, 언제 부품을 교체하는 것이 경제적 이득인지를 정량적으로 산출합니다.

3. 상세 기술 제원 (Technical Specifications)

항목 상세 사양 비고

데이터 처리량 일간 수십 Terabyte급 처리 분산 컴퓨팅 아키텍처

예측 정확도 $97 \%$ 이상 (양산 공정 기준) 딥러닝 기반 시계열 분석

분석 시간 Root Cause 분석 10분 이내 기존 2~3일 소요 업무 단축

인터페이스 MES / ERP / EDA 시스템 통합 연동 개방형 API 지원

시각화 실시간 수율 히트맵(Heat-map) 제공 직관적 대시보드

16. 지능형 후공정 솔더볼 결함 딥러닝 검사기

[RXO Ball-Insight AI: Advanced Packaging Solution]

1. 제품 개요

반도체 후공정의 신뢰성을 결정짓는 솔더볼(Solder Ball)의 미세 결함을 탐지하는 차세대 검사 장비입니다. 난반사가 심한 금속 구형 표면의 특성을 극복하기 위해 RXO만의 독자적인 딥러닝 광학 엔진을 탑재하여 미세 크랙, 눌림, 미싱(Missing) 등을 완벽하게 판독합니다.

2. 5대 핵심 기술

3D Phase-Shift 광학 모듈: 위상 변조 기술을 통해 솔더볼의 높이와 체적을 나노미터 단위로 정밀 측정합니다.

난반사 억제 AI 엔진: 금속 특유의 빛 번짐(Glare)을 실시간으로 제거하여 결함의 원천 이미지만을 추출합니다.

Self-Evolving 학습 시스템: 신규 불량 패턴 발생 시 엔지니어의 개입 없이도 현장에서 즉시 자가 학습을 수행합니다.

고속 대면적 TDI 스캐닝: 고해상도 센서를 통해 대량의 패키지를 중단 없이 연속으로 검사하여 생산성을 극대화합니다.

결함 유형 자동 분류(ADC): 불량의 종류를 20여 가지로 세분화하여 공정 개선을 위한 통계 데이터를 제공합니다.

3. 제품 상세 제원

항목 상세 사양 (Specifications) 비고

검사 대상 BGA, CSP, WLCSP, Flip-chip 모든 볼 그리드 패키지 대응

최소 검출 해상도 높이 1.0μm / 직경 5.0μm 초정밀 나노급 대응

검사 속도 (UPH) 최대 150,000 Units Per Hour 고속 양산 라인 최적화

광원 시스템 Multi-Angle RGB LED + Blue Laser 난반사 방지 하이브리드 광원

인터페이스 SECS/GEM, EtherCAT, TCP/IP 스마트 팩토리 통합 표준 지원

4. 기대 효과

불량 유출 제로(Zero Defect) 달성으로 고객사 신뢰도 및 브랜드 가치 상승.

수동 재검사 인력을 AI로 대체하여 운영 비용 80% 이상 절감.

17. IoT 기반 반도체 공정 폐수 유해 성분 분석기

[RXO Aqua-Safe IoT: Intelligent Environment Monitor]

1. 제품 개요

반도체 제조 공정에서 배출되는 폐수의 성분을 24시간 실시간으로 감시하는 지능형 환경 장비입니다. IoT 기술을 접목하여 원격지에서도 수질 상태를 모니터링하며, 유해 물질 누출 시 즉각적인 대응 시스템을 가동합니다.

2. 5대 핵심 기술

Multi-Channel 분광 분석: UV-Vis 및 이온 선택성 전극(ISE) 방식을 혼합하여 다종의 유해 성분을 동시 측정합니다.

IoT 클라우드 통합 관제: 전 세계 사업장의 수질 데이터를 하나의 중앙 대시보드에서 실시간 통합 관리합니다.

AI 오염 예측 알고리즘: 유입 농도의 변화 추이를 학습하여 법적 기준치 도달 전 선제적 경고를 발송합니다.

자가 세정 및 오토 캘리브레이션: 센서의 오염을 방지하는 초음파 세정 기능과 자동 영점 조절 기능을 탑재했습니다.

긴급 차단 인터락(Interlock): 이상 수치 감지 시 즉각적으로 배출 밸브를 차단하여 환경 사고를 원천 방지합니다.

3. 제품 상세 제원

항목 상세 사양 (Specifications) 측정 범위 및 방식

검출 성분 Cu, Ni, HF, Cr6+, TOC, Ammonia 등 최대 12종 성분 동시 분석

검출 한계 (LOD) 0.005 ppm 이하 초미량 정밀 감지 기술

데이터 갱신 주기 최소 30초 단위 실시간 전송 리얼타임 데이터 로깅

방수 방진 등급 IP67 인증 및 내부 부식 방지 설계 가혹 환경 및 화학 시설 대응

통신 프로토콜 5G, Wi-Fi, LoRa, RS-485 유무선 하이브리드 네트워크

4. 기대 효과

환경 규제 강화에 따른 법적 리스크 완벽 해소 및 ESG 경영 지표 확보.

정밀 분석 데이터를 통한 수처리 약품 투입 최적화로 운영비 25% 절감.

18. AI 기반 리소그래피 광원 안정성 유지 장치

[RXO Beam-Master AI: Lithography Optimizer]

1. 제품 개요

초미세 회로 패턴을 형성하는 노광(Lithography) 공정의 핵심 요소인 광원의 안정성을 유지하는 장치입니다. AI가 광원의 파장과 에너지를 나노초 단위로 정밀 제어하여 웨이퍼 전체의 패턴 일관성을 보장합니다.

2. 5대 핵심 기술

초고속 펄스 모니터링: 6kHz 이상의 고주파 레이저 펄스를 실시간 분석하여 에너지 균일도를 확보합니다.

지능형 열 드리프트 보정: 광학계 온도 변화에 따른 빔 굴절률 변화를 AI가 계산하여 즉각 보상합니다.

에너지 도즈(Dose) 자동 제어: 웨이퍼 영역별 최적 노광량을 실시간 계산하여 CD(Critical Dimension) 균일도를 개선합니다.

AI 예후 진단(PHM): 레이저 챔버 및 광학 소모품의 잔여 수명을 예측하여 돌발 정지를 방지합니다.

자동 빔 얼라이먼트: 광 경로 이탈을 감지하여 고정밀 피에조 스테이지를 통해 빔 위치를 자동 정렬합니다.

3. 제품 상세 제원

항목 상세 사양 (Specifications) 비고

지원 파장 193nm (ArF), 248nm (KrF), EUV 대응 멀티 소스 하이브리드 지원

에너지 안정도 < 0.1% (Pulse-to-Pulse) 업계 최고 수준의 고안정성

제어 루프 속도 100μs 이하 초고속 제어 실시간 피드백 루프 구현

데이터 처리 엔진 FPGA 기반 전용 하드웨어 가속기 지연 없는 대용량 신호 처리

시스템 신뢰성 MTBF > 50,000 Hours 고내구성 산업용 설계 적용

4. 기대 효과

패턴 선폭(CD) 산포 20% 개선을 통한 반도체 소자 성능 극대화.

계획 정비 시스템 구축으로 설비 가동율(Uptime) 40% 향상.

19. 지능형 웨이퍼 평탄도 초정밀 측정 시스템

[RXO Flat-Master Pro: Nano-Scale Metrology]

1. 제품 개요

3D 낸드 및 첨단 파운드리 공정에서 웨이퍼의 미세 뒤틀림은 노광 포커싱 불량의 직접적인 원인이 됩니다. RXO Flat-Master Pro는 비접촉식 다중 파장 간섭계를 이용해 웨이퍼의 나노급 평탄도를 측정하며, AI가 공정 드리프트를 실시간 분석하는 최첨단 계측 장비입니다.

2. 5대 핵심 전문 기술

Multi-Wavelength Interferometry: 가시광선과 IR 파장을 혼합하여 투명 박막 층 하부의 기판 평탄도까지 정밀 투과 측정합니다.

AI Surface Reconstruction: 측정된 수억 개의 포인트 클라우드를 AI가 분석하여 나노미터 단위의 3D 표면 지형도를 실시간 생성합니다.

Vibration-Isolated Scan Stage: 마그네틱 베어링 스테이지를 적용하여 외부 진동을 0.01Hz 단위까지 차단, 측정 반복성을 확보합니다.

Adaptive Edge Analysis: 웨이퍼 가장자리 3mm 영역(Edge Exclusion) 내의 급격한 평탄도 변화를 정밀 감지하는 전용 알고리즘을 탑재했습니다.

Smart Feedback Interface: 측정 결과를 상위 CMP 장비로 전송하여 연마 압력을 영역별로 실시간 최적화(Feed-forward)합니다.

3. 제품 상세 제원

구분 세부 항목 기술 사양 (Technical Specifications) 비고

측정 성능 반복 정밀도 ($\sigma$) $\leq 0.3nm$ (Height) / $\leq 0.5nm$ (Warp) 업계 최고 정밀도

측정 범위 웨이퍼 크기 / 형태 200mm, 300mm / Bare & Patterned Wafer 전 공정 대응

하드웨어 광원 (Light Source) SLD (Super Luminescent Diode) & IR Laser 하이브리드 광원

소프트웨어 분석 엔진 RXO Geo-Analyze v5.0 (AI Deep Learning) 3D 지형 분석

처리 능력 처리 속도 (Throughput) 50 WPH (Wafers Per Hour, Full Map 기준) 고속 스캐닝

인터페이스 통신 규격 SEMI E5, E30, E37 (HSMS) 스마트 팩토리 연동

4. 기대 효과

수율 개선: 노광 포커스 에러 30% 감소를 통한 패터닝 불량 원천 차단.

비용 절감: CMP 연마 시간 최적화로 슬러리(Slurry) 및 패드 소모품 비용 20% 절감.

20. IoT 연동 클린룸 지능형 공조 에너지 세이버

[RXO Clean-Eco Saver: Intelligent HVAC Control]

1. 제품 개요

반도체 클린룸의 청정도를 유지하면서 에너지 효율을 극대화하는 지능형 관리 시스템입니다. 실시간 파티클 및 환경 데이터를 AI가 분석하여 공조 부하를 지능적으로 조절, 탄소 중립 제조 환경을 구현합니다.

2. 5대 핵심 전문 기술

Dynamic Airflow Optimization: 클린룸 내 구역별 작업 밀도를 감지하여 팬 필터 유닛(FFU)의 RPM을 0.1% 단위로 정밀 제어합니다.

IoT Sensor Fusion Network: 초정밀 파티클 센서와 온습도, 기압 센서를 매쉬 네트워크로 연결하여 사각지대 없는 모니터링을 제공합니다.

Predictive Load Modeling: 외부 기후 조건과 설비 가동 스케줄을 딥러닝으로 학습하여 전력 피크 타임을 사전에 대비합니다.

Automatic Differential Pressure Control: 룸 간 압력 차를 실시간 감지하여 외부 오염물질 유입을 방지하는 스마트 차압 제어 시스템입니다.

Energy Analytics Dashboard: 실시간 에너지 사용량과 청정도 지수를 시각화하여 ESG 경영 지표를 자동 생성합니다.

3. 제품 상세 제원

구분 세부 항목 기술 사양 (Technical Specifications) 비고

제어 범위 시스템 호환성 AHU, FFU, Chiller, Cooling Tower 연동 통합 제어 가능

절감 성능 전력 에너지 절감률 최대 35% 이상 (고정 운영 대비) 실가동 데이터 기준

센싱 성능 파티클 감지 범위 0.1$\mu m$, 0.3$\mu m$, 0.5$\mu m$ 동시 감지 초정밀 센서 탑재

통신 기술 네트워크 방식 Industrial LoRa / Zigbee / RS-485 유무선 보안 통신

보안 인증 데이터 보안 등급 AES-256 암호화 및 하드웨어 보안 칩 적용 사이버 보안 강화

4. 기대 효과

비용 혁신: 연간 억 단위의 전력 요금 절감 및 공조 설비 노후화 지연.

품질 안정: 급격한 환경 변화(온/습도) 억제로 정밀 공정의 품질 산포 개선.

AI Digital Therapy Project

다시는 오지않는 이순간을 담다| Capturing the moment that will never come again |

RXO 문화융성 프로젝트란? What is the RXO Cultural Enrichment Project?

2026년 반도체 100대 분야

연구보고서

제품명세서

등록증명서

포장명세서

상세증명서

브루슈어

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